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公开(公告)号：CN110383607A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880015868.5
申请日：2018-01-12
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 波长耦合激光器装置(10)具有：半导体激光器，其从在激光耦合方向排列的多个发光部的出射端面(1b)，向与激光耦合方向垂直的光轴的方向射出多个激光(6)；波长耦合元件(3)，其在激光耦合方向对多个激光进行耦合而作为1根激光进行输出；交叉耦合抑制光学系统(4)，其在与从波长耦合元件输出的1根激光的光轴垂直的激光耦合方向具有正的焦度；以及部分反射镜(5)，其对经过交叉耦合抑制光学系统的1根激光进行反射并使其透过而射出，在由光轴和激光耦合方向所成的平面内，通过将出射端面和部分反射镜共轭地连结，从而以将出射端面在部分反射镜之上成像的方式配置有交叉耦合抑制光学系统。
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公开(公告)号：CN101314196B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200810100180.5
申请日：2008-05-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/08 , G02B26/08
Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其可以在同时多点照射型激光加工装置中，使2束激光加工品质的差异变小，实现加工品质的提高。该激光加工装置具有：第1偏振单元，其将1束激光分光为光路不同的2束激光(Lα、Lβ)；电扫描器，其配置在激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)沿XY工作台上的第1方向进行扫描；电扫描器，其配置在激光(Lβ)的光路上，使激光(Lβ)沿XY工作台上与第1方向不同的第2方向进行扫描；第2偏振单元，其将2束激光混合；一对主电扫描器，其使激光(Lα、Lβ)沿XY工作台上互不相同的第3和第4方向进行扫描；以及fθ透镜，其使来自主电扫描器的激光(Lα、Lβ)分别在被加工物的规定位置上聚光。
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公开(公告)号：CN1777489B
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200480010771.3
申请日：2004-06-01
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/067 , G02B26/10 , G02B27/28
CPC classification number: B23K26/0604 , B23K26/0613 , B23K26/067 , B23K26/082 , B23K26/0853 , B23K26/382 , B23K2101/42 , B23K2103/50 , G02B26/101 , G02B27/283
Abstract: 一种激光加工装置，具有由将激光振荡器(1)射出的激光导向被加工物(20)的多个光学部件构成的光学系统，利用第一偏振光分离装置(5)将一束激光分光成两束激光，一束激光经由反射镜(14)，另一束激光利用第一电控扫描反射镜(13)在两个轴方向上扫描，将两束激光导向第二偏振光分离装置(8)后，利用第二电控扫描反射镜(12)进行扫描，加工被加工物(20)，其特征在于，将上述第一和第二偏振光分离装置配置成相对激光的光轴成45°。
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公开(公告)号：CN101314196A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200810100180.5
申请日：2008-05-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/08 , G02B26/08
Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其可以在同时多点照射型激光加工装置中，使2束激光加工品质的差异变小，实现加工品质的提高。该激光加工装置具有：第1偏振单元，其将1束激光分光为光路不同的2束激光(Lα、Lβ)；电扫描器，其配置在激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)沿XY工作台上的第1方向进行扫描；电扫描器，其配置在激光(Lβ)的光路上，使激光(Lβ)沿XY工作台上与第1方向不同的第2方向进行扫描；第2偏振单元，其将2束激光混合；一对主电扫描器，其使激光(Lα、Lβ)沿XY工作台上互不相同的第3和第4方向进行扫描；以及fθ透镜，其使来自主电扫描器的激光(Lα、Lβ)分别在被加工物的规定位置上聚光。
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公开(公告)号：CN1290660C
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：CN02822600.3
申请日：2002-11-13
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/067 , H05K3/00
CPC classification number: B23K26/0608 , B23K26/067 , B23K26/382 , B23K2101/42 , B23K2103/50
