具有贵金属掺杂的TiO2/TiO2同质结构紫外探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN103887361B

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201410151399.3

    申请日:2014-04-15

    Applicant: 吉林大学

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 具有贵金属掺杂的TiO2/TiO2同质结构紫外探测器及制备方法,属于半导体光电器件技术领域。探测器依次由石英衬底、贵金属掺杂的TiO2薄膜层、纯TiO2薄膜层、金属叉指电极组成。其特征在于:探测器具有贵金属掺杂的TiO2薄膜层和纯TiO2薄膜层组成的同质结构。一方面通过贵金属的掺杂,基体材料具有更低的费米能级,降低了金属电极和基体材料接触的势垒高度;另一方面,贵金属掺杂的TiO2薄膜层与TiO2层形成的同质结构的内建电场方向与器件本身金半接触的内建电场方向相反,同样也降低了势垒高度。最终从材料的掺杂改性和器件结构两方面有效改善了紫外探测器的光响应特性。

    具有钝化处理的宽禁带氧化物半导体薄膜层的紫外探测器及制备方法

    公开(公告)号:CN103268897B

    公开(公告)日:2015-11-04

    申请号:CN201310210273.4

    申请日:2013-05-30

    Applicant: 吉林大学

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 具有钝化处理的宽禁带氧化物半导体薄膜层的紫外探测器及制备方法,属于半导体光电器件技术领域。探测器依次由衬底、经(NH4)2S溶液钝化处理的光敏感宽禁带氧化物半导体薄膜层、金属叉指电极组成。其特征在于:首先采用溶胶凝胶法制备TiO2等薄膜层,然后将制备好的薄膜进行硫化铵溶液钝化处理,最后采用光刻、磁控溅射、刻蚀等工艺制备金属叉指电极,从而得到紫外探测器。经过硫化铵溶液钝化处理的TiO2等薄膜表面态密度减小,溅射金属叉指电极后TiO2与金属接触的肖特基势垒降低,改善了光电流和响应时间;另一方面表面电荷的减少抑制了表面漏电流,改善了暗电流,最终提高了器件的整体性能。

    基于金属纳米粒子掺杂三端子并联聚合物太阳能电池及其制备方法

    公开(公告)号:CN103227287B

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201310140724.1

    申请日:2013-04-23

    Applicant: 吉林大学

    CPC classification number: Y02E10/549

    Abstract: 基于金属纳米粒子掺杂三端子并联聚合物太阳能电池及其制备方法,属于聚合物太阳能电池技术领域。依次由作为衬底和阴极的ITO导电玻璃、TiO2电子传输层、PSBTBT:PC70BM:NPs活性层、MoO3空穴传输层、Ag阳极、WO3空穴传输层、P3HT:PC70BM:NPs活性层、LiF电子传输层和Al阴极组成,P3HT:PC70BM:NPs活性层的质量比为1:1:0.02~0.05,其中NPs代表Au或Ag纳米粒子。本发明通过将活性层吸收光范围互补的两个子电池组成并联结构,并且在每个子电池的活性层中掺杂金属纳米粒子,利用金属纳米粒子附近的等离子增强效应提高太阳能电池对于太阳光的利用率,从而提高太阳能电池的性能。

    一种基于CuO-NiO核壳结构的异质结NO2气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN103884743A

    公开(公告)日:2014-06-25

    申请号:CN201410153128.1

    申请日:2014-04-16

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 一种基于CuO/NiO核壳结构的异质结NO2气体传感器及其制备方法,属于气体传感器技术领域。该传感器从下至上依次由Al2O3衬底、Pd金属插指电极、在插指电极上制备的CuO-NiO核壳结构异质结纳米微球敏感层组成;其中CuO/NiO核壳结构纳米微球敏感层的厚度为2~4μm,粒径为600~800nm,金属叉指电极的宽度和间距均为0.15~0.20mm,厚度为100~150nm。采用CuO/NiO核壳结构纳米微球作为敏感材料,不但应用了其较高比表面积,还可以有效地利用CuO/NiO核壳结构纳米微球的异质结构提高气敏响应。同时本发明采用的工艺简单、制得的器件体积小、适于大批量生产,因而具有重要的应用价值。

