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公开(公告)号：CN1115703A
公开(公告)日：1996-01-31
申请号：CN95106507.6
申请日：1995-04-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00
CPC classification number: H01S3/134 , B23K26/702 , H01S3/102 , H01S3/104
Abstract: 本发明的激光加工设备用包括激光功率、脉冲频率和占空比的函数描述激光振荡器的特性，根据以该函数为基础的指令和以功率、占空比及频率为基础的指令计算对前馈控制部分中电源单元的指令，以及由功率传感器的功率指令值和功率测量值计算对反馈控制部分中电源单元的指令，将这些指令输入到电源单元中。本激光加工装置还确定改变激光振荡器中的特性及修正该激光振荡器的特性函数。
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公开(公告)号：CN109475974A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780042748.X
申请日：2017-06-16
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/02 , B23K26/00 , B23K26/04 , B23K26/082
Abstract: 基板测量装置(1)具有：测量用照相机(8)，其取得基板(5)的图像数据，该基板(5)设置有定位用的对准标记(7)，具有被激光加工后的被加工部(6)；测量工作台(4)，其搭载基板(5)，对基板(5)和测量用照相机(8)的相对位置进行变更；图像处理部(12)，其基于图像数据及测量工作台(4)的位置信息，求出对准标记(7)的测量位置坐标及被加工部(6)的测量位置坐标；变换系数计算部(13)，其求出从对准标记(7)的测量位置坐标向对准标记(7)的设计位置坐标的变换系数；以及加工误差计算部(14)，其使用变换系数将被加工部(6)的测量位置坐标坐标变换为变换后位置坐标，根据变换后位置坐标和被加工部(6)的设计位置坐标之差而求出加工误差。
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公开(公告)号：CN105209958B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201480003159.7
申请日：2014-04-23
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02B26/10 , B23K26/082
Abstract: 具有：旋转体，其具有旋转轴(3)，并能够以旋转轴为中心进行旋转；扫描反射镜(2)，其与旋转轴中的前侧的一端连结，是使入射的光偏转的反射镜；框架壳体(4)，其具有使旋转体旋转的内部空间；前侧轴承(8)，其设置在内部空间中的前侧的端部，是能够旋转地支撑旋转轴的轴承；以及球塞(10)，其是抑制由旋转轴的驱动引起的前侧轴承的振动的振动抑制构造，振动抑制构造具有与前侧轴承的外周侧面抵接的抵接部件，抵接部件随着与旋转轴平行的轴向上的前侧轴承的位移而处于可动。
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公开(公告)号：CN105209958A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201480003159.7
申请日：2014-04-23
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 具有：旋转体，其具有旋转轴(3)，并能够以旋转轴为中心进行旋转；扫描反射镜(2)，其与旋转轴中的前侧的一端连结，是使入射的光偏转的反射镜；框架壳体(4)，其具有使旋转体旋转的内部空间；前侧轴承(8)，其设置在内部空间中的前侧的端部，是能够旋转地支撑旋转轴的轴承；以及球塞(10)，其是抑制由旋转轴的驱动引起的前侧轴承的振动的振动抑制构造，振动抑制构造具有与前侧轴承的外周侧面抵接的抵接部件，抵接部件随着与旋转轴平行的轴向上的前侧轴承的位移而处于可动。
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公开(公告)号：CN103128439B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210452192.0
申请日：2012-11-13
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种透镜单元以及激光加工装置。在激光加工装置（100）中，在fθ透镜（5）中使用了能够用温度检测器（14）测定高能量的激光波束（2）的瞬间的吸收所致的光学透镜（11a、11b）的温度变化的透镜单元（20）。在光学透镜（11a、11b）的激光波束非照射部分（16）中设置了多个温度检测器（14），控制装置（9）根据由温度检测器（14）测定的温度信号，校正激光波束（2）的聚光点位置来进行控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101089546B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200610164231.1
申请日：2006-12-05
