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公开(公告)号：CN108701635B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201780013592.2
申请日：2017-03-09
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/06 , G02F1/13 , H01L21/027 , B05C13/02
Abstract: 提供基板浮起输送装置，能够避免装置结构的复杂化，能够不提高成本而将浮起的基板容易地保持为恒定高度。具体而言，基板浮起输送装置具有：浮起载台，其使基板浮起；基板保持单元，其对借助浮起载台而浮起的基板进行保持；以及输送驱动部，其在利用基板保持单元对基板进行了保持的状态下使基板保持单元移动，从而使基板在输送方向上移动，基板保持单元具有：多个吸附部，它们对基板进行吸附；以及保持框架部，其对这些所有的吸附部按照在输送方向上并列的状态进行安装，保持框架部借助升降部而设置于输送驱动部，并形成为：通过使升降部进行动作，从而保持框架部进行升降动作而使所有的吸附部相对于基板进行接近离开动作。
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公开(公告)号：CN106066119A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610144602.3
申请日：2016-03-14
Applicant: 东丽工程株式会社
CPC classification number: F26B9/06 , F26B23/06 , F26B25/008
Abstract: 本发明提供一种加热干燥装置，该装置能够抑制附着在腔室部内壁的升华物等混入到涂布膜中，从而能够减少腔室部的清洗作业的频率。该装置包括：腔室部，用于容纳基板；加热器部，用于加热形成在基板上的涂布膜；排气部，用于排出腔室部内的气体，该加热干燥装置在排出腔室部内气体的同时，对放置在腔室部内的基板上的涂布膜进行加热并干燥，其中，在与所放置的基板相对的对置壁上、至少与整个基板表面相对的区域中，设置有用来在其表面形成空气层的多孔质部。
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公开(公告)号：CN106040530A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610144177.8
申请日：2016-03-14
Applicant: 东丽工程株式会社
CPC classification number: B05C5/0254 , B05C5/0208 , B05C11/1044
Abstract: 本发明提供一种涂布装置及涂布方法，通过所述涂布装置及涂布方法进行混合时，能够使容易凝集的两种液不发生凝集地混合，并将其涂布于基板而形成薄膜。该涂布装置(1)包括：管道(7a)，供给涂布液(a)；管道(7b)，供给涂布液(b)；混合装置(4)，对来自管道(7a)和管道(7b)的涂布液(a)和涂布液(b)进行混合；过滤装置(5)，对在混合装置(4)生成的混合涂布液(c)进行过滤；接口管(3)，其中形成有用于排出被混合和过滤的混合涂布液(c)的狭缝，通过从狭缝排出混合涂布液(c)来将混合涂布液(c)涂布在基板(W)上，从而在基板(W)上形成薄膜。
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公开(公告)号：CN106000819A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610171873.8
申请日：2016-03-24
Applicant: 东丽工程株式会社
CPC classification number: B05D3/0254 , B05C13/02
Abstract: 提供加热干燥装置，对于搬送路径上的基板，也能够以抑制形成在基板上的涂布膜产生干燥不匀的方式进行干燥。该加热干燥装置在一边将基板超声波振动上浮一边进行搬送的搬送装置的搬送路径上对基板进行加热干燥，其具有：加热器部，其对基板上的涂布膜进行加热；腔室盖部，其通过与振动板抵接而形成腔室部，并在腔室部内将基板保持为密封状态；以及排气部，其对腔室部内进行排气，在腔室盖部中设置有顶板，在腔室盖部与振动板抵接了的状态下，该顶板与振动板上的基板接近而与基板整个面相对，排气部构成为一边通过从排气口对腔室部内进行排气而将腔室部内形成为减压状态，一边通过使加热器部进行加热而使基板上的涂布膜干燥。
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公开(公告)号：CN102437076B
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201110277138.2
申请日：2011-09-19
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G51/03
Abstract: 本发明涉及一种基板输送装置，该基板输送装置能够抑制基板上的涂布膜上发生干燥不匀而输送基板，另外，即使装置的制造和组装误差大时也能够抑制颗粒的发生。该基板输送装置将从载物台的表面浮起的基板用基板导向件边引导边输送，基板导向件包括：基板导向件主体，通过与基板侧面抵接来约束基板，并且能够朝向与载物台表面呈垂直的方向位移；浮起单元，用于将基板导向件主体从载物台表面浮起；偏向装置，用于使基板导向件主体偏向于载物台表面侧，其中，所述基板导向件主体包括与基板侧面抵接的基板抵接部，该基板抵接部的高度位置通过浮起单元和偏向装置保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104941830A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510128617.6
