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公开(公告)号：CN103491059A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201210193136.X
申请日：2012-06-12
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明涉及一种面向半导体制造设备的数据采集实现方法，步骤为：分别在客户和设备服务端建立Web服务，Web通信中使用代理类；基于安全套接层协议的客户安全认证；自定义SOAPHeader数据格式；建立设备信息数据库；使用委托代理的方式处理设备中各种事件异常；创建数据采集计划的状态机，实现数据采集计划的行为转换；使用COM组件，完成设备端与设备控制系统的连接。本发明为半导体制造提供了通用设备数据采集方法，提高了半导体生产制造中生产者与工厂设备之间的数据采集能力。
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公开(公告)号：CN102566527A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201010616602.1
申请日：2010-12-30
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
IPC: G05B19/418 , H01L21/00
CPC classification number: G05B19/4185 , Y02P90/18
Abstract: 本发明涉及一种半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，步骤为：建立相应的子系统管理模块、通讯接口模块、解析模块和网络通讯模块；通讯接口模块接收到半导体制造设备控制系统发送的控制指令，转发给子系统管理模块；子系统管理模块对控制指令进行解析，分发给相应的子系统模块，子系统模块通过网络通讯模块向控制器发送指令，多个子系统模块可并行执行控制指令；解析模块对接收到的控制器消息进行解析，将指令运行结果反馈给相应的子系统模块，再由通讯接口模块反馈给半导体制造设备控制系统。本发明为半导体制造设备前端模块提供了标准化的软件接口，有利于不同IC装备控制系统标准化；提高了系统的生产效率，提高了系统的适应性。
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公开(公告)号：CN101552794B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200810010912.1
申请日：2008-04-03
Applicant: 沈阳中科博微自动化技术有限公司 , 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明属于网络通信技术，具体地说是一种基于SEMI标准的SECS通信方法。包括HSMS通信模块实现设备到主机的连接，并通过网络进行数据传输步骤；及通过SECS协议模块进行SECS II编解码，实施数据收集、设备控制和异常处理步骤。采用本发明可实现半导体工厂的自动化管理，能够满足半导体器件制造过程中的高真空、高洁度、高无尘等特性要求，可使不同的设备控制系统标准化、提高生产效率、降低生产成本。
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公开(公告)号：CN101469418B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200710159306.1
申请日：2007-12-29
Applicant: 沈阳中科博微自动化技术有限公司 , 中国科学院沈阳自动化研究所
IPC: C23C16/52 , C23C16/513
Abstract: 本发明属于控制系统技术，具体地说是一种等离子增强化学气相沉积设备的控制方法。它包括设备初始化控制、晶圆加工流程控制、设备异常报警控制，其中：设备初始化控制步骤为启动设备电源，打开报警监控，并发送传片腔和反应腔的初始化指令；晶圆加工流程控制步骤为导入工艺配方，使用批或层配方进行加工初始化、晶圆加工和加工结束控制；设备异常报警控制实现对设备异常和故障的监控，通过异常预处理机制和报警应答处理机制，对设备报警进行分步处理。采用本发明可实现对化学气相沉积的非常精确的工艺控制，能够满足半导体器件制造过程中的工艺要求。
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公开(公告)号：CN101753348A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200810229891.2
申请日：2008-12-17
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明涉及一种高可用性工业以太网冗余方法，包括以下步骤：在以太网原有数据链路层上增设链路冗余实体，用于管理以太网数据帧的发送和接收；相对于原始协议栈设置两个网络适配器驱动，用于管理两个网络适配器接口；通过两个网络适配器将包含链路冗余实体和两个网络适配器驱动的双连接节点分别连接到两个独立的网络上；在链路冗余实体上为数据帧添加冗余控制跟踪器用以区别具有相同内容的数据帧；双连接节点通过两个网络适配器发送具有相同内容的带有冗余控制跟踪器的数据帧至两个相互独立的网络上；保存有效帧，丢弃副本帧；建立节点表。本发明具有透明性、自愈性、兼容性等特点，改造简单，增加系统的安全性能，使系统具有高可用性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100581133C
