-
公开(公告)号：CN104865406A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510142656.1
申请日：2015-03-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/097 , G01P15/18
Abstract: 本发明公开一种基于杠杆放大原理的双轴全解耦硅微谐振式加速度计。该加速度计包括上下两层，上层为硅微加速度计的机械结构，下层为敷有信号引线的玻璃衬底。机械结构由敏感质量、公共锚点、杠杆放大机构、解耦梁和谐振器构成，解耦梁一端与敏感质量相连，另一端通过杠杆放大机构与公共锚点相连，作用于敏感质量的惯性力通过杠杆放大机构放大后传递给谐振器。所述的谐振器子结构包括谐振梁、梳齿架及活动梳齿、固定驱动梳齿、固定驱动反馈梳齿、以及固定锚点。本发明中的硅微谐振式加速度计能实现平面内两个方向加速度检测，以频率作为输出，具有尺寸小、集成度高、耦合误差小、灵敏度高、抗干扰能力强等优点。
-
公开(公告)号：CN104459181A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410853371.4
申请日：2014-12-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及提供一种用于流速、加速度和角速度敏感的仿生毛发传感器，包括顶部毛发、中部硅微传感器结构、底部为制作在玻璃衬底上的信号引线。本发明中顶部毛发可带动硅微传感器结构中的外部框架左右扭摆；利用静电力的负刚度效应原理，实现对加速度、流速速度的检测；通过采用传感器阵列的形式，实现对加速度与流体速度检测的区分。当外界输入为加速度输入时，则所有传感器均会受到作用而产生扭转。硅微传感器结构中的两个子结构为陀螺仪结构，用来检测外界的角速度大小，采用左右对称布置，为单陀螺仪输出信号的两倍；采用变面积式电容检测，减小了驱动运动对检测的干扰。
-
公开(公告)号：CN106289210B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201510247649.8
申请日：2015-05-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明公开了一种用于角速度敏感的仿生毛发式硅微陀螺仪，由上层聚合物毛发、中层硅微传感器和设有电路的底层玻璃衬底组成，所述中层硅微传感器包括圆形质量块以及与圆形质量块同圆心的环形质量块，所述圆形质量块和环形质量块之间设置有两个扭力梁，所述上层聚合物毛发粘合在圆形质量块中心，所述环形质量块的圆周侧部均匀的设置有若干梳齿组和方波支撑梁，所述梳齿组和方波支撑梁相互交错排列。本发明结构新颖，拥有较强的灵敏度，与现有的平面工艺兼容，其上层聚合物毛发的设置相比于以往单纯的平面结构，能够有效放大哥氏力效应，提高结构的灵敏度。
-
公开(公告)号：CN105157726B
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201510479060.0
申请日：2015-08-06
Applicant: 东南大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开一种双质量硅微陀螺仪的机械耦合误差抑制装置与方法。该装置包括上下两层，上层为硅微陀螺仪的机械结构，下层为粘附有信号引线的玻璃衬底，陀螺仪的机械结构由左右对称放置的两个完全相同的子结构构成，两个子结构之间分别通过驱动耦合折叠梁与横梁连接，使得两个子结构在驱动模态和检测模态都相互关联。本发明中驱动解耦梁采用单梁的形式，及调节横梁下梁与检测折叠梁的刚度比，在结构设计上消除检测机构的转动效应和机械耦合误差。调整基座横梁的长度及锚点的位置，使检测模态下检测机构的运动是线性的。平衡稳固梁的采用，并设定与驱动耦合折叠梁的刚度比，使质量块的左右的驱动机构的运动状态保持一致。
-
公开(公告)号：CN103776469B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201410065841.0
申请日：2014-02-26
Applicant: 东南大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 一种基于FPGA的硅微陀螺仪温控温补电路装置，包括集成了微型加热器和温度传感器的微陀螺、接口电路和FPGA处理电路，通过相互连接形成温控回路、驱动控制回路和检测控制回路，利用了微陀螺内部集成的温度传感器和微型加热器实现硅微陀螺仪芯片级温控温补，具有灵敏度高、重复性好、惯性小、温度信息可信度高、功耗小、控制精度高等优点；基于FPGA的数字温控温补平台，减少了模拟电路本身温度漂移的影响，同时数字化平台参数调整灵活，功能强大，可以灵活实现各种复杂的温控温补算法，有利于系统性能优化。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104089612A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201410362573.9
申请日：2014-07-28
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5621