申请日：2015-03-24
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种超声波振动加热干燥装置，其可以保持振动板部整体的温度均匀，并可以抑制基板上的涂布膜形成干燥不匀。该超声波振动加热干燥装置具有：振动板部，其使基板超声波振动悬浮；加热器部，其对振动板部进行加热；支撑部件，其穿过支撑贯穿孔来支撑振动板部，使得振动板部与加热器部相对，其中，所述支撑贯穿孔形成于加热器部，支撑部件的结构为，贯插于支撑贯穿孔中的部分的至少与支撑贯穿孔的内周面相对的部分被比支撑部件的放射率高的高放射率部件覆盖。
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公开(公告)号：CN104851477A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510079502.2
申请日：2015-02-13
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供透明导电膜的形成方法和薄膜加热干燥装置，提供一种在利用PEDOT/PSS形成透明导电膜时能够提高导电性的透明导电膜的形成方法和透明导电膜(薄膜)干燥装置。所述透明导电膜的形成方法为：通过将使作为溶剂的水中含有包含聚乙撑二氧噻吩(PEDOT)和聚苯乙烯磺酸(PSS)的导电性高分子材料所得到的涂布材料涂布至被处理基材上而形成涂布膜，在腔室内对该涂布膜进行加热干燥处理，从而使上述涂布膜干燥并在被处理基材上形成透明导电膜，该形成方法中，上述加热干燥处理的构成如下：在以上述溶剂的沸点以上的干燥温度进行保持的同时，在腔室内进行了抑制上述涂布膜的溶剂的蒸发的干燥延迟处理之后再进行促进溶剂的蒸发的干燥促进处理。
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公开(公告)号：CN103832826A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201310584960.2
申请日：2013-11-19
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B65G49/00
Abstract: 提供能够在短时间内对加热后的基板进行冷却的浮起搬送热处理装置。浮起搬送热处理装置（1）排列有多个浮起搬送单元，各所述浮起搬送单元依次在对基板进行超声波振动浮起的同时进行热处理并进行搬送，该浮起搬送单元具有：振动板部，其通过超声波振动使基板浮起；超声波产生部，其对振动板部赋予超声波振动；搬送部，其支撑基板的端部并在与基板的浮起方向垂直的方向上搬送基板，该浮起搬送热处理装置具有加热区域（2）和冷却区域（3），在该加热区域中，浮起搬送单元具有对该浮起搬送单元的振动板部进行加热的加热器部，在该冷却区域中，浮起搬送单元不具有加热器部。
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公开(公告)号：CN108701635A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780013592.2
申请日：2017-03-09
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/06 , G02F1/13 , H01L21/027 , B05C13/02
CPC classification number: B65G49/06 , B05C13/02 , G02F1/13 , H01L21/027 , H01L21/677
Abstract: 提供基板浮起输送装置，能够避免装置结构的复杂化，能够不提高成本而将浮起的基板容易地保持为恒定高度。具体而言，基板浮起输送装置具有：浮起载台，其使基板浮起；基板保持单元，其对借助浮起载台而浮起的基板进行保持；以及输送驱动部，其在利用基板保持单元对基板进行了保持的状态下使基板保持单元移动，从而使基板在输送方向上移动，基板保持单元具有：多个吸附部，它们对基板进行吸附；以及保持框架部，其对这些所有的吸附部按照在输送方向上并列的状态进行安装，保持框架部借助升降部而设置于输送驱动部，并形成为：通过使升降部进行动作，从而保持框架部进行升降动作而使所有的吸附部相对于基板进行接近离开动作。
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公开(公告)号：CN101829647B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201010119055.6
申请日：2010-03-08
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 奥田大辅
IPC: B05D3/00
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置，该装置能够抑制形成于基板涂布膜上的干燥不匀。该减压干燥装置包括：容纳部，用于容纳基板；基板保持部，用于将基板保持在所述容纳部的规定位置上；排气口，设置在与由所述基板保持部保持的基板中心位置相对而置的位置上，用来排出所述容纳部的大气；环状吸引口，其具有沿着由所述基板保持部保持的基板的外周边开口的开口部，且沿着所述基板的外周边以环状连通而形成；其中，通过所述排气口与环状吸引口的连通连接，在所述排气口产生吸引力时，容纳部的大气通过所述开口部而从排气口排出。
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