公开(公告)号：CN1639855A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN03804584.2

申请日：2003-01-29

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广木勤 ,  佐伯弘明

IPC: H01L21/68 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/68742 ,  H01L21/68 ,  H01L21/68714 ,  H01L21/6875 ,  Y10S414/139

Abstract: 在半导体处理系统中，支持机构(12A)用于与搬送臂(32)协作来移送被处理基板(W)。支持机构包括分别能升降且相对搬送臂能够接收基板的第一和第二保持部(38A～38C、40A～40C)。第一和第二保持部配置为能够在空间中相互不干扰地在垂直方向相对移动，保持具有实质相同水平坐标位置的基板。支持机构还包括分别升降第一和第二保持部的第一和第二驱动部(46、48)，以及控制第一和第二驱动部的控制部(68)，所述控制部控制第一和第二驱动部，使得利用所述第一和第二保持部来择一地保持基板。

公开(公告)号：CN1487578A

公开(公告)日：2004-04-07

申请号：CN03124333.9

申请日：2003-04-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 佐伯弘明 ,  浅川辉雄

IPC: H01L21/68 ,  B25J18/00 ,  B65G49/07

CPC classification number: B25J9/107 ,  H01L21/67742 ,  Y10T74/20354

Abstract: 提供一种张开时可增加传送臂长度但不增加其收拢时尺寸的传送装置。该传送装置(4)有一传送臂(17)，该传送臂(17)包括：二根共轴或平行布置的转轴(5、6)；一对第一臂(7、8)，其一端各自固定到转轴(5、6)上；一对第二臂(10、11)，其一端通过柱销各自连接该对第一臂(7、8)的另一端；及一夹持部分(14)，可夹持待处理目的物，该夹持部分(14)由柱销连接到该对第二臂(10、11)各自的另一端，其特征在于，第二臂(10、11)彼此交叉。