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公开(公告)号：CN209481776U
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201920091946.1
申请日：2019-01-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/22
Abstract: 本实用新型公开了一种真空镀膜用旋转式开合挡板，旋转装置固定在真空镀膜设备上，在真空镀膜设备的下方设置若干根第一连接柱，连接固定旋转导轨固定板，在旋转导轨固定板上设置旋转导轨槽；在旋转导轨槽内设置若干个滚轮；在滚轮设置在第二连接柱的一端；第二连接柱的另一端连接固定圆弧齿条；在圆弧齿条的后侧固定挡板；在圆弧齿条上啮合小齿轮；小齿轮上设置与旋转装置相连接的旋转轴。利用旋转装置带动圆弧齿条以及挡板在旋转导轨槽内做圆弧或者圆周运动；保证了挡板在真空镀膜设备内进行圆周运动，解决了在镀膜设备中不需要安装多块的挡板的不足，降低了生产的成本，解决了挡板与挡板之间缝隙没有办法全部覆盖的技术问题。
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公开(公告)号：CN207178714U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135246.5
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种真空腔体用小型多叶片式节流阀，包括法兰、固定套环、叶片、主轴、转动执行装置，法兰的内圈设置固定套环，其特征在于，固定套环的内部设置若干个叶片；叶片呈上下对称设置；每个叶片的背面铆接一转轴；转轴的两端穿过固定套环与法兰连接；每个叶片的上方设置一轴座；每个轴座的中间开设一凹槽，在凹槽中设置一轴套；将每个轴套用联动推杆串联；在法兰的对称轴上的转轴依次穿过固定套环、法兰与转动执行装置连接；采用了多叶片式的结构以及采用联动推杆串联叶片的结构；配合转动执行装置可以实现远程自动化的控制的同时，多叶片式节流阀的开合角度采用转动执行装置的控制；保证了多叶片式节流阀的控制精度。
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公开(公告)号：CN207176071U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721134548.0
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种多功能用途的水冷电极，包括铜电极、进水管、进水接头、出水接头、分水法兰，铜电极的上方设置进水接头，进水接头设置在分水法兰上，在分水法兰的另一侧设置出水接头，其特征在于，进水接头的下方设置进水管，进水管插入设置在铜电极上的空腔内；出水接头连通铜电极上的空腔，形成热交换区；在电极上通过水冷的形式来降低电极的工作温度；通过水进入电极内部的形式，将电极内部的温度进行降温，通过温度传导，利用冷却水的循环作用降低电极的温度，从而延长了电极的寿命；降低了应用的成本。
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公开(公告)号：CN207176066U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135273.2
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/35
Abstract: 本实用新型公开了一种旋转靶用磁路组件，包括上端部、靶材、磁路组件、下端部，所述的旋转靶用磁路组件包括靶材制成的筒体；在所述的筒体内部设置磁路组件，其特征在于，在所述的磁路组件中设置冷却水通道；所述的冷却水通道连接上端部的进水口组件以及连接下端部的靶端组件；可以将冷却水通过冷却水通道连接上端部的进水口组件以及连接下端部的靶端组件；实现在旋转靶用磁路组件上实现的冷却水的接入以及循环使用。
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公开(公告)号：CN218755997U
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202223239870.3
申请日：2022-12-02
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种真空镀膜水冷转架，采用在真空镀膜水冷转架的下方设置进出水装置；进出水装置设置在旋转装置的内部；旋转装置上连接转架结构；进出水装置通过旋转装置后，将冷却介质接入到转架结构中，进行冷却，使得整个真空镀膜水冷转架能够对放置在其上面的镀膜产品进行冷却。解决了在真空镀膜不耐温的薄膜产品的时候，需要进行降温的技术问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN214999310U
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202121041759.6
