基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置

    公开(公告)号:CN102730416B

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201210090605.5

    申请日:2012-03-30

    Inventor: 西尾勤

    Abstract: 本发明提供一种基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置。在加热台(10)上,将2片玻璃基板(1a、1b)沿机械臂(3)的移动方向成列地排列配置,在加热台设置升降部件,该升降部件为了将玻璃基板举起到相同高度而上升,通过玻璃基板下降而将其交付至机械臂,并且在加热台具备升降部件控制装置,其为了在机械臂的温度上升过程中将玻璃基板以相同温度交付至机械臂,而使玻璃基板向机械臂的交付在该机械臂的叉(16)的前端(16a)侧先进行且在基端(16b)侧后进行。由此,即便用一个机械臂一次搬送多个基板也能使各基板的温度历史记录相同,能防止在各基板彼此之间产生温度不均,从而能均匀地完成多个基板,并且能够迅速地进行搬送。

    基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置

    公开(公告)号:CN102730416A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201210090605.5

    申请日:2012-03-30

    Inventor: 西尾勤

    Abstract: 本发明提供一种基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置。在加热台(10)上,将2片玻璃基板(1a、1b)沿机械臂(3)的移动方向成列地排列配置,在加热台设置升降部件,该升降部件为了将玻璃基板举起到相同高度而上升,通过玻璃基板下降而将其交付至机械臂,并且在加热台具备升降部件控制装置,其为了在机械臂的温度上升过程中将玻璃基板以相同温度交付至机械臂,而使玻璃基板向机械臂的交付在该机械臂的叉(16)的前端(16a)侧先进行且在基端(16b)侧后进行。由此,即便用一个机械臂一次搬送多个基板也能使各基板的温度历史记录相同,能防止在各基板彼此之间产生温度不均,从而能均匀地完成多个基板,并且能够迅速地进行搬送。

    涂覆设备
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101462100A

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200810185626.9

    申请日:2008-12-17

    Abstract: 本发明提供了结构紧凑的涂覆设备,其中,作为施加高精确的涂覆的手段,可精确地控制通过涂覆设备的涂覆媒介的量。涂覆设备包括可膨胀和收缩的管子2,在管子2中非挥发和不可压缩的工作流体被抽入和抽出;包括歧管3的底模4,管子安装在歧管3中;形成在底模中和连接至歧管的涂覆媒介注入导管5;形成在底模中和连接至歧管的裂隙喷嘴6;以及连接至管子的泵7,该泵7从管子中抽出工作流体F以收缩管子,用于通过媒介注入导管把涂覆媒介P抽入到歧管中,并且也把工作流体抽入到管子中以膨胀管子,用于穿过裂隙喷嘴从歧管中排出涂覆媒介。

    涂布装置及涂布方法
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114260140A

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202111150275.X

    申请日:2021-09-29

    Inventor: 西尾勤

    Abstract: 在使涂布用喷嘴(10)在被涂布体(W)的上方与被涂布体相对移动且从涂布用喷嘴的前端部处的狭缝状排出口(12)向被涂布体的表面涂布涂布液(P)的涂布装置中,使设置有呈规定的图案形状的涂布液收容凹部(14a)的涂布液供给体(14)以能在狭缝状排出口的上方旋转的方式设置于对涂布液进行收容的涂布液收容部(11)内,并且,设置沿着狭缝状排出口的长度方向分离成多个排出部(12a)的分隔构件(13),使涂布液供给体(14)旋转,使涂布液经过与涂布液收容凹部对应的位置处的排出部而涂布至被涂布体的表面。

    涂布装置
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114146831A

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202111036883.8

    申请日:2021-09-06

    Inventor: 西尾勤

    Abstract: 在使涂布用喷嘴(10)在被涂布体(W)的上方与被涂布体相对地移动而将涂布用喷嘴的涂布液收容部(11)内的涂布液从狭缝状排出口(11)向被涂布体的表面涂布涂布液(P)的涂布装置中,设置:滑门构件(13),上述滑门构件在涂布液收容部内旋转来使涂布液收容部与狭缝状排出口之间开闭;以及气体供给调节单元(32),上述气体供给调节单元对施加于涂布液收容部内的涂布液的压力进行调节,在利用气体供给调节单元将施加于涂布液收容部内的涂布液的压力保持为恒定压力的状态下,使滑门构件旋转来使涂布液收容部与狭缝状排出口之间开闭。