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200610134204.X
申请日：2006-11-08
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明公开一种面向工业监测应用的无线网状网络组播通信方法，在考虑工业监测应用特点的前提下，充分利用能力较强的设备来协助资源受限的现场设备维护和管理组播。采用这种基于中心控制的组播方法后，首先，现场设备无需记录和维护组播组成员列表，所以可以节约现场设备有限的存储空间；其次，现场设备不需要进行组播路由发现和维护从而节约了现场设备的通信开销；再次，组播的维护和管理在能力较强的中心设备上以集中的方式进行，易于实现和管理。
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公开(公告)号：CN101318471A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200710011579.1
申请日：2007-06-06
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
IPC: B60K28/00
Abstract: 本发明涉及一种线控节气门控制器模块及其控制方法，线控节气门控制器模块设于电子油门踏板及线控节气门体之间，具有主处理器，用于运行各种控制算法，通过模拟量输入接口分别与酒敏传感器及踏板位置传感器相连；通过PWM接口及电机驱动器控制步进电机的动作。本发明硬件结构运行线控节气门控制算法，通过采集来自踏板位置传感器及酒敏传感器的信号，根据线控节气门控制算法驱动步进电机动作，以完成对节气门开启角度的控制。本发明融合了“可调驾驶性能”功能，尤其是“酒后驾驶监控与报警”功能，有效地降低了酒后驾车的危险，能够满足不同类型驾驶员的驾驶需求；通过其上集成的CAN总线接口可与其它车载电脑通信。
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公开(公告)号：CN1897557A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200510046868.6
申请日：2005-07-13
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明涉及自动控制领域，具体说是一种基于工厂自动化工业以太网现场总线的无线嵌入式控制器。包括主控器模块和无线通信模块两部分，其中：主控器模块运行EPA工业以太网现场总线通信协议栈，无线通信模块负责与其他的无线现场设备进行通信，并提供与以太网的无缝连接，通过USB接口电路与主控器模块相连，共同构成EPA控制网络。本发明基于EPA工业以太网现场总线的智能化控制设备，在工业现场实现控制功能，适合改造传统工业控制系统，消除了现场设备间或与监控网络间的有线连接，降低控制系统的造价，特别适合环境恶劣的工业控制现场。
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公开(公告)号：CN115099273B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202210711851.1
申请日：2022-06-22
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
IPC: G06F18/241 , G06V10/82 , G01L27/00 , G06N3/09 , G06N3/0464 , G06F18/10
Abstract: 本发明涉及一种基于深度学习的压力仪表引压管智能故障诊断方法，包括信号处理模块和智能识别模块两大部分，其中信号处理模块包含信号滤波单元与信号归一化单元，智能识别模块包括小波变换单元与二维卷积神经网络。本发明以压力仪表中传感器输出的原始压力信号为基础，由信号处理模块进行滤波和归一化之后，先通过小波变换对于不同频段的健康信息进行分离，以增强对于变工况环境的适应能力，之后通过二维卷积神经网络进行特征提取与健康状态识别。本发明用于变工况环境下的压力表引压管故障诊断方法能够实现在工况变化条件下，尤其是过程噪声频率变化条件下的压力表引压管故障诊断，最终能够保障仪表在使用过程中的安全稳定运行。
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公开(公告)号：CN117665496A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202211016869.6
申请日：2022-08-24
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明涉及一种高鲁棒性的电磁线圈绝缘退化状态评估方法，包括：向待测线圈注入小幅值高频信号并采集其响应信号，待测线圈当前温度信号利用温度传感器采集或基于非侵入式信号估算获取，基于线圈的高频响应信号构建绝缘健康因子，借助绝缘健康因子映射模型将当前温度下的健康因子变换成参考温度下的健康因子，基于参考温度下电磁线圈健康评估模型确定监测阈值，最后完成电磁线圈绝缘退化状态精准评估。本发明充分考虑了线圈温度对高频电学参数的干扰问题，通过引入健康因子映射，有效提升了现有基于高频电学参数的电磁线圈绝缘退化监测方法的鲁棒性，对于避免因线圈绝缘失效而引发的意外停机事故以及最终实现工业装备的预测性维护有重要意义。
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