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公开(公告)号：CN101170286A
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200610150912.2
申请日：2006-10-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/04
Abstract: 本发明提供的是一种基于压电陶瓷剪切应变的多自由度超声波电机。它包括转子、定子和夹持基座，定子由振子柱和粘贴在振子柱四面上的四片压电陶瓷构成，每片压电陶瓷上层的电极由四个等分区组成、下层的电极为整体电极，定子通过夹持螺钉夹持在基座上。本发明通过胶将四分压电陶瓷粘贴在振子柱上实现的定子中存实现多自由超声波电机的必要的振动模态，通过在适当的电极上施加激励信号，利用压电陶瓷的剪切应变效应产生上述振动模态。从而在振动叠加的作用下，定子末端质点的椭圆运动推动转子产生独立的绕x轴、y轴、z轴的转动，进一步绕任意方向轴转动通过切换上述正交转动实现。
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公开(公告)号：CN101168371A
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200710144620.2
申请日：2007-11-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B62D55/065 , B62D57/00
Abstract: 本发明提供了一种履带式自重构微小型机器人。它包括履带总成、安装在履带总成上的一对推进机构、一对弯举机构、超声机构和由弯举机构驱动的重构机构，推进机构由微型直流电机、连接微型直流电机的行星减速器和连接行星减速器的主动轮组成，弯举机构由直流盘式电机、与直流盘式电机相连的谐波减速器和连接杆组成，弯举机构通过连接杆输出动力，重构机构内设置有微型摄像头。本发明的机器人可自主移动、独立执行任务，并可进行简单重构改变自身形状；多个机器人之间可实现自主对接，重构为整体机器人以实现多种构形进行移动、越障。
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公开(公告)号：CN100372088C
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200610009745.X
申请日：2006-02-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合方法。它选择由台面、设置在台面上的物流台、操作手、加热炉和显微镜组成的自动键合机进行自动键合；自动键合机的操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装在包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；融合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN101058321A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200710072319.5
申请日：2007-06-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B62D57/024
Abstract: 本发明提供的是一种基于真空吸附原理的小型微声爬壁机器人。它包括移动机构，安装在移动机构上的真空产生机构和安装在移动机构上的吸盘；所述的真空产生机构包括带有驱动电机的单向柱塞泵、与单向柱塞泵相连通的膜片泵和二位三通阀；所述的移动机构为六足步行结构，每一个足的驱动关节是由电机、安装在电机两端的谐波减速器、与谐波减速器相连的行星减速器、和与行星减速器相连的伞齿轮组成一个模块，模块的两端通过关节分别与机体被动杆相连，吸盘通过被动关节安装在被动杆上，吸盘通过管路与二位三通阀相连。本发明具有体积小、噪声低、无缆化等优点。在反恐侦察、高楼探测等方面有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN101037186A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200710071879.9
申请日：2007-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: H01L2224/78 , H01L2924/00014 , H01L2224/48 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明提供的是基于变倍显微镜定位的MEMS自动引线键合设备，它包括底座。在底座上设置有X轴工作台、Y轴工作台和显微镜，在工作台的上方设置有键合头，在底座上还设置有可升降支架，显微镜安装在可升降支架上并且在显微镜上设置有Z轴步进电机，显微镜上安装有放大倍数自动调节机构。由于引入了连续变倍显微镜，解决了大视野范围、高精度显微视觉定位问题，利用图象处理算法实现了整个键合操作的自动化，对批量化MEMS引线键合作业的实现起到了积极地推动作用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1305645C
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200410013627.7
