公开(公告)号：CN206113868U

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201620868854.6

申请日：2016-08-11

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 施玉书 ,  高思田 ,  李庆贤 ,  王兴旺 ,  李伟 ,  李琪 ,  李适 ,  王鹤群 ,  皮磊 ,  张树 ,  郭鑫 ,  沈飞

IPC: G01B11/02 ,  G01B11/26

Abstract: 本实用新型公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移测量难题，适用于X轴、Y轴、Z轴和旋转角度的纳米位移台同时变化的全姿态识别与超精密测量校准。

公开(公告)号：CN205211424U

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201520719876.1

申请日：2015-09-17

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 高思田 ,  李琪 ,  施玉书 ,  李伟 ,  李适 ,  王鹤群 ,  赵贤云

IPC: G12B9/10 ,  G12B5/00

Abstract: 一种柔性铰链导向的二维纳米位移台，包括外层固定框架、中层嵌套移动框架、内层嵌套移动框架、移动平台和柔性铰链，其特征在于，在所述的外层固定框架与中层嵌套移动框架的至少一个横向边的中部之间装有一个X轴预紧装置，在所述的中层嵌套移动框架与内层嵌套移动框架的至少一个纵向边之间装有两个Y轴预紧装置；所述的轴压电陶瓷驱动器和轴压电陶瓷驱动器分别安装在一固定套筒内，分别组成X轴PZT套筒装置和Y轴PZT套筒装置。本实用新型具有压电陶瓷驱动器和预紧结构双重调节机制来调节位移台的行程以及耦合位移的优点。

公开(公告)号：CN204346373U

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201520016874.6

申请日：2015-01-09

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 施玉书 ,  高思田 ,  沈飞 ,  王兴旺 ,  李适 ,  李伟 ,  李琪 ,  王鹤群 ,  皮磊

IPC: G01B11/02 ,  G01B11/22

Abstract: 本实用新型公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本实用新型的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用粗细两级位移扫描系统，压电陶瓷驱动的纳米位移台可在微米级扫描范围内实现亚纳米级步进；压电陶瓷驱动的升降台可在毫米级扫描范围内实现亚微米级步进；Z向测量范围最大可达200微米。显微干涉测头采用白光光源(即采用白光显微测头)，基于白光干涉原理，可实现0.1nm的Z向分辨率，同时可直接获得被测表面的三维形貌。采用激光干涉仪组成计量系统，将位移直接溯源到国际单位制中米定义的波长基准。