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公开(公告)号：CN113205739B
公开(公告)日：2023-02-14
申请号：CN202110404130.1
申请日：2021-04-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种激光与微通道靶准直调节系统及准直调节方法，调节装置，包括该系统包括打靶激光光路的一部分，其特点在于还包括模拟光路、微通道姿态调节装置和观测平面。本发明能使激光与微通道靶实现较好准直效果以满足打靶实验需求，而且具有操作简便、准直效果好、成本低等特点。
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公开(公告)号：CN115437219A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202210949541.3
申请日：2022-08-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 清华大学
IPC: G03F7/16
Abstract: 一种大口径基板表面光刻胶膜均匀烘烤设备，该设备主要包括烘烤系统、基板上下样系统及控制系统。所述的烘烤系统主要由循环风机、加热元件、高效过滤器、烘烤腔室、腔室密封圈、风向导流片、进风端口、回风端口和循环风道、气体输入端口及排气端口构成，具有百级洁净度、温度控制范围20℃～200℃，腔室温度均匀性优于±3℃，温度精度±0.5℃。所述的基板上下样系统包含转运小车和基板升降装置，所述的转运小车具有小角度调节基板倾斜功能，且紧邻基板靠近进风端一侧设有导流板，既能确保大口径样片安全地上下烘烤腔室工位，又能优化膜层烘烤工艺。本发明设备能够实现双向米量级尺寸、超厚基板的光刻胶膜烘烤工艺，在涂胶后光刻胶膜厚均匀性基础上进一步提升其膜厚均匀性。
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公开(公告)号：CN113484900A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202110813144.9
申请日：2021-07-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01T1/36
Abstract: 一种基于渐变磁场的电子和伽马射线谱仪，包括转换靶、屏蔽部分、谱仪主体部分、探测器。通过采用渐变磁场，可以使得不同能量电子偏转轨迹汇聚点近乎在一条直线上。探测器沿着该直线插入谱仪主体部分内部，采集电子或者伽马射线经过转换靶后产生的正负电子信号，实现高分辨探测。本发明具有在线探测、分辨率高、动态范围较大和使用灵活的特点。
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公开(公告)号：CN103234491B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201310145187.X
申请日：2013-04-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B15/00
Abstract: 一种用于飞秒激光团簇相互作用中飞秒激光团簇尺寸的标定方法，包括下列步骤：根据激光团簇相互作用实验中获得的离子飞行时间谱推导实验上的离子能谱；模拟团簇尺寸的对数正态分布；模拟团簇半径的分布；模拟团簇的离子能谱；确定最终的团簇半径分布和团簇尺寸分布；完成了团簇尺寸的标定。实验表明，本发明可以探测团簇的尺寸范围很大，能够对团簇平均尺寸实现绝对标定，并且可以得到团簇尺寸分布的准确信息，是一种非常有效的诊断团簇尺寸的方法。
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公开(公告)号：CN102445705A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201110254576.7
申请日：2011-08-31
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01T1/29
Abstract: 一种用于可同时测量飞秒电子束长度、能谱和电量参数的多功能飞秒电子束诊断仪，由电子束偏转单元、电子束能谱单元、电子束初始方向定标单元、电子束偏转和电量测量单元组成。本发明主要利用了后向相干衍射辐射导致的电子束偏转效应，并结合了传统电子能谱仪和前向相干衍射辐射定标法，克服了传统电子束诊断仪无法实现对10fs甚至飞秒量级的电子束长度、能谱、电量等参数同步测量的缺点。实现了对飞秒电子束的电子束长度、能谱、电量的同步测量，具有操作简单、方便高效、测量精度高、应用范围广的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113543447B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202010284199.0
申请日：2020-04-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H05H3/06
Abstract: 一种基于激光加速器的中微子束产生装置，包括激光器、反射镜、离轴抛物面镜、加速靶、转化靶、电动平移台和真空室。本发明首先利用激光聚焦系统对激光脉冲进行聚焦提高激光光强，然后将聚焦后的强激光与加速靶相互作用获得质子束，最后利用质子束与转化靶相互作用产生中微子束。本发明具有小型化、变向灵活、能量可控、成本低等特点。
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公开(公告)号：CN112383998A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011329346.8
申请日：2020-11-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H05H1/54 , G01R31/303
Abstract: 一种基于激光加速器的单粒子效应测试装置，包括飞秒激光装置、激光传输系统、激光聚焦系统、离子加速系统、离子束整形聚焦系统、单粒子效应测试系统和真空靶室系统。飞秒激光装置产生的激光脉冲经过激光传输和聚焦系统后，聚焦到离子加速系统的加速靶上产生高能离子束，利用离子束整形聚焦系统将离子束整形聚焦，传输到单粒子效应测试系统，实现单粒子效应测试。本发明将激光驱动加速的离子应用到了单粒子效应测试领域，该装置具有台式化、调向灵活、粒子种类丰富、宽能谱、能量可控等特点，可用于空间辐射环境模拟等应用。
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公开(公告)号：CN107475776B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201710576931.X
申请日：2017-07-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 杭州锐研科技有限公司
Abstract: 一种用于KDP类晶体的油浴退火炉，包括保温筒、保温盖，在保温筒内设有内筒，在保温筒的内壁上安装有加热器，在内筒内设有晶体支撑板，还包括搅拌叶轮和固定在所述的保温盖上的搅拌电机，该搅拌叶轮由搅拌电机带动，在加热器的内壁与内筒的外壁之间布置有侧壁油道和多孔筛环，保温筒的底部上表面和内筒的底部下表面之间布置有底部油道，内筒底部上表面的中心与出油管的进油端相连，出油管的出油端与油泵的进口连接，在出油管旁边安装进油管，进油管的进油端与油泵的出口相连，进油管的出油端位于保温筒的底部上表面、连通所述的底部油道。本发明具有很高的温度均匀性，试验结果表明，待退火的晶体附近的温度均匀性在±0.05℃以内，可以为提升KDP类晶体的退火温度、达到较为理想的退火效果提供有力的保障。
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公开(公告)号：CN107475777B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201710576936.2
申请日：2017-07-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 杭州锐研科技有限公司
Abstract: 一种用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉，包括保温筒、保温盖，在保温筒内设有内筒，在保温筒的内壁上安装有加热器，在加热器的内壁与内筒的外壁之间布置有侧壁油道和多孔筛环，保温筒的底部上表面和内筒的底部下表面之间布置有底部油道，内筒底部上表面的中心与出油管的进油端相连，出油管的出油端与油泵的进口连接，在出油管旁边安装进油管，进油管的进油端与油泵的出口相连，进油管的出油端位于保温筒的底部上表面、连通所述的底部油道。本发明具有很高的温度均匀性，待退火的晶体附近的温度均匀性在±0.1℃以内，可以为提升KDP类晶体的退火温度、达到较为理想的退火效果提供有力的保障。
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公开(公告)号：CN102661908B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201210129579.2
申请日：2012-04-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N9/24
Abstract: 一种用于超短超强激光与团簇相互作用的诊断激光等离子体参数的单光束飞秒探针，其构成是以置于真空靶室内、离轴抛物镜焦点上方的靶点为中心，沿光路分为探针光的形成、缩束、延时调节部分和探针光的扩束、相干测量部分，包括激光分束器、激光缩束系统、光学延时系统、激光扩束系统和激光干涉测量系统。本发明具有简捷性、易操作性、延时的准确性、高灵敏度和低成本等优点。
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