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公开(公告)号：CN114245555A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111474864.3
申请日：2021-12-03
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明涉及一种等离子体测量装置，包括：探针组件，用于收集等离子体的电子和离子电流；高压扫描电源模块，用于产生电压波形并施加于所述探针组件；信号调理模块，用于切换所述探针组件的工作模式，并对所述探针组件反馈的电压和电流信号进行调理；数据采集模块，用于采集不同工作模式下经过调理的所述电压和电流信号，并对所述电压和电流信号进行处理后获得等离子体参数；所述工作模式包括扫描单探针、直流偏置单探针、扫描双探针和直流偏置三探针。由此，本发明通过切换四种探针工作模式，可以实现大范围等离子体密度和温度测量，满足稳态和瞬态等离子体参数的测量，同时极大地提高了等离子体参数的测量精度和效率。
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公开(公告)号：CN111654966A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN202010504516.5
申请日：2020-06-05
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本公开实施例公开了一种等离子体测量装置，该等离子体测量装置包括：移动台，用于在第一方向或第二方向上移动，第一方向与第二方向不同；支撑架，位于移动台上，能够跟随移动台的移动而移动；至少两个探针，位于支撑架上，用于通过支撑架的移动，与等离子体的至少两个点接触并同时测量至少两个点的等离子体特征参数。通过本公开实施例，能够提高测量效率及精度。
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公开(公告)号：CN118317497A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410128409.5
申请日：2024-01-30
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于光谱法的等离子体测量校准装置及方法，装置包括：真空罐体，其内部设有反应腔室；其两侧设有测量窗口；测量窗口包括沿真空罐体的中心轴线对称分布的探针测量窗口和光谱测量窗口；等离子体源，与反应腔室连通，用于产生标准等离子体；真空系统，与罐体内连通；探针检测装置和光谱检测装置，分别设置在同组的探针测量窗口和光谱测量窗口内；分析控制器，与探针检测装置和光谱检测装置电连接，用于根据探针检测装置和光谱检测装置的检测结果，对光谱检测装置进行校准。本发明通过探针检测装置与光谱检测装置对标准等离子体的同样位置进行测量，利用探针检测装置的测量结果对光谱检测装置进行校准，提高了光谱法测量结果的准确性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117794038A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202410128411.2
申请日：2024-01-30
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明涉及一种基于接触法的等离子体离子能量测量装置，包括壳体和支撑座，壳体内部设有前后两端敞口的筒状内腔，筒状内腔内设有屏蔽罩层和收集极以及在屏蔽罩层和收集极之间设有若干交叠设置的绝缘隔离板和栅网；屏蔽罩层上离子体进入孔与绝缘隔离板上绝缘通孔连通形成离子体阻滞腔，收集极上设有与离子体阻滞腔连通的第一通气孔；支撑座上设有接线孔，接线孔内设有电缆接头座，电缆接头座上设有与第一通气孔连通的第二通气孔。本发明，通过第一通气孔和第二通气孔将多余工质气体排出，避免离子体阻滞腔内压力过高影响收集极采集结果的准确性。
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公开(公告)号：CN114245554A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111465016.6
申请日：2021-12-03
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明涉及一种等离子体推力器羽流参数多点测量装置及测量方法，多点测量装置，包括：真空舱；与所述真空舱相连接的真空泵单元；与所述真空泵单元相连接的工控单元，用于提供并维持所述真空舱的真空环境；以及测量单元；所述测量单元包括：至少两个设置在所述真空舱内的三维移动平台；设置于所述三维移动平台上的探测结构；与所述探测结构连接，用于采集数据的采集单元；探测结构采用朗缪尔探针、RPA探针或Faraday探针。本发明可以提高等离子体测量效率、能够连续测量羽流多点对称性，打破朗缪尔探针使用的局限性、屏蔽探针电路中的误差干扰，同时，本发明的多点测量装置结构简单、稳定可靠，实用性强。
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公开(公告)号：CN118829059A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410877286.5
申请日：2024-07-02
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明为等离子体探针校准领域，提供基于辐射光谱及红外成像的等离子体探针阵列校准方法。测量探针阵列的表面温度，使用探针阵列测量稳定运行的霍尔推进器的羽流参数，得到此时探针阵列收集到的伏安特性曲线。再使用红外成像仪测量探针阵列的表面温度，得到探针受轰击加热的温度差。结合探针表面的二次电子发射系数，便计算出二次电流值。结合探针本身测量得到的离子电流值，对电子电流值进行修正，得到真实的伏安特性曲线，计算出准确的电子温度密度。使用光谱仪通过光谱测量此时的电子温度电子密度，与修改后的探针测量的电子温度电子密度进行对比，实现对等离子体探针阵列进行校准。用以解决探针测量结果缺乏校准，准确度难以评定的问题。
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公开(公告)号：CN118555722A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410877284.6
申请日：2024-07-02
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种结合光谱和红外成像的离子推力器推力状态在轨监测装置及方法，属于航天等离子体推进技术领域，离子推力器安装在人造卫上，红外相机和多光谱相机通过机械手与人造卫星相连，所述红外相机和多光谱相机可以通过机械手移动，以充分获取离子推力器栅极的温度信息和等离子体密度信息；首先使用红外相机和多光谱相机拍摄图像；根据得到的红外相机图像计算栅极温度；根据多光谱相机图像计算等离子密度；计算离子透明度和离子电流；最后计算并分析离子推力器的推力状态；本发明的方法对推力器本身无干扰，可以实现卫星的空间在轨使用，从而监测离子推力器推力状态的天地不一致性。
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公开(公告)号：CN110856331A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911123708.5
申请日：2019-11-17
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明公开了一种用于空间等离子体环境模拟的均匀射频等离子体源，涉及半导体制造技术领域，包括射频天线、石英介质窗、感应屏蔽层、支撑结构、外屏蔽罩、匹配网络、射频电源，可消除射频感应天线与等离子体之间的残余容性耦合、调节天线电压分布，产生空间分布均匀、等离子体电位非常低的射频等离子体，具有较高的空间等离子体环境模拟稳定度，且该系统结构简单、可靠。
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