半导体器件
    11.
    发明公开
    半导体器件 审中-实审

    公开(公告)号:CN115692421A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202210470252.5

    申请日:2022-04-28

    Inventor: 金哲 朴钟撤

    Abstract: 一种半导体器件包括:衬底,包括第一有源图案和第二有源图案;栅电极,包括位于所述第一有源图案上的第一栅电极和位于所述第二有源图案上的第二栅电极;栅极切割图案,位于所述第一栅电极和所述第二栅电极之间;栅极间隔物,位于所述栅电极的相对的侧表面上;以及栅极覆盖图案,位于所述栅电极的顶表面、所述栅极切割图案的顶表面和所述栅极间隔物的顶表面上并且在所述第一方向上延伸。所述栅极切割图案包括在与所述第一方向交叉的第二方向上彼此相对的第一侧表面和第二侧表面。所述第一侧表面和所述第二侧表面与所述栅极间隔物中的相应的栅极间隔物接触,并且所述栅极切割图案的所述顶表面比成对的所述栅极间隔物的所述顶表面更靠近所述衬底。

    包括非有源鳍和分隔区的半导体器件

    公开(公告)号:CN110277388B

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN201910006986.6

    申请日:2019-01-04

    Abstract: 一种半导体器件包括具有从其突出的多个鳍的衬底。所述多个鳍包括多个有源鳍以及设置在所述多个有源鳍中的有源鳍之间的至少一个非有源鳍。该半导体器件还包括与有源鳍的至少一部分交叉的至少一个栅电极。该半导体器件还包括与所述至少一个栅电极相邻地设置在有源鳍上并且通过所述至少一个非有源鳍彼此分开的多个源极/漏极区。

    包括非有源鳍和分隔区的半导体器件

    公开(公告)号:CN110277388A

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201910006986.6

    申请日:2019-01-04

    Abstract: 一种半导体器件包括具有从其突出的多个鳍的衬底。所述多个鳍包括多个有源鳍以及设置在所述多个有源鳍中的有源鳍之间的至少一个非有源鳍。该半导体器件还包括与有源鳍的至少一部分交叉的至少一个栅电极。该半导体器件还包括与所述至少一个栅电极相邻地设置在有源鳍上并且通过所述至少一个非有源鳍彼此分开的多个源极/漏极区。

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