    涂布装置及涂布方法
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113000296A

    公开(公告)日:2021-06-22

    申请号:CN202011510872.4

    申请日:2020-12-18

    Inventor: 西尾勤

    Abstract: 使涂布用喷嘴(10)在被涂布体(W)的上方与被涂布体相对移动,并从涂布用喷嘴前端部的狭缝状排出口(11)将涂布液(P)涂布于被涂布体的表面时,将收容有涂布液的涂布用喷嘴的涂布液导入部(13)以与狭缝状排出口连通的方式设置,并在该涂布液导入部内的底部,将在外周面设置有规定的图案形状的涂布液收容凹部(14a)的涂布液供给体(14)能旋转地设置在狭缝状排出口的上方,并使该涂布液供给体旋转而从涂布液收容凹部内将涂布液通过狭缝状排出口涂布于相对移动的被涂布体的表面。

    涂布液供给装置
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108212694B

    公开(公告)日:2019-05-10

    申请号:CN201711224793.5

    申请日:2017-11-29

    Abstract: 一种涂布液供给装置(3),包括:收容涂布液的收容容器(5);在收容容器(5)内沿轴向移动,使收容于收容容器(5)的涂布液从收容容器(5)吐出的杆(6);以及将收容于收容容器(5)的涂布液(P)与杆(6)隔离,以与杆(6)形成封闭空间即封入空间(9)的方式安装于杆(6),并且相对于杆(6)的轴向移动进行伸缩的波纹管构件(8),在封入空间(9)封入有液体(W)。

    辊搬运式涂敷机
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103990578B

    公开(公告)日:2016-09-14

    申请号:CN201410037514.4

    申请日:2014-01-26

    Inventor: 魏志丹 西尾勤

    Abstract: 本发明提供一种能够提高涂层后的面板件的生产效率的辊搬运式涂敷机。具备:背衬辊(4),其从下方支承基板(2);涂料排出模(6),其朝向由背衬辊支承的基板而排出涂料;上游侧搬运辊(3a)及下游侧搬运辊(3b),其为了在规定方向上搬运基板而并列配置于背衬辊的上游侧及下游侧;空吸机构(8),其借助在从背衬辊的上游侧到下游侧的整个范围内设置的吸引孔而产生朝向下方的气流(E);前端卡合移动构件(16),其与搬运至越过背衬辊的位置为止的基板的前端部卡合,与该基板一并覆盖吸引孔,并且与基板同步地移动;后端卡合移动构件(17),其与搬运到吸引孔上的基板的后端部卡合,与该基板一并覆盖吸引孔,并且与基板同步地移动。

    双面涂覆装置
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102125906A

    公开(公告)日:2011-07-20

    申请号:CN201110026483.9

    申请日:2011-01-18

    CPC classification number: B05C5/0254 B05C5/0283 B05C9/04

    Abstract: 一种能使涂膜的厚度一定的双面涂覆装置。该双面涂覆装置包括:支承织物材料(W)的支承辊子;与支承辊子对向配置,且将涂料涂布于织物材料(W)的第一面的第一涂饰头;具有多个支承部(11)的吸附辊子(4),所述多个支承部(11)以与织物材料(W)的第一面的非涂饰部分抵接的方式环状地突出并在外周开设有吸入气氛气体的吸附孔(14);以及与吸附辊子(4)对向配置,且将涂料涂布于织物材料(W)的第二面的第二涂饰头(3)。

    涂布装置
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101574685A

    公开(公告)日:2009-11-11

    申请号:CN200910004741.6

    申请日:2009-02-20

    Abstract: 一种涂布装置,使基板与涂布器之间的间隙稳定,对每块基板逐一进行速度控制,可进行边缘涂装,且不会在基板的背面上产生损伤。本发明的涂布装置包括:在基板(P)上涂布涂布液的涂布器(3a、3b);可旋转驱动地配置在涂布器(3a、3b)的下方、在外周上具有吸引孔(7)、并一边吸引基板(P)一边进行搬运的承压滚筒(5);在承压滚筒(5)的上游侧和下游侧配置在比承压滚筒(5)低的位置上、一边吸引基板(P)一边进行搬运的搬运辊(6a、6b);配置在上游侧的搬运辊(6a)的上游侧、将基板(P)朝承压滚筒5搬入的搬入输送机(15);以及配置在下游侧的搬运辊(6b)的下游侧、将基板(P)从承压滚筒(5)搬出的搬出输送机(16)。

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