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公开(公告)号：CN110579298A
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201911000986.1
申请日：2019-10-21
Applicant: 中南大学
IPC: G01L1/24 , G01B11/255 , C25D1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于热平衡条件下的高精度电铸应力在线检测方法，采用稳定加热的方法提高电铸液在加温下的平稳性，使电铸液在加热条件下依然能对铸层应力进行高精度检测；阴极基底采用与铸层弹性模量相同或相近的材料；激光发生器和波前传感器的设置，使激光照射在阴极基底抛光面的检测区域，并且激光从抛光面反射后照射在波前传感器的接收窗口；根据电铸过程中反射激光波前相位图得到激光相位曲率半径，计算得到基底曲率半径，并带入stoney公式计算得出铸层平均应力。本发明采用在线检测的方式，可以得出铸层应力与铸层厚度的关系，为铸层应力降低研究提供检测基础。本发明在对铸层应力在线检测的同时，满足了高精度检测的需求。
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