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公开(公告)号：CN105207445B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201410225655.9
申请日：2014-05-26
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
Abstract: 本发明涉及一种多自由度直线电机，包括沿第一方向依序平行设置的第一磁铁阵列、第二磁铁阵列、第三磁铁阵列以及第四磁铁阵列，所述第一磁铁阵列与第二磁铁阵列之间形成第一磁场，所述第三磁铁阵列与第四磁铁阵列之间形成第二磁场，所述第一磁场与第二磁场的极性相反；以及U型的线圈阵列，所述，所述U型线圈阵列的两端分别插置于所述第一、第二磁场中。本发明中，在不增加线圈数量的同时，使直线电机具有x方向、y方向的推力，甚至具有Rz方向的转矩，实现直线电机多自由度运动。
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公开(公告)号：CN107327482A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201610285806.9
申请日：2016-04-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: F16C32/04
CPC classification number: F16C32/0434
Abstract: 本发明提供一种磁浮导轨，动子和定子分别具有磁铁和充磁磁钢以形成对向磁路，在动子和定子之间形成多个方向的浮力和刚度，使连接负载的动子与导轨定子形成磁浮间隙。另外，本发明还提供一种磁浮导轨的气隙厚度控制方法，通过改变动子中磁钢的空间角度从而改变磁路结构，达到改变浮力的目的，使该直线磁浮导轨较其他被动式磁浮具有更广泛的应用场景。本发明的磁浮导轨在不需要气源的条件下可提供稳定的基础浮力间隙；对于不同配重，可以通过调整内部磁路结构在较宽的范围内改变浮力，达到调校间隙的目的；由于磁浮气隙可以较气浮气隙明显提高，不再受到面型加工的限制，理论上可以可无限增加使用行程。
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公开(公告)号：CN107786058B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201610766341.9
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种直线电机，包括第一磁铁组、第二磁铁组、第三磁铁组以及线圈组，所述第二磁铁组具有第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁相连共同构成V型，所述第一磁铁组和所述第三磁铁组分别位于所述第一侧壁的外侧和所述第二侧壁的外侧；所述线圈组包括若干线圈，每个线圈的一端均容置于所述第一磁铁组和所述第一侧壁之间，每个线圈的另一端均容置于所述第三磁铁组和所述第二侧壁之间。相比传统直线电机，多了一个自由度，且驱动方向电机性能并不降低，将传统直线电机中存在的另一个方向磁场利用上，实现二个方向的推力。
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公开(公告)号：CN104753306B
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201310752308.7
申请日：2013-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
CPC classification number: H02K41/02 , H02K2201/18
Abstract: 本发明公开了一种磁钢阵列和磁浮平面电机，该磁钢阵列包括：一维海尔贝克磁钢阵列和二维海尔贝克磁钢阵列，所述一维海尔贝克磁钢阵列和二维海尔贝克磁钢阵列共同构成方形的磁钢阵列，所述二维海尔贝克磁钢阵列分设于该方形磁钢阵列一条对角线的两端位置处。本发明的磁钢阵列采用了二维海尔贝克磁钢阵列与一维海尔贝克磁钢阵列相结合的方式，与同样尺寸的纯一维磁钢阵列相比，增大了磁浮平面电机的推力常数。
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公开(公告)号：CN105281531B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201410331239.7
申请日：2014-07-11
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K33/18
Abstract: 本发明涉及一种具有重力补偿功能的音圈电机，包括外部背铁，所述外部背铁为圆筒型背铁或两个板型背铁；置于所述外部背铁内的磁钢组件；及置于外部背铁内侧及磁钢组件外侧之间的线圈，所述线圈与磁钢组件之间可相对运动；所述外部背铁的磁通饱和度沿重力方向由小变大。本发明通过设置磁通饱和度沿重力方向由小变大的外部背铁，使电机具有一个相对稳定地向上的作用力，以作为重力补偿，减小电机发热。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105811809B
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201410850783.2
申请日：2014-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明提出一种磁浮旋转电机，包括主磁钢阵列、辅钢阵列、多相电机绕组和单相电机绕组。主磁钢阵列由多个长条形磁铁和多个短条形磁铁间隔均匀设置；两个辅磁钢阵列分别由多个磁铁块构成，这些磁铁块位于上述这些长条形磁铁之间，与上述这些短条形磁铁并排；多相电机绕组由多个线圈构成，与上述主磁钢阵列对应设置；以及单相电机绕组，为圆环形，与上述辅磁钢阵列之一对应设置。本发明的多自由度磁浮旋转电机，能够同时拥有磁浮减震功能和直线电机功能，结构简单，易于实现。
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公开(公告)号：CN107664920B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201610608421.1
申请日：2016-07-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种电磁导轨装置，包括：导轨单元，安装在基座上；滑块单元，包括电磁导轨滑块和矢量磁阻电机组，其中，所述电磁导轨滑块包络安装在所述导轨单元上，并与所述导轨单元之间存在气隙；所述矢量磁阻电机组嵌入安装在电磁导轨滑块行程方向两端且与所述气隙对应。本发明利用磁浮，由于磁浮气隙可以较气浮气隙明显提高，不再受到面型加工的限制，理论上可以无限增加使用行程，由于电磁可调，可以实现一定的加速度补偿功能，可适应高加速度应用场合。
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公开(公告)号：CN106936337B
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201511026025.X
申请日：2015-12-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种磁浮平面旋转电机及光刻装置，该磁浮平面旋转电机包括：背铁、安装在所述背铁上的磁钢阵列和与所述磁钢阵列对应设置的线圈阵列；其中，所述磁钢阵列包括若干辐射状环形布置的扇形磁体，所述线圈阵列包括3n个空心扇形的单相线圈。本发明既有磁浮直线、平面电机的高精度，又能实现平面任意角度旋转的功能。而对某两个或是某几个一定排布的单相线圈单独通电，可以实现磁浮平面旋转电机六个自由度的不同运动控制。
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公开(公告)号：CN105990998B
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201510041577.1
申请日：2015-01-28
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K55/02
Abstract: 本发明公开一种超导音圈电机，该音圈电机包括：线圈单元和超导平面体，该线圈单元通入电流，产生主动磁场；该超导平面体位于该主动磁场影响范围内，该超导平面体因受主动磁场影响而产生感应电流，该感应电流会产生被动磁场：当该线圈单元中通入电流由小变大时，该被动磁场会与该主动磁场方向向反，该主、被动磁场间产生斥力；当该线圈单元中通入电流由大变小时，该被动磁场会与该主动磁场方向向同，该主、被动磁场间产生吸力。
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公开(公告)号：CN105281530B
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201410329560.1
申请日：2014-07-11
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K33/18
Abstract: 本发明公开一种具有重力补偿功能的圆筒型音圈电机，所述音圈电机自内向外依次包括：一内背铁、内磁铁阵列、线圈、外磁铁阵列以及外背铁；所述内背铁外侧与内磁铁阵列固定；所述线圈包括上端线圈和下端线圈，所述上端线圈和下端线圈通过一不导磁结构件连接，所述不导磁结构件内置重力补偿磁铁；所述重力补偿磁铁为1个以上，均匀的分布在所述不导磁结构件上。
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