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公开(公告)号：CN110879627A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201911340023.6
申请日：2019-12-23
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC: G05F1/567
Abstract: 一种具有电流输出能力的带隙基准电压的拓扑结构，涉及带隙电压输出领域。本发明是为了解决现有带隙基准电压在驱动电阻或电流形式负载时，需要在带隙基准和负载间串入缓冲器，不但结构形式复杂，而且缓冲器还会引入额外的失调和噪声，影响带隙基准电压输出精度的问题。电流镜像电路检测带隙基准电压，并将该电压转化为电流，反馈给具有不平衡输入级的电流输入放大器；正温度系数电流产生电路产生正温度系数电流；具有不平衡输入级的电流输入放大器接收反馈电流和正温度系数电流，对两路电流做差并放大，生成放大后的控制电压；NMOS功率管M0根据控制电压调整NMOS功率管M0的驱动电流，维持带隙基准电压稳定输出。用于稳定带隙基准电压。
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公开(公告)号：CN110133318A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910493264.8
申请日：2019-06-06
Applicant: 哈尔滨工程大学 , 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC: G01P3/49
Abstract: 超高温电涡流传感器，属于传感器测量领域，本发明为解决采用磁电式结构的电涡流传感器在温度高于500℃时无法测量的问题。本发明包括外壳、陶瓷骨架、贵金属线圈和高温同轴线缆，所述外壳包括陶瓷顶板、连接筒和下部外壳，连接筒的一个开口端与陶瓷顶板固连，连接筒的另一个开口端与下部外壳的开口端固连，下部外壳的底板中心设有电缆口-，电缆口-嵌固高温同轴线缆；陶瓷顶板、连接筒和下部外壳围合成真空密封腔，在真空密封腔内设置陶瓷骨架，所述陶瓷骨架的上、下端面均设有螺旋槽，贵金属线圈绕制在两层螺旋槽，贵金属线圈的引出端通过高温同轴线缆与外部电源进行电连接。
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公开(公告)号：CN109883603A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910190483.9
申请日：2019-03-13
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所 , 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01L9/08
Abstract: 一种基于SOI的硅微谐振式压力敏感芯片谐振器，涉及一种谐振器。本发明解决了现有的谐振器存在复合压力敏感膜的同振质量影响谐振器现象的问题。当静电激励的驱动频率与谐振单元的固有频率耦合时，发生谐振现象，谐振单元的振幅变化明显，谐振单元的一阶振型为沿平行于长方形短边方向的同向振动，二阶振型为沿平行于长方形短边方向的相向振动，该振型为所需的测试振型。当固定于锚块的复合压力敏感模型收到测试介质的压力时，该谐振器的固有频率发生变化，但其二阶振型不发生变化，因此避免了复合压力敏感膜片同振质量的影响，产品精度得到很大程度的提高。本发明用于压力敏感测试。
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公开(公告)号：CN109883602A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910189693.6
申请日：2019-03-13
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所 , 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01L9/08
Abstract: 一种基于SOI的自补偿硅微谐振式压力敏感芯片，涉及一种谐振式压力敏感芯片。本发明解决了现有谐振式压力敏感芯片谐振器受到外界因素影响而导致谐振频率漂移的问题。本发明包括第一谐振器(1)和第二谐振器(2),第一谐振器(1)和第二谐振器(2)水平并排安装在硅片上,且第一谐振器(1)的下面刻蚀减薄，用于测量待测压力信息；第二谐振器(2)的下面未刻蚀，用于测量除了压力以外的其他信息，补偿误差因素对第一谐振器(1)谐振频率的影响；第一谐振器(1)和第二谐振器(2)的运动方向和结构相同。本发明用于自补偿硅微谐振式压力敏感芯片。
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公开(公告)号：CN105157816B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201510508396.5
申请日：2015-08-18
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
Abstract: 无线振动目标分类识别装置,属于无线传感器技术领域,本发明为解决振动感知装置在野外等无外部供电条件下不能长期低功耗工作问题。本发明包括壳体、上盖、空心椎体、振动感知器、角度传感器、振动感知器承载件、电路板、电源和天线;壳体为圆桶形,壳体的上端开口设置有上盖,壳体的下端面中部与空心椎体的上端大口连接,且壳体的内腔与空心椎体的内腔连通;角度传感器设置在空心椎体的内侧壁上;振动感知器承载件的弧形首端固定在壳体的侧壁上,振动感知器承载件的悬空尾端设置有振动感知器;电路板设置在壳体的内腔,电路板与上盖平行设置,且通过若干个连接柱相连;电路板上安装有天线,天线的发射端从上盖圆心处的通孔伸出至壳体的外部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103675090A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310717711.6
