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公开(公告)号：CN108592900B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201810394218.8
申请日：2018-04-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明提供一种四立柱体状质量块硅微机械陀螺仪，包括上层质量块结构、中层硅微传感器结构、下层衬底结构，上层质量块结构包括四个圆柱体质量块，所述四个圆柱体质量块分别粘合在硅微传感器结构的四个质量块托盘中心，中层硅微传感器结构通过锚点键合在下层衬底上；中层微硅传感器结构包括位于中心的检测子结构、连接在检测子结构四周的四个质量块托盘、连接在相邻两质量块托盘之间的驱动子结构，相邻两质量托盘之间还通过检测耦合梁连接；下层衬底上设有电极引线。本陀螺仪能够实现垂直轴角速度敏感，具有驱动及检测频率低，灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN109142786B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201811148682.5
申请日：2018-09-29
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/08 , G01P15/105 , G01P15/13
Abstract: 本发明公开了一种基于扭摆式结构的隧道磁阻式微加速度计装置，该加速度计装置主要由顶层隧道磁阻传感器元件检测结构、中间层硅微机械结构、底层布有电极的玻璃衬底结构构成。顶层结构和中间层结构通过锚点键合在底层结构之上,从而构成统一整体。中间层外部质量块在外界输入加速度的作用下运动，带动内部质量块和磁片的扭摆。通过顶层隧道磁阻传感器检测磁片形成磁场的变化反应外界输入加速度的变化。本发明提出的隧道磁阻微加速度计装置结构简单、易于加工，具有线性度好、灵敏度高、检测精度高、测量量程宽等诸多优点。
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公开(公告)号：CN109142784B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201811049038.2
申请日：2018-09-10
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/08 , G01P15/105 , G01P15/13
Abstract: 本发明提供了一种基于杠杆机构的差动质量块式隧道磁阻微加速度计装置，包括上层隧道磁阻传感元件结构、中层硅微传感器结构、下层布有电极引线的玻璃衬底结构；上层结构和中层结构分别通过两组锚点键合在下层结构上。本发明结合了MEMS技术与量子力学中的隧道磁阻效应，结构合理简单、易于加工、体积小、测量精度高、灵敏度高；利用磁场强度改变实现隧道磁阻效应，通过磁片位移使隧道磁阻元件周围磁场强度变化，线性度好、性能优；采用杠杆机构连接质量块与外部框架，当有加速度信号输入时，质量块与外部框架形成差动；两个隧道磁阻敏感元件反向对称布置，输出值反向偏离初始值，实现差分检测，有效抑制干扰引起的共模误差、增强装置可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109142786A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811148682.5
申请日：2018-09-29
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/08 , G01P15/105 , G01P15/13
CPC classification number: G01P15/08 , G01P15/0894 , G01P15/105 , G01P15/131 , G01P2015/0862
Abstract: 本发明公开了一种基于扭摆式结构的隧道磁阻式微加速度计装置，该加速度计装置主要由顶层隧道磁阻传感器元件检测结构、中间层硅微机械结构、底层布有电极的玻璃衬底结构构成。顶层结构和中间层结构通过锚点键合在底层结构之上,从而构成统一整体。中间层外部质量块在外界输入加速度的作用下运动，带动内部质量块和磁片的扭摆。通过顶层隧道磁阻传感器检测磁片形成磁场的变化反应外界输入加速度的变化。本发明提出的隧道磁阻微加速度计装置结构简单、易于加工，具有线性度好、灵敏度高、检测精度高、测量量程宽等诸多优点。
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公开(公告)号：CN108225295A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711308363.1
申请日：2017-12-11
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5621
CPC classification number: G01C19/5621
Abstract: 本发明公开了一种基于音叉驱动效应的三轴微陀螺仪，包括上层陀螺仪结构和下层玻璃衬底，上层陀螺仪结构由左机械结构、右机械结构、中间机械结构、上横梁、下横梁、短梁以及锚点组成，中间机械结构中设计了基于音叉驱动的转向机构，通过对左、右机械结构的X轴单一方向驱动，实现其X轴的简谐驱动和中间机械结构敏感质量Y轴的简谐驱动，保证了不同轴之间驱动频率的一致性。当外界有角速度输入时，敏感质量受到科里奥利力而产生位移。本发明采用双敏感质量设计和变间距式电容差分检测，能够抑制温度，结构应力，加速度等共模干扰；本发明结构对称布置，稳定性好，抗干扰能力强。
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公开(公告)号：CN108493271A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810203249.0
申请日：2018-03-13
Applicant: 东南大学
IPC: H01L31/024 , H01L25/16 , H01L35/28
Abstract: 本发明提供了一种用于非制冷型红外探测器的芯片级超微型制冷机，包括外层封装层结构和内层制冷机结构，外层封装层结构包括真空封装壳、防辐射层、散热层，真空封装壳顶部设置有红外敏感窗口；内层制冷机结构包括上层结构、中层结构、下层结构。本发明通过对纳米薄膜热电层的加热和制冷，维持温度恒定，有效阻断支撑结构与外部环境通过基座进行热交换，同时在基座底部铺设了隔热层，进一步抑制了外部环境的热传导。环形悬臂梁设置和支撑结构进一步防止热传导，同时隔热层设置又进一步抑制了内部热传导交换，实现红外探测器与外界环境的热隔离。同时，通过沉积、生长防辐射层，抑制热辐射，并采用真空封装的方法，阻止内外部的热对流交换。
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公开(公告)号：CN107807255A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201710975734.5
申请日：2017-10-19
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明公开了一种基于微型液压放大的隧道磁阻式加速度计装置，包括顶层加速度转换结构、中间层液压放大结构和底层信号敏感结构，顶层加速度转换结构包括质量块、质量块基板；中间层液压放大结构包括屏蔽膜、液压放大器、液压放大结构体；底层信号敏感结构包括隧道磁阻励磁结构、第一隧道磁阻传感器、第二隧道磁阻传感器、间距调整电极、绝缘层、基座。本发明的基于微型液压放大的隧道磁阻式加速度计装置，基于微型液压放大和间隙改变磁场强度的隧道磁阻式加速度计首次在加速度计上集成微型液压放大器，既保证上部质量块可以获得较大的运动角度(大量程)，又通过液压放大器放大位移，具有结构简单、灵敏度高、测量精度高等优点。
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公开(公告)号：CN211626499U
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201921462193.7
申请日：2019-09-04
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5621 , G01R33/09 , G01R33/00
Abstract: 本实用新型公开了一种基于隧道磁阻效应的高精度双质量硅微陀螺仪装置，该装置包括上、下两层：上层为硅敏感结构、下层为布有金属电极和隧道磁阻检测模块的玻璃基底结构。上层结构通过锚点键合在下层结构之上。其中，上层结构由两个完全相同的陀螺仪子结构、一对支撑梁以及一对锚点构成；下层结构由隧道磁阻检测模块、玻璃基底、驱动电极、驱动检测电极、正交电极、线圈输入接口、线圈输入电极、线圈输出接口、线圈输出电极、公共电极以及信号引线构成。本实用新型提出硅微陀螺仪使用微型线圈作为励磁机构，磁场稳定、场强可控、集成度高，同时使用差分式隧道磁阻检测结构，具有抗共模误差能力强、灵敏度高、测量精度高等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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