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公开(公告)号：CN102155922B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110053548.9
申请日：2011-03-07
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器，属于纳米形貌测量技术领域。由全息激光读数头1、全息激光读数头2、光学组件、显微光学物镜头、测量样板、电气测量系统、CCD摄像机和监视系统组成，其中光学组件实现光线的滤波、准直与分光，包括光学透镜组1、光学透镜组2、调节透镜1、调节透镜2、调节透镜3、分光镜1和分光镜2。本传感器结构简单、关键部件价格低廉，以全息激光元件为核心，提出复合式全息激光纳米形貌测量传感器设计结构，将测量范围提升与测量精度的保持有机地结合起来，可以有效地利用该传感器配合测量系统提升系统测量的自动控制水平，同时本传感器具有视频监视功能，可以满足多种场合的现场需要。
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公开(公告)号：CN102253284A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110096283.0
申请日：2011-04-18
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01R25/00
Abstract: 本发明涉及一种用于多路正弦波信号的相位差同步测量装置及方法，属于电子测量技术领域。装置包括两个或者两个以上的信号调理电路、两个或者两个以上的模数转换电路、两个或者两个以上的数据寄存器，以及共用逻辑控制电路、接口电路、计算机、人机接口电路和时钟电路，被测对象为两路或者两路以上正弦波信号的相位差，其中信号调理电路、模数转换电路和数据寄存器的数量相同，并分别一一对应配套使用。采用本发明的装置及方法实现多路正弦波信号的相位差同步测量，其相位分辨力高、波形稳定、多路相位同步性好，避免了传统相位测量方法的采样时钟抖动、通道同步误差、通道相位延迟稳定性、幅度噪声等误差影响因素。
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公开(公告)号：CN105334611A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201510689245.4
申请日：2015-10-21
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于二维光电显微镜的H形狭缝，属于精密测量领域，涉及对精密测量装备的改进。H形狭缝由光学玻璃加工而成，遮光区域由不透光材料在光学玻璃上蒸镀形成，通光区域则是将蒸镀材料去除后得到。通光区域由处于同一直线的2个宽度相同的长方形通光孔组成；并且2个长方形通光孔之间的间距大于长方形通光孔的宽度。本发明提出的一种用于二维光电显微镜的H形狭缝的优点是可以屏蔽二维线纹刻线交叉点附近的制造瑕疵对测量结果的干扰，从而提高二维线纹测量精度。
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公开(公告)号：CN103308149B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201310252759.4
申请日：2013-06-24
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及机器视觉同步对焦扫描式激光测振装置，属于冲击与振动的精密测量技术领域。装置由机器视觉测量单元、位置解算及控制单元、扫描调焦控制单元、扫描激光测振光学组件、干涉信号解调单元、控制及信息处理单元组成；该装置同步对焦由机器视觉测量单元完成，实现测量空间坐标与扫描式激光测振仪的焦距信息关联管理。本发明结构简单，操作方便，便于测量及控制，能够有效提高冲击振动测量精度，通过机器视觉测量单元实现同步对焦，提高了扫描测振的测量速度与准确度。
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公开(公告)号：CN103487342B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201310351296.7
申请日：2013-08-13
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及激光洛氏硬度标准装置及测量方法，一种洛氏硬度装置，其是关于一种国际洛氏硬度新定义下的标准装置，属于硬度测量技术领域。本发明通过智能力加载闭环反馈控制系统，实现了力值自动加载和高精度实时控制；通过激光迈克尔逊外差干涉原理的压痕深度自动测量系统的设计和研制，实现压痕测量的高准确度和高可靠性，从而满足国际新定义对力值加载速度、力值加载准确度，力值保持时间等具体要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104677295A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510063857.2
申请日：2015-02-06
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种激光干涉非线性误差自补偿方法及装置，属于激光干涉精密测量技术领域。本发明装置包括干涉测量模块，光学解调制模块，调频控制模块，控制及信息输出模块。用于解决现有激光干涉系统的非线性误差补偿问题，克服了通常激光干涉非线性误差补偿需要物理位移的调整及步进的精细度要求的问题，结构相对简单，并具有较高适应性和同步测量干涉系统误差的特性，可以在无物理位移的条件下，在测量期间完成任意点干涉相位非线性误差自动补偿，提高了干涉测量系统的准确度。
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公开(公告)号：CN103344315A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310251729.1
申请日：2013-06-24
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种光纤平衡干涉高速测振系统，属于高速冲击与振动固体波精密测量技术领域。测振系统由平衡光纤耦合单元，干涉测量单元，光纤光波面精密对准模块，控制及信息输出单元，干涉信号解调模块，物理光栅；测量光源通过平衡式光学分离组件形成两束信号通过光纤空间位置调制部件将两束光投射到测量分离式光栅，测量光携带速度测量信号返回光学干涉组件形成速度干涉测量信号，利用电子解调系统完成速度解调与输出。本发明采用了简单结果，测量系统操作方便，成本较低，测量及控制精度高，通过采用平衡干涉的方法，利用光纤平衡干涉高速测振系统实现高速的测量与评价。
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公开(公告)号：CN103308150A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310253021.X
申请日：2013-06-24
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种全场激光测振装置，属于全场振动参数精密测量技术领域。包括测量光源，准直扩束器，第一偏振分光棱镜，声光调制器，第一反光镜、第二反光镜、第三反光镜，1/2波片，第二偏振分光棱镜，1/4波片，第一分域光组镜，测量对象，分光镜，第二分域光组镜，调谐光切镜，光电接收器，分域光组位移调制器，视觉测量单元；本发明采用了光学分域和全场振动调谐测量结构，使测量系统紧凑方便，易于操作与控制，实现全场振动精准测量与评价，具有较好的应用推广价值。
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公开(公告)号：CN114062170B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202111285637.6
申请日：2021-11-02
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开的一种基于梳齿电容的平衡式微小力值加载装置及方法，属于精密测量技术领域。本发明包括数据采集与控制模块、电压调整模块、压电陶瓷驱动模块、静电力平衡式压头和电容读取模块。静电力平衡式压头用于实现微小力值加载，主要由压电陶瓷堆、固定梳齿、悬浮梳齿、传导杆、压针和弹性支撑梁组成。本发明保持梳齿电容的输出电容值不变，利用压电陶瓷带动梳齿电容固定端产生垂直于压入方向的位移的同时，通过调节梳齿电容电压改变静电力，使梳齿电容悬浮梳齿的弹性支撑一直处于初始状态，当压头再次达到受力平衡时，增加的静电力直接转换为加载力，从而消除因弹性支撑梁的变形引入的加载力的非线性，实现高精度可控加载。
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公开(公告)号：CN114062170A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111285637.6
申请日：2021-11-02
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开的一种基于梳齿电容的平衡式微小力值加载装置及方法，属于精密测量技术领域。本发明包括数据采集与控制模块、电压调整模块、压电陶瓷驱动模块、静电力平衡式压头和电容读取模块。静电力平衡式压头用于实现微小力值加载，主要由压电陶瓷堆、固定梳齿、悬浮梳齿、传导杆、压针和弹性支撑梁组成。本发明保持梳齿电容的输出电容值不变，利用压电陶瓷带动梳齿电容固定端产生垂直于压入方向的位移的同时，通过调节梳齿电容电压改变静电力，使梳齿电容悬浮梳齿的弹性支撑一直处于初始状态，当压头再次达到受力平衡时，增加的静电力直接转换为加载力，从而消除因弹性支撑梁的变形引入的加载力的非线性，实现高精度可控加载。
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