申请日：2021-05-14
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: F16H57/04
Abstract: 本实用新型涉及一种水冷的主传动轴冷却装置，在水冷的主传动轴冷却装置上方设置主传动轴，在主传动轴的一端外设置磁流体，主传动轴穿过磁流体，在磁流体下方设置同步带轮，主传动轴穿过同步带轮并固定，主传动轴带动同步带轮转动，在同步带轮下方设置旋转接头，在旋转接头上设置回水管的出水口，在主传动轴内设置回水管，回水管连接出水口，在旋转接头下方设置进水管的进水口，在回水管内设置进水管，进水管连接进水口，能够通过进水管将冷水输送进主传动轴内部进行冷却，再通过磁流体阻挡外界对主传动轴的干扰，有效的抑制从主轴传递的热量，降低传动组件温度，解决了因高温或热胀冷缩造成一些损坏的问题。
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公开(公告)号：CN213416999U
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202022109518.2
申请日：2020-09-23
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本实用新型涉及一种真空镀膜机腔体，包括：腔体，腔体呈多边形立方体；真空镀膜机门，设置在腔体的一个立面上；平面阴极接口，若干个平面阴极接口设置在腔体的立面上；小弧源接口，若干个小弧源接口设置在腔体的立面上；旋转多弧接口，若干个旋转多弧接口设置在真空镀膜机门上；主抽口；若干个主抽口设置在腔体的立面上。本实用新型提供一种多边形的真空镀膜机腔体，改变了圆筒型真空镀膜机功能比较单一的技术问题，提高了真空镀膜机腔体的功能。另外，相对于圆筒型真空镀膜机，其功能件安装面增加可安装多种靶材，真空镀膜机的功能增强，实现可镀复杂膜层的技术功能。
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公开(公告)号：CN207217214U
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201721135249.9
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: H01F7/02
Abstract: 本实用新型公开了一种小弧源磁路结构，包括磁铁组件，主轴、密封组件、同步轮、平键、定位套环、主轴高度调节机构；磁铁组件的下方连接一主轴；主轴穿入密封组件；同步轮；其特征在于，主轴上设置第一键槽；第一键槽内设置一平键；平键嵌入到第一键槽和同步轮上开设的第二键槽组成的凹槽中；同步轮的下方设置一定位套环；在定位套环的下方设置一主轴高度调节机构；通过在主轴上设置一主轴高度调节机构，进行在磁路结构的远、近状态下的调节，在不影响小弧源磁路结构的转动的状况下，形成小弧源磁路结构高低调节，克服了单一的固定式的磁路结构无法调节磁路的远、近方向的技术问题，满足了镀膜产品对于磁路结构的要求。
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公开(公告)号：CN207178581U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135323.7
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: F16H1/02
Abstract: 本实用新型公开了一种滚筒的二级传动机构，在法兰的背面设置一电机；将电机穿过法兰，在法兰的前面设置一小齿轮；其特征在于，小齿轮与大齿轮啮合；在大齿轮中间设置一同心圆孔；在同心圆孔内设置若干个固定导轮；固定导轮设置在大齿轮第一同心圆上，大齿轮的同心圆孔边缘嵌入到固定导轮的凹槽中；在大齿轮同心圆孔的外侧开设若干个小圆孔；在小圆孔之间间隔设置若干个活动导轮；活动导轮设置在大齿轮的第二同心圆上；活动导轮上设置凹槽，在活动导轮的凹槽内嵌入一工字型连接法兰；解决了在滚筒上料、取料过程中，由于齿轮机构依然与滚筒等部件相连接，转动滚筒非常费力，使得在滚筒的手动状态下无法实现转动的技术问题。
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公开(公告)号：CN207176063U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721134500.X
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 本实用新型公开了一种全拆卸式旋转靶用挡板，其特征在于，包括外挡板、内挡板、内挡板的驱动部件；外挡板固定在真空腔室上；内挡板设置在外挡板的内部；内挡板的下方设置一内挡板的驱动部件；所述内挡板的驱动部件带动内挡板呈正、反向开关；利用内挡板的驱动部件带动内挡板呈正、反向开关，实现了内挡板在0-180°的位置进行调整，从而达到了控制靶向装置的靶向的方向、强度，同时避免了在调节和拆卸都需要停机的状况。
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