申请日：2013-12-23
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC: G01N27/64
Abstract: 低检出限有害气体检测器，涉及总烃气体检测领域。解决了现有总烃气体检测装置的气体检出限高和体积大的问题。本发明所述的信号转换及显示电路嵌入在壳体的前表面上，固定托架、吸气泵、电离室、UV防护板和紫外光光源均位于壳体内，过滤器嵌入在壳体的一个侧壁内，固定托架固定在壳体的后表面上，电离室固定在固定托架上，且该电离室的上壁和下壁均设有电极片，吸气泵放置在电离室上，吸气泵、过滤器和电离室三者连通，UV防护板夹固在电离室的上壁和下壁之间，该UV防护板中心设有通孔，紫外光光源固定在固定托架上，紫外光光源发射的紫外光束垂直入射至UV防护板的通孔内，信号转换及显示电路与两个电极片电连接。具体用于气体检测领域。
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公开(公告)号：CN112670197B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202011534616.9
申请日：2020-12-22
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC: H01L21/66
Abstract: 一种检测ICP工艺微小尺寸刻蚀深度及均匀性的方法，涉及一种ICP工艺对微小尺寸刻蚀深度及均匀性的检测方法。解决了现有检测ICP工艺刻蚀微小尺寸硅微结构的深度及均匀性的方法存在测量误差大，不方便连续进行刻蚀，费时费力的问题。本发明确定对晶圆背面的腐蚀深度；根据确定的腐蚀深度，采用各向异性湿法将晶圆每个单元的背面腐蚀出54.74°的斜坡结构；通过双面光刻对准技术，将待刻蚀区域与斜坡结构进行对准；在晶圆待刻蚀区域，采用ICP工艺进行固定线宽结构刻蚀，没有新的刻透结构产生，利用最后出现的刻透结构对应的刻蚀深度计算ICP工艺在该刻蚀宽度时的最大深度，计算ICP工艺在该宽度时刻蚀的均匀性。本发明适用于检测ICP工艺微小尺寸刻蚀深度及均匀性。
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公开(公告)号：CN115598377A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211326229.5
申请日：2022-10-27
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所(CN)
IPC: G01P21/00
Abstract: 基于数字ΣΔ闭环加速度计的零位漂移自检测自校准系统，属于传感器技术领域，本发明为解决现有MEMS加速度计存在零位漂移的问题。它包括：零位自检测自校准电路的激励源生成低失真单频正弦激励信号；闭环伺服接口电路产生高压静电电力反馈信号，作用在MEMS敏感构件上构成自检测环路；MEMS敏感构件在低失真单频正弦激励信号作用下做受迫振动，在加速度计发生漂移时伺服位置产生偏移，产生电容变化量；闭环伺服接口电路采集电容变化量，输出中产生自检测偶次谐波失真分量，零位自检测自校准电路进行幅值和相位提取，产生补偿控制信号，输送至MEMS敏感构件对电容失配进行补偿。本发明用于对零位漂移进行在线自检测和自校准。
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公开(公告)号：CN111854813B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202010734713.6
申请日：2020-07-27
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所 , 哈尔滨工程大学
IPC: G01D5/353
Abstract: 一种温度自补偿式非本征法布里珀罗腔及制作方法，解决了现有非本征法布里珀罗腔受温度影响的问题，属于光纤传感技术领域。本发明的非本征法布里珀罗腔包括蓝宝石膜片、二氧化硅基座和蓝宝石柱片，蓝宝石膜片位于二氧化硅基座顶部，所述氧化硅基座由二氧化硅侧壁和二氧化硅底座组成；二氧化硅侧壁和二氧化硅底座与蓝宝石膜片构成真空腔，蓝宝石柱片设置在真空腔内，并固定在蓝宝石膜片的底部中心位置。本发明还提供了制作方法。本发明增强了非本征F‑P腔的应用温度范围，降低了成本，又让光在F‑P腔中传输没有较大传输损耗，增加了F‑P腔的使用寿命，适应较宽的温度范围内进行光学信号的温度补偿，大大减小了光学解调部分的工作量。
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公开(公告)号：CN113063988A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110297044.5
申请日：2021-03-19
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
Abstract: 一种共用中间电极板的双池电导率传感器及其制备方法，涉及海洋测量仪器领域，尤其涉及海水电导率传感器。本发明是为了解决传统电极式电导率传感器进行大小量程切换时，需要更换电导池探头，还会使得传感器信号输出稳定性差的问题。本发明电导率传感器芯体中位于中间的电极板两侧均设有电极组、且两侧的电极组镜像对称设置，位于两侧的电极板单侧设有电极组，位于两侧的电极板上的电极组与位于中间的电极板上的电极组相互正对，电极组包括电流电极和电压电极。两个电导池的四个电极板减少到三个电极板，中间电极板是两个电导池共用，使得传感器整体体积缩小到原来的一半。
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