公开(公告)号：CN102732856A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210091746.9

申请日：2012-03-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 远藤笃史 ,  黑川昌毅 ,  入宇田启树

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L21/0217 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/4583 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/02271

Abstract: 本发明提供一种立式分批式成膜装置，该立式分批式成膜装置具有：处理室，其用于一并对多个被处理体进行成膜；加热装置，其用于加热被处理体；排气机构，其用于对处理室的内部进行排气；收容容器，其用于收容处理室；气体供给机构，其用于向收容容器的内部供给处理所使用的气体；多个气体导入孔，其设于处理室的侧壁，处理所使用的气体经由多个气体导入孔以与多个被处理体的处理面平行的气流向处理室的内部供给，并且在处理室内未设定炉内温度梯度就一并对多个被处理体进行成膜。