公开(公告)号：CN111623957A

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN202010391522.4

申请日：2020-05-11

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 吴永前 ,  廖伟彪 ,  徐燕 ,  刘源超 ,  彭景

IPC: G01M11/02 ,  G01B11/24 ,  G06T3/40

Abstract: 本发明公开了一种用于X射线聚焦镜拼接干涉检测的点云配准拼接方法。本发明首先对被测柱面镜进行子孔径划分，确定每个子孔径的大小和各个子孔径间的重叠区域；用干涉仪获取被测镜各个子孔径的面形信息后根据子孔径重叠区域面形的一致性，枚举并计算拼接方向误差范围内两个相邻子孔径重叠区域的残差；然后对残差进行平面拟合，拟合残差的均方根值最小时即为最佳点云配准；计算出所有相邻子孔径的最佳配准后，利用最小二乘法计算出刚体变换矩阵对子孔径进行位姿误差的补偿并完成面形拼接；本发明可保证在特征点提取困难且不借助其它精密设备的情况下仍有像素级的配准精度。

公开(公告)号：CN102410500A

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：CN201110211500.6

申请日：2011-07-27

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 徐燕 ,  万勇建 ,  吴永前

IPC: F21V14/06

CPC classification number: G01B9/02001 ,  G02B27/0944

Abstract: 一种环半径和环厚度可调的干涉仪环形光源系统包括：激光光源、扩束准直光学系统、可变光阑、二元相位光栅、变焦光学系统和空间滤波器；激光光源经过扩束准直系统后变成平行光，再经过可变光阑对光束的直径大小进行调节，以控制垂直入射到二元相位光栅上的光束直径大小；光束经过可变光阑调节直径大小后垂直入射到二元相位光栅上，二元相位光栅后为变焦光学系统，在变焦光学系统的后焦面上放置空间滤波器接收环形光源，通过调节变焦系统的焦距f1的大小分别改变环形光源的环厚度和环半径。本发明可以为高精度干涉仪提供照明，能有效降低干涉仪系统的相干噪声，提高干涉仪的信噪比和测量精度。

公开(公告)号：CN113670582A

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202110953315.8

申请日：2021-08-19

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 吴永前 ,  肖康 ,  刘锋伟 ,  徐燕 ,  陈小君 ,  刘源超 ,  周平 ,  邓婷 ,  覃蝶

IPC: G01M11/02 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种基于液体透镜的面型检测方法，它主要是根据液体透镜的特性实现了自变焦的功能，在检测过程中改变电压，通过观察CCD接收到的从待测面反射的光信号的强度，当光强度达到极值即透镜焦距刚好在待测面的一个检测点上，以此时的电压反解液体透镜此时的焦距，从而得到待测面上一个被测点和液体透镜的相对位置，接着平移待测面，然后重复上述步骤，则会得到一个新的相对位置信息，最后根据需要得到一系列待测面上点的位置信息，分析得到待测面的面型。对于多种曲率的面型可以实现等同检测，因此结构紧凑，变焦快，响应快，减轻了检测流程的复杂度，加快了检测速度，降低了检测成本。

公开(公告)号：CN111854635A

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN202010640723.3

申请日：2020-07-06

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 吴永前 ,  刘源超 ,  刘峰伟 ,  徐燕 ,  陈小君

IPC: G01B11/24 ,  G02B3/14

Abstract: 本发明涉及一种基于液体透镜的非球面检测方法，该方法主要是根据液体透镜的特性实现了自变焦的功能，又由非球面的补偿原理，可以相应的设计出由液体透镜进行补偿的补偿镜，在检测过程中完全补偿非球面的法线像差，产生与理想非球面一致波前，进而可以分析非球面的面形误差信息。对于多种曲率的非球面可以实现等同检测，同时对于补偿镜的补偿范围也相应的进行了提高，因此减轻了检测流程的复杂度，加快了检测速度，降低了检测成本。

公开(公告)号：CN103292738A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201310259595.8

申请日：2013-06-26

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 宋伟红 ,  侯溪 ,  李世芳 ,  赵文川 ,  吴高峰 ,  徐燕 ,  毛洁 ,  吴永前 ,  万勇建

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种球面面形误差绝对检测方法，利用被测球面在共焦位置多次旋转和共心平移的测量数据，采用基于Zernike多项式拟合的旋转平移算法，构建关于被测球面和参考面Zernike多项式系数的方程系，运用最小二乘法解得Zernike多项式系数，从而获得被测球面和参考面的绝对面形信息。该方法同样也可用于平面面形误差的检测。由于该方法采用了全局优化的思路同时解算被测球面和参考面的多项式系数，因而更能抑制系统误差和随机噪声，抗干扰性更强，具有重要的应用价值。

公开(公告)号：CN102865830A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201210336507.5

申请日：2012-09-12

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 宋伟红 ,  李世芳 ,  侯溪 ,  赵文川 ,  吴高峰 ,  徐燕 ,  毛洁 ,  吴永前 ,  万勇建

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种滤除干涉检测数据中随机噪声的滤波方法，该方法以选取的数据点为中心点，采用多次函数对滤波窗口（滤波窗口大小可调）内的数据进行基于最小二乘法的多项式拟合（多次函数阶数可选），得到多项式系数，并以常数项系数作为该点滤波后的值，然后依次按行或按列递增进行滤波。相比于一般的均值滤波和带通滤波，该方法可准确滤除随机噪声并保留原始数据细节信息，不会丢失任何频率信息。本发明通过对检测面形数据进行滤波，提供了一种滤除随机噪声的方法，对高精度面形检测中进一步提高面形检测精度有重要的应用价值。