    一种基于磷酸盐分子筛的湿度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN103439368A

    公开(公告)日:2013-12-11

    申请号:CN201310421258.4

    申请日:2013-09-16

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 一种基于磷酸盐分子筛的湿度传感器及其制备方法,属于湿度传感器技术领域。采用AlPO4-5分子筛作为敏感层,不但应用了其良好的稳定性,还可以有效地利用AlPO4-5分子筛具有较高比表面积的优势。同时本发明采用的工艺简单、制得的器件体积小、适于大批量生产,因而具有重要的应用价值。本发明所述的AlPO4-5分子筛的快速响应恢复湿度传感器,从下至上依次由陶瓷衬底、在陶瓷衬底上采用丝网印刷技术制备的Au金属叉指电极、在叉指电极上采用涂覆技术制备的AlPO4-5敏感层组成;其中AlPO4-5敏感层的厚度为2~4μm,粒径为6~10μm,金属叉指电极的宽度和间距均为0.15~0.20mm,厚度为100~150nm。

    基于金属纳米粒子掺杂三端子并联聚合物太阳能电池及其制备方法

    公开(公告)号:CN103227287A

    公开(公告)日:2013-07-31

    申请号:CN201310140724.1

    申请日:2013-04-23

    Applicant: 吉林大学

    CPC classification number: Y02E10/549

    Abstract: 基于金属纳米粒子掺杂三端子并联聚合物太阳能电池及其制备方法,属于聚合物太阳能电池技术领域。依次由作为衬底和阴极的ITO导电玻璃、TiO2电子传输层、PSBTBT:PC70BM:NPs活性层、MoO3空穴传输层、Ag阳极、WO3空穴传输层、P3HT:PC70BM:NPs活性层、LiF电子传输层和Al阴极组成,P3HT:PC70BM:NPs活性层的质量比为1:1:0.02~0.05,其中NPs代表Au或Ag纳米粒子。本发明通过将活性层吸收光范围互补的两个子电池组成并联结构,并且在每个子电池的活性层中掺杂金属纳米粒子,利用金属纳米粒子附近的等离子增强效应提高太阳能电池对于太阳光的利用率,从而提高太阳能电池的性能。

    SOI和聚合物混合集成的F-P谐振腔可调谐光滤波器及制备方法

    公开(公告)号:CN102621714A

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN201210127189.1

    申请日:2012-04-27

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明属于光电子器件领域,涉及一种基于热光效应驱动的SOI和聚合物混合集成的F-P谐振腔可调谐光滤波器及其制备方法。沿着输入光信号方向依次是输入波导、由硅和聚合物交替组成的第一DBR阵列、聚合物F-P谐振腔、由硅和聚合物交替组成的第二DBR阵列、输出波导组成,且在聚合物F-P谐振腔的上表面设置有加热电极;从输入脊型波导出来的光,依次进入第一DBR阵列、F-P谐振腔和第二DBR阵列;光束在聚合物F-P谐振腔中经过多次反射、干涉,形成稳定输出的光场后,满足微腔谐振条件的特定频率值的光将由输出脊型波导输出。本发明器件可以通过使用不同的聚合物材料实现波长调谐范围的可控性,并且能实现大的调谐范围。

    背入射式TiO2紫外光探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN101562208B

    公开(公告)日:2012-03-14

    申请号:CN200910067032.2

    申请日:2009-06-02

    Applicant: 吉林大学

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 本发明属于半导体光电探测器件领域,具体涉及一种以石英为衬底,以纳米TiO2薄膜为基本紫外光探测材料,以Ni为金属电极的背入射式紫外光探测器及其制备方法。该探测器以石英为衬底,采用M-S-M(金属-半导体-金属)结构。该紫外光探测器的制作方法是:采用溶胶-凝胶技术,在石英衬底上生长一层TiO2纳米薄膜,然后再在制备好的TiO2薄膜上通过磁控溅射的方法蒸发一层薄Ni实现电极接触,采用光刻技术得到Ni插指状电极。本发明制备的MSM平面双肖特基势垒结构紫外光探测器,采用背入射方式工作,可大幅提高器件的响应度。器件对波长250nm~350nm的紫外线具有良好的检测性能。

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