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公开(公告)号：CN109946480B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201910166559.4
申请日：2019-03-06
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/093 , B81B7/02 , B82Y20/00
Abstract: 本发明公开了一种基于拉链式光子晶体微腔的高精度光力式加速度计，包括：布置于加速度计结构的左右两侧的激光入射及接收结构、位于加速度计中部的硅微机械结构、以及位于硅微机械结构底部的布置有电极的玻璃基底结构。激光入射结构布置在主体硅微结构的左侧入射凹槽处，接收结构布置在在主体硅微结构的右侧出射凹槽处。本发明采用光学信号作为微加速计的测量信号，具有较高的灵敏度和较低的不确定度，从而极大提高了微加速度计的检测极限能力，大大提高了检测灵敏度。由于采用了拉链式光子晶体微腔，比目前较普遍的平面平行谐振微纳腔的性能更加稳定，具备更高的光学精度，从而获得更高的加速度灵敏度。
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公开(公告)号：CN107655465B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201710747280.6
申请日：2017-08-28
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5621 , G01P5/00 , G01P15/097
Abstract: 本发明公开了一种基于两级杠杆放大原理的谐振式仿生毛发流速、加速度微传感器，包括上层毛发结构，中层硅微传感器结构和下层玻璃衬底。本发明上层毛发采用微加工工艺直接加工或者采用微组装工艺粘合在中层硅微传感器结构上；中层硅微传感器结构通过锚点键合在下层玻璃衬底上；下层玻璃衬底设有键合点、电极和信号引线。中层硅微传感器结构包含两级杠杆力放大机构，当有X轴方向外界流速或加速度输入时，外界流速作用于毛发所产生的拖曳力或加速度产生的惯性力经过放大，分别反相作用在两个双端固定音叉谐振器上，从而实现信号差分检测，且输出信号为频率数字信号，有利于电路的数字化。本发明结构对称布置，测量精度高，抗干扰能力强，性能可靠。
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公开(公告)号：CN111521170A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN202010443077.1
申请日：2020-05-22
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明公开了的一种驱动振幅放大的主从质量微机械毛发陀螺仪,采用三层结构，具体包括第一层用于增大主质量块质量的铜制立柱毛发，第二层用于敏感科氏力的硅微传感器和第三层用于信号输入输出控制的硼基玻璃绝缘层；所述铜制立柱毛发通过微组装工艺粘合在硅微传感器中心位置，硅微传感器和硼基玻璃绝缘层通过标准的Si‑Glass阳极键合工艺键合在一起，硼基玻璃绝缘层上通过金属溅射工艺布置有Au电极及信号引线；所述第二层硅微传感器具体包括主质量块、从质量块和解耦框；解耦框布置在从质量块的内部并通过第一、二驱动耦合梁与从质量块相连；主质量块布置在解耦框的内部，并通过第一、二检测耦合梁与解耦框相连。
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公开(公告)号：CN111200291A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201811364995.4
申请日：2018-11-16
Applicant: 中国电力科学研究院有限公司 , 国家电网有限公司 , 国网浙江省电力有限公司 , 华中科技大学 , 东南大学
Abstract: 本发明涉及一种含储能的直流电网协调控制系统和方法，所述控制系统包括：送端控制模块、储能电站控制模块、受端主站控制模块和受端从站控制模块，各控制模块根据含储能的直流电网的运行状态和/或含储能的直流电网的受端主站运行状态生产控制相应换流器的PWM脉冲信号，并利用该PWM脉冲信号控制相应换流器，本发明提供的技术方案，在系统稳态时，可以保证系统的直流电压和各受端功率稳定可控且不存在稳态误差，在直流电网故障时，可以使各换流器快速响应，维持系统直流电压在安全值内。
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公开(公告)号：CN107807255B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201710975734.5
申请日：2017-10-19
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明公开了一种基于微型液压放大的隧道磁阻式加速度计装置，包括顶层加速度转换结构、中间层液压放大结构和底层信号敏感结构，顶层加速度转换结构包括质量块、质量块基板；中间层液压放大结构包括屏蔽膜、液压放大器、液压放大结构体；底层信号敏感结构包括隧道磁阻励磁结构、第一隧道磁阻传感器、第二隧道磁阻传感器、间距调整电极、绝缘层、基座。本发明的基于微型液压放大的隧道磁阻式加速度计装置，基于微型液压放大和间隙改变磁场强度的隧道磁阻式加速度计首次在加速度计上集成微型液压放大器，既保证上部质量块可以获得较大的运动角度(大量程)，又通过液压放大器放大位移，具有结构简单、灵敏度高、测量精度高等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108493271B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201810203249.0