Abstract: 本发明为一种激光加工装置，该装置用第一偏振光装置25将一束激光26分光成两束激光26a、26b，一束经反射镜24，另一束用第一电流计扫描器29沿两个轴向扫描，并将两束激光26a、26b引向第二偏振光装置27后，用第二电流计扫描器30扫描，来加工被加工件22，在这种激光加工装置中，这样构成光路，使得透过第一偏振光装置25的激光26b用第二偏振光装置27反射，使得用第一偏振光装置25反射的激光26a透过第二偏振光装置27。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1610596A
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN03801854.3
申请日：2003-03-17
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23K26/06 , B23K26/382 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2101/35 , B23K2101/42 , B23K2103/12 , B23K2103/172 , B23K2103/42 , B23K2103/50 , H05K3/0032 , H05K3/0035 , H05K3/0055
Abstract: 本发明涉及激光加工方法，该方法是对印刷配线基板的绝缘层照射激光束，加工盲孔、凹槽或贯通孔的印刷配线基板的激光加工方法，其包括如下工序：第1工序，以规定的能量密度加工所述绝缘层；第2工序，对经第1工序加工的加工部位周围，以能量密度小于所述第1工序中的能量密度的激光进行照射以固化所述绝缘层；和第3工序，清除残存的污渍。
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公开(公告)号：CN1531471A
公开(公告)日：2004-09-22
申请号：CN02811686.0
申请日：2002-03-29
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/40 , H05K3/00 , B23K101/42
CPC classification number: B23K26/0622 , B23K26/082 , B23K26/382 , B23K26/40 , B23K2101/42 , B23K2103/12 , B23K2103/172 , B23K2103/42 , B23K2103/50 , H05K1/0366 , H05K3/0038 , H05K2201/0112 , H05K2203/111
Abstract: 提供一种层叠材料的激光加工方法和装置，利用激光束(20)加工层叠了1个以上的导体层(4，6)和绝缘层(2)的层叠材料(1)。在该激光加工方法中，通过照射激光束(20)以形成加工孔(22)而加工导体层(4)后，接着，对该加工孔(22)照射照射加工点中的光束直径比对导体层(4)照射的激光束光束直径小的激光束以加工层叠在导体层(4，6)上的绝缘层(2)。
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公开(公告)号：CN118525233A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202280087960.9
申请日：2022-12-08
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02B7/192 , B23K26/064 , G02B5/10 , G02B7/00
Abstract: 形状可变镜具有：反射镜，其具有反射面；第1支撑部件，其具有第1板部及第1固定部件，对反射镜进行支撑；第2支撑部件，其具有第2板部及第2固定部件，对反射镜进行支撑；以及调整部件，其使第1板部和第2板部之间的距离变化。第1板部从反射镜的背面隔开规定的间隔而配置。第1固定部件与第1板部连接，在将m设为大于或等于2的整数的情况下通过反射镜的m个第1固定部位对反射镜进行固定。第2板部隔着第1板部，从反射镜的背面隔开规定的间隔而配置。第2固定部件与第2板部连接，在将n设为大于或等于2的整数的情况下，通过与反射镜的第1固定部位不同的n个第2固定部位对反射镜进行固定。形状可变镜具有与第1固定部件接触，设置于第1支撑部件的第1凸起部及与第2固定部件接触，设置于第2支撑部件的第2凸起部之中的至少一者。
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公开(公告)号：CN104646823B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201410682333.7
申请日：2014-11-24
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02B5/10
Abstract: 目的在于得到一种不受针对反射镜的粘接的制约，能够对像散进行校正的形状可变镜以及激光加工装置。具有：第一按压部件，其对反射镜(1)的反射面(1sf)外周部的相对的2个部位(Pxf)进行按压；第二按压部件，其对反射镜(1)的背面(1sb)外周部的相对的2个部位(Pyb)进行按压；以及变形量调整部(4)，其以第一按压部件按压反射面(1sf)的位置、和第二按压部件按压背面(1sb)的位置，绕穿过反射面(1sf)的中心的轴而成为不同的位置的方式，对第二按压部件相对于第一按压部件的绕轴的位置进行定位，并且使轴向上的第一按压部件和第二按压部件的间隔变化，对由按压引起的反射镜(1)的变形量进行调整。
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