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23K26/04
Abstract: 本发明提供能够高精度地检测输出激光加工机中的激光的喷头与加工对象物之间的间隙的激光加工用的间隙检测装置及方法、激光加工用系统。信号处理单元(24)求间隙静电电容Cg与等离子阻抗Zp的合成阻抗Z的倒数，从该倒数的虚部求作为间隙静电电容Cg与等离子阻抗中包含的静电电容成分之和的合成静电电容，从该倒数的实部求等离子阻抗中包含的电阻成分，间隙检测装置(20)使用表现等离子阻抗的倒数的特性的模型和电阻成分求静电电容成分，从合成静电电容减去该静电电容成分求间隙静电电容Cg，间隙检测装置(20)从所求出的间隙静电电容Cg求间隙。
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公开(公告)号：CN101089546A
公开(公告)日：2007-12-19
申请号：CN200610164231.1
申请日：2006-12-05
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23K26/04
Abstract: 本发明提供能够高精度地检测输出激光加工机中的激光的喷头与加工对象物之间的间隙的激光加工用的间隙检测装置及方法、激光加工用系统。信号处理单元(24)求间隙静电电容Cg与等离子阻抗Zp的合成阻抗Z的倒数，从该倒数的虚部求作为间隙静电电容Cg与等离子阻抗中包含的静电电容成分之和的合成静电电容，从该倒数的实部求等离子阻抗中包含的电阻成分，间隙检测装置(20)使用表现等离子阻抗的倒数的特性的模型和电阻成分求静电电容成分，从合成静电电容减去该静电电容成分求间隙静电电容Cg，间隙检测装置(20)从所求出的间隙静电电容Cg求间隙。
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公开(公告)号：CN115243824B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202080098150.4
申请日：2020-07-03
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/035 , B23K26/00
Abstract: 激光加工装置(1)具有：激光振荡器(4)，其输出脉冲激光(5)；电扫描器(13X、13Y)，其具有电控反射镜(11X、11Y)，通过电控反射镜(11X、11Y)中的脉冲激光(5)的反射使脉冲激光(5)偏转，并且通过按照位置指令(29a)的控制使电控反射镜(11X、11Y)旋转；fθ透镜(15)，其是具有在电扫描器(13X、13Y)中偏转的脉冲激光(5)所射入的入射区域，对向入射区域射入的脉冲激光过对从入射区域辐射出的红外线进行检测，从而对透镜的温度进行测定，求出透镜的温度信息；以及电控指令变换部(6)，其是基于温度信息对位置指令(29)进行校正的校正部。(5)进行聚光的透镜；透镜温度测定部(9)，其通
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公开(公告)号：CN115243824A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202080098150.4
申请日：2020-07-03
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/035 , B23K26/00
Abstract: 激光加工装置(1)具有：激光振荡器(4)，其输出脉冲激光(5)；电扫描器(13X、13Y)，其具有电控反射镜(11X、11Y)，通过电控反射镜(11X、11Y)中的脉冲激光(5)的反射使脉冲激光(5)偏转，并且通过按照位置指令(29a)的控制使电控反射镜(11X、11Y)旋转；fθ透镜(15)，其是具有在电扫描器(13X、13Y)中偏转的脉冲激光(5)所射入的入射区域，对向入射区域射入的脉冲激光(5)进行聚光的透镜；透镜温度测定部(9)，其通过对从入射区域辐射出的红外线进行检测，从而对透镜的温度进行测定，求出透镜的温度信息；以及电控指令变换部(6)，其是基于温度信息对位置指令(29)进行校正的校正部。
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公开(公告)号：CN104203484B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201380016158.1
申请日：2013-02-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/08 , B23K26/082 , B23K26/00
CPC classification number: B23K26/082
Abstract: 目的在于获得降低了激光照射位置和加工指令位置的偏移的激光加工装置，在本发明的激光加工装置(200)中，构成为，具备：二维驱动部(4)，其用于搭载工件，且在二维方向上移动；激光扫描部，其对所述工件照射激光束并在二维方向上进行扫描；延迟补偿处理部(16、22)，其基于所述二维驱动部的位置信息，求出所述二维驱动部的延迟时间之后的预测位置；以及变形补偿处理部(17、23)，其基于所述二维驱动部的加速度信息，求出对所述二维驱动部的变形的校正量，基于针对所述激光扫描部的位置指令、所述预测位置以及所述校正量，对所述激光扫描部进行驱动控制。
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