CPC classification number: G01C19/5621
Abstract: 本发明公开一种基于双音叉效应的对称全解耦双质量块硅微陀螺仪。该陀螺仪包括垂直两层，上层为硅微陀螺仪的机械模块，下层为敷有信号引线的玻璃衬底，陀螺仪的机械模块由两个完全相同的子模块构成，且水平对称放置，两个敏感质量块之间分别通过驱动耦合折叠梁和横梁在驱动方向和敏感方向连接，使得两个敏感质量块在驱动模态和检测模态都相互关联。每个子模块包括敏感质量块、驱动模块、驱动反馈模块、检测模块、驱动支承梁、驱动反馈支承梁、检测支承梁、驱动解耦梁、检测解耦梁、检测耦合支承梁、以及固定锚点。本发明中的两个子模块采用同频反相驱动模式，检测模块实现差分检测，能有效抑制外界冲击、温度以及加工缺陷的影响，抗共模误差能力强。
-
公开(公告)号：CN103901226A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410164579.5
申请日：2014-04-22
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/097 , G01P21/00
Abstract: 本发明公开一种三轴硅微谐振式加速度计闭环驱动控制和频率检测电路，其特征在于，包含若干个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路，其中一个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路包括双轴硅微谐振式加速度计、第一接口放大电路、第二接口放大电路、第一幅度控制电路、第二幅度控制电路、第一相位控制电路、第二相位控制电路、第一调制控制电路、第二调制控制电路、信号频率检测电路。本发明与现有技术相比，该三轴硅微谐振式加速度计的闭环驱动控制与频率检测方法具有精度高、体积小、功耗低、易于集成、使用方便等优点。
-
公开(公告)号：CN103901226B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410164579.5
申请日：2014-04-22
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/097 , G01P21/00
Abstract: 本发明公开一种三轴硅微谐振式加速度计闭环驱动控制和频率检测电路，其特征在于，包含若干个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路，其中一个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路包括双轴硅微谐振式加速度计、第一接口放大电路、第二接口放大电路、第一幅度控制电路、第二幅度控制电路、第一相位控制电路、第二相位控制电路、第一调制控制电路、第二调制控制电路、信号频率检测电路。本发明与现有技术相比，该三轴硅微谐振式加速度计的闭环驱动控制与频率检测方法具有精度高、体积小、功耗低、易于集成、使用方便等优点。
-
公开(公告)号：CN104833350A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201510203285.3
申请日：2015-04-24
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5642
CPC classification number: G01C19/5642
Abstract: 本发明公开了一种用于流速及加速度矢量敏感的仿生毛发传感器及其检测方法，包括顶部聚合物毛发、中部环状硅微传感器结构、底部制作在玻璃衬底上的信号引线。本发明中顶部毛发在外部加速度或流体作用时带动环状硅微传感器结构中的圆形质量块和环形质量块摆动；利用静电力的负刚度效应原理，通过环状硅微传感器结构中圆形质量块和环形质量块的摆动，引起布置在圆形质量块和环形质量块周围的谐振器谐振频率的变化，实现对流速及加速度大小的检测；通过采用质量块与环形质量块的耦合结构，对顶部毛发的摆动方向进行矢量分解，实现对加速度或流体速度的矢量方向检测。
-
公开(公告)号：CN104257352A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410523275.3
申请日：2014-10-08
Applicant: 东南大学
CPC classification number: A61B5/40 , A61B5/685 , A61N1/0551
Abstract: 一种网格状MEMS神经微探针及其制备方法，包括基座、针头和针杆；针头通过针杆连接到基座上形成微探针；针头、针杆和基座内部均有硅层和绝缘层；硅层设置在绝缘层的下方；针头的表面上设置有若干个探测电极；基座表面上设置有若干个凹槽；微探针内部还包括若干条引出线，引出线贯穿于微探针内部；一条引出线的一端连接一个探测电极，该条引出线的另一端与一个凹槽形成一个外接引出焊盘；引出线在针头、针杆和基座内的绝缘层中；针杆上设置有若干个呈网络状分布的通孔；本发明具有结构强度高、生物兼容性好、探测信号密度大、可靠性高的特点。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
23
records
(took 0.025 seconds)