申请日：2004-03-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/08
Abstract: 本发明公开一种宏/微双重驱动精密定位的并联式位置调整机器人——一种六自由度宏/微双重驱动纳米级定位大行程柔性并联机器人。它包括上平台(1)、六组相同的支链(3)、六组相同的宏动驱动装置(4)、铰链(5)和基座(6)，它还包括微动驱动装置(7)，支链(3)均匀布置在上平台(1)和基座(6)之间，支链(3)的上端通过铰链(5)铰接在上平台(1)上，支链(3)的下端通过铰链(5)与宏动驱动装置(4)相连接，支链(3)的杆体部分设置为微动驱动装置(7)，宏动驱动装置(4)设置在基座(6)上。由于本发明既能宏驱动又能微调整，所以既有大的运动范围，又有高的定位精度。因为微动驱动装置(7)本身被设置为支链(3)的杆体，所以整体结构非常紧凑。本发明设计合理、工作可靠，具有较大的推广价值。
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公开(公告)号：CN1850008A
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200610010024.0
申请日：2006-05-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于生物医学中生物组织切片的切割、分离方法。压电超声显微切割方法，它克服了手工完成组织切片的切割、分离致使工作强度大、操作者易疲劳、误差大的缺陷。它通过下述步骤完成：使后端固定于微动机械平台(1)上的微切割刀具(2)的尖端贴近生物组织(3)的表面，(1)为具有空间三个坐标方向运动自由度的微动平台；使(2)切入(3)；使(2)在(1)的驱动下，在水平面内进给运动，从而切割分离出生物组织切片，在进给运动的过程中，(2)始终沿其自身长度方向进行超声振动。本发明切割时，微切割刀具在高精度的(1)驱动下沿预定切割轨迹运动，微切割刀具不断作超声振动，在超声的作用下，切割更容易，生物组织切片的边缘更平滑，切割后组织可以直接进行下一步分析，不需要后续处理。
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公开(公告)号：CN1278838C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN03132554.8
申请日：2003-08-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种微型零件的塑性成形设备——一种精密微塑性成形系统，它包括模具组件、至少二根电热棒(2)、施压机构(3)、进给机构(4)、温控组件和力传感器(6)，上冲头、下冲头和凹模共同完成坯料的塑性成形。模具组件的上方由下向上依次设置有施压机构(3)、力传感器(6)和进给机构(4)，温控组件与电热棒(2)相连接。电热棒(2)进行通电加热，温控组件通过控制电热棒(2)保证模座(1-2)保持在给定的恒温，由于加工成形的零件的外形尺寸都在微米级，加载速度稍快或位移量稍大所造成的微小失误都会给零件的质量带来极大影响，因此本发明的系统采用了压电陶瓷驱动器来施压，通过计算机控制加载速度和位移量，从而保证了加工质量。本发明具有设计合理、结构严谨和工作可靠的优点。
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公开(公告)号：CN1815705A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200510010591.1
申请日：2005-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种用于MEMS高温压力传感器自动阳极键合的加热装置。它包括底板，在底板上安装有支架，在支架上安装有加热块，加热块的四周设置有散热片，加热块上开有加热棒和温度传感器安装圆孔，加热棒和温度传感器安装在加热块中，在加热块的一侧设置夹具和与夹具相配合的夹具气缸，夹具上带有复位弹簧，在加热块的另一侧设置封装头和封装头驱动气缸，夹具、封装头与其连接件之间有绝热连接器。本发明是基于PC控制的多路键合的加热炉装置。实现在上位机控制下多路加工点同时进行芯片键合功能，大大提高生产效率。
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公开(公告)号：CN1260046C
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200310107692.1
申请日：2003-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J7/00
Abstract: 本发明公开了一种用于夹持微小物体的夹持器——组合式微夹持器。它由导槽体(4)、电机(3)、螺母(5)、前支撑梁(6)、后支撑梁(8)、轴承(10)、弹簧(7)和两根压电悬梁(2)组成，前支撑梁(6)的下半部镶在导槽体(4)上表面上所开的导槽(4-1)中，电机设置在导槽体(4)的左端上，电机(3)的表面上开有精密螺纹的电机轴(3-1)穿入导槽体(4)中，电机轴(3-1)的自由端通过轴承(10)连接在导槽体(4)上，螺母(5)旋合在电机轴(3-1)上并且与前支撑梁(6)的下端固定连接，后支撑梁(8)固定在导槽体(4)的右端上，前支撑梁(6)与后支撑梁(8)之间设置有弹簧(7)，两根压电悬梁(2)分别设置在前支撑梁(6)和后支撑梁(8)的上端上。与其他微夹持器相比，本发明具有更大的通用性和适用性，具有很高的实用价值。
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