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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110726378B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN201911100142.4
申请日：2019-11-12
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法，在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后，将测端球沿被测样品的表面接触扫描；测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化，从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量；根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。
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公开(公告)号：CN111487441A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010451028.2
申请日：2020-05-25
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法，原子力显微镜扫描头固定设置，在测量过程中静止不动，原子力显微镜扫描头扫描测量被测物体表面的轮廓面参数并生成检测信号，原子力显微镜信号调理装置将检测信号调理之后传递给平台控制器，平台控制器根据检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头沿着被测物体表面扫描检测，计算机对检测信号进行处理而得出被测物体表面轮廓的参数。由此可见，本发明的一种基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法，能够方便地进行测量，测量过程中，原子力显微镜扫描头保持静止，避免了振动导致的测量误差，提高了测量准确性。
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公开(公告)号：CN218481428U
公开(公告)日：2023-02-14
申请号：CN202222197696.4
申请日：2022-08-19
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本实用新型涉及一种亚表面多参数纳米标准样板，包括用于定位寻找校准位置的X向循迹标记、Y向循迹标记和对准标记，用于校准的Z向台阶校准区域、一维栅格校准区域和二维栅格校准区域，使用本实用新型的一种亚表面多参数纳米标准样板进行仪器校准时，可借助循迹标记和对准标记快速分辨当前位置并定位到待测区域，可用于共聚焦显微镜、白光干涉显微镜、超声原子力显微镜等亚表面测量仪器的校准及溯源，为亚表面几何参数测量中的量值准确性提供保障，助力半导体、精密制造、国防军工等战略性新兴产业的发展，具有高度产业利用价值。
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公开(公告)号：CN212379431U
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN202020895038.0
申请日：2020-05-25
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本实用新型涉及一种基于原子力显微镜的测量装置，原子力显微镜扫描头固定设置，在测量过程中静止不动，原子力显微镜扫描头扫描测量被测物体表面的轮廓面参数并生成检测信号，原子力显微镜信号调理装置将检测信号调理之后传递给平台控制器，平台控制器根据检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头沿着被测物体表面扫描检测，计算机对检测信号进行处理而得出被测物体表面轮廓的参数。由此可见，本实用新型的一种基于原子力显微镜的测量装置，能够方便地进行测量，测量过程中，原子力显微镜扫描头保持静止，避免了振动导致的测量误差，提高了测量准确性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210922540U
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201921943497.5
申请日：2019-11-12
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本实用新型涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，在利用本实用新型的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后，将测端球沿被测样品的表面接触扫描；测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化，从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量；根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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