公开(公告)号：CN301890754S

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201130327095.5

申请日：2011-09-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 铃木公贵 ,  古木和弘 ,  山崎幸一

Abstract: 1.外观设计产品的名称：腔室块体。2.外观设计产品的用途：本产品是使用等离子体对基板进行蚀刻等处理的等离子体处理装置中的处理容器的一部分。3.外观设计的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。4.指定的图片或照片：立体图。

公开(公告)号：CN301872687S

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN201130327096.X

申请日：2011-09-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 铃木公贵 ,  山下润 ,  伴昌和 ,  植田笃

Abstract: 1.外观设计产品的名称：等离子体处理装置的衬里。2.外观设计产品的用途：本产品是设置在使用等离子体对基板进行蚀刻等处理的等离子体处理装置内壁上的衬里，用于防止处理容器的构成材料等造成金属污染。3.外观设计的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。4.指定的图片或照片：主视图。5.后视图、左视图分别与主视图、右视图对称，故省略后视图和左视图。

公开(公告)号：CN301605348S

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN201130035861.0

申请日：2011-03-03

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 西村敏 ,  藤野丰 ,  铃木公贵 ,  小林浩

Abstract: 1.外观设计产品的名称：微波导入用天线。2.外观设计产品的用途：本产品是在等离子体处理装置中所使用的微波导入用天线。高频电源所产生的微波通过导波管送入天线部，通过天线部中的该微波导入用天线将微波均匀地导入处理容器中。3.本外观设计的设计要点在于产品的形状和图案。4.指定图片：主视图。5.后视图与主视图对称，仰视图与俯视图对称，左视图与右视图对称，省略后视图、仰视图、左视图。