申请日：2018-03-13
Applicant: 东南大学
IPC: H01L31/024 , H01L25/16 , H01L35/28
Abstract: 本发明提供了一种用于非制冷型红外探测器的芯片级超微型制冷机，包括外层封装层结构和内层制冷机结构，外层封装层结构包括真空封装壳、防辐射层、散热层，真空封装壳顶部设置有红外敏感窗口；内层制冷机结构包括上层结构、中层结构、下层结构。本发明通过对纳米薄膜热电层的加热和制冷，维持温度恒定，有效阻断支撑结构与外部环境通过基座进行热交换，同时在基座底部铺设了隔热层，进一步抑制了外部环境的热传导。环形悬臂梁设置和支撑结构进一步防止热传导，同时隔热层设置又进一步抑制了内部热传导交换，实现红外探测器与外界环境的热隔离。同时，通过沉积、生长防辐射层，抑制热辐射，并采用真空封装的方法，阻止内外部的热对流交换。
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公开(公告)号：CN110531113A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910875224.X
申请日：2019-09-17
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/097 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于石墨烯谐振器的平面差分式加速度计装置及其加工方法的设计方案，提出了一种三层结构设计方案：上下两层为设有信号引线的玻璃衬底，中层为差分式石墨烯加速度计结构。中层差分式石墨烯加速度计结构由两个结构相同但反相布置的石墨烯谐振器、两个中部支撑块和一个外部支撑块组成。石墨烯谐振器的支撑块通过连接短梁跟中部支撑块相连，中部支撑块再通过另一连接短梁跟外部支撑块相连，最后外部支撑块通过四个顶点处的锚点固定在上下两层玻璃衬底上。本发明通过检测差分式石墨烯谐振器谐振频率的变化，实现对加速度的敏感。本发明具有体积小、重量轻、结构紧凑、灵敏度高、抗干扰能力强等优点。
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公开(公告)号：CN109975577A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910324364.8
申请日：2019-04-22
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种基于弱耦合谐振器的微机械毛发流速传感器，平面外立体毛发粘合在中层硅微传感器的几何中心，中层微硅传感器的结构由一个质量块基座、四个相同的弱耦合谐振器组和四个相同的平面外运动抑制弹性结构组成；其中四个相同的弱耦合谐振器组对称分布在质量块基座的上、下、左、右四个方向；弱耦合谐振器组通过二级力放大杠杆的输入直梁与质量块基座相连；四个相同的平面外运动抑制弹性结构对称分布在质量块基座的左上、右上、右下、左下四个方向，平面外运动抑制弹性结构通过平面外运动抑制弹性U形梁与质量块基座相连。本发明通过将弱耦合谐振器组和平面外运动抑制弹性结构组呈对称结构布置，实现平面内流速的双轴敏感。
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公开(公告)号：CN106289210B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201510247649.8
申请日：2015-05-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明公开了一种用于角速度敏感的仿生毛发式硅微陀螺仪，由上层聚合物毛发、中层硅微传感器和设有电路的底层玻璃衬底组成，所述中层硅微传感器包括圆形质量块以及与圆形质量块同圆心的环形质量块，所述圆形质量块和环形质量块之间设置有两个扭力梁，所述上层聚合物毛发粘合在圆形质量块中心，所述环形质量块的圆周侧部均匀的设置有若干梳齿组和方波支撑梁，所述梳齿组和方波支撑梁相互交错排列。本发明结构新颖，拥有较强的灵敏度，与现有的平面工艺兼容，其上层聚合物毛发的设置相比于以往单纯的平面结构，能够有效放大哥氏力效应，提高结构的灵敏度。
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公开(公告)号：CN109142784A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811049038.2
申请日：2018-09-10
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/08 , G01P15/105 , G01P15/13
Abstract: 本发明提供了一种基于杠杆机构的差动质量块式隧道磁阻微加速度计装置，包括上层隧道磁阻传感元件结构、中层硅微传感器结构、下层布有电极引线的玻璃衬底结构；上层结构和中层结构分别通过两组锚点键合在下层结构上。本发明结合了MEMS技术与量子力学中的隧道磁阻效应，结构合理简单、易于加工、体积小、测量精度高、灵敏度高；利用磁场强度改变实现隧道磁阻效应，通过磁片位移使隧道磁阻元件周围磁场强度变化，线性度好、性能优；采用杠杆机构连接质量块与外部框架，当有加速度信号输入时，质量块与外部框架形成差动；两个隧道磁阻敏感元件反向对称布置，输出值反向偏离初始值，实现差分检测，有效抑制干扰引起的共模误差、增强装置可靠性。
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