公开(公告)号：CN104422789B

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201410456006.X

申请日：2014-09-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01D5/241

Abstract: 本发明提供一种物理传感器、振动装置、电子设备以及移动体。所述物理量传感器具备：基板；固定部以及布线，其被设置在基板上；接触部，其对固定部和布线进行电连接；可动电极，其经由所述固定部而与所述布线电连接，在俯视观察时，所述接触部被设置在第一区域外的第二区域的所述固定部上，所述第一区域为将被与所述可动电极和所述固定部连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于所述可动电极的位移方向上假想延伸而成的区域。

公开(公告)号：CN108663540A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810238485.6

申请日：2018-03-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: B81C1/00166 ,  B60R16/0231 ,  B60R25/24 ,  B81B3/0008 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2203/04 ,  B81B2207/07 ,  B81C2201/0133 ,  B81C2201/0187 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0831

Abstract: 本发明涉及物理量传感器及其制造方法、电子设备、移动体。物理量传感器的制造方法具有在基板上形成第一固定电极、第二固定电极和虚拟电极的电极形成工序、以及可动体形成工序，电极形成工序具有以下工序：在基板上形成第一掩模层；在基板上以及第一掩模层上成膜第一导电层并去除第一掩模层而形成第一电极材料层；在基板上以及第一电极材料层上成膜第二导电层；在第二导电层上成膜掩模材料层并将俯视观察时掩模材料层的未与第一电极材料层重叠的部分的局部去除而形成第二掩模层；以及以使第二导电层设于第一电极材料层上及基板上的方式将第二掩模层作为掩模对第二导电层进行蚀刻而形成第二电极材料层。

公开(公告)号：CN108663539A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810213123.1

申请日：2018-03-15

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  G01D5/24

Abstract: 一种物理量传感器、电子设备、便携式电子设备及移动体。物理量传感器具备：基板；可动体，能够根据物理量绕支承轴位移，设有开口部；以及支承部，设于所述基板上，并位于所述开口部，所述支承部具有：第一固定部和第二固定部，固定于所述基板，俯视下隔着所述支承轴设置；第一梁部和第二梁部，将所述第一固定部和所述第二固定部连接，并相互分开设置；第三梁部，在所述支承轴的方向上延伸，将所述第一梁部和所述可动体连接；以及第四梁部，在所述支承轴的方向上延伸，将所述第二梁部和所述可动体连接。

公开(公告)号：CN104280051B

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201410326076.3

申请日：2014-07-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01D3/036 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种因所使用的环境的温度变化所造成的检测特性的变动被抑制的、检测特性更为稳定的电子装置及制造方法、物理量传感器、电子设备及移动体。物理量传感器(1)具备第一传感器元件(99)和被配置在第一传感器元件(99)的外周的至少一部分上的外缘部(90)，在俯视观察外缘部(90)时，在外缘部(90)上设置有在第一方向上延伸的第一槽(92)。

公开(公告)号：CN103364592B

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201310123601.7

申请日：2013-04-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  B81C3/00

Abstract: 本发明提供物理量传感器及其制造方法、以及电子设备，该物理量传感器能够具有较高的成品率。本发明所涉及的物理量传感器（100）包括：基板（10）；第一可动体（20），其被设置在基板（10）上并具有第一可动电极部（21、22）；第一固定电极部（40、42），其以与第一可动电极部（21、22）对置的方式而被配置在基板（10）上；第二可动体（20），其被设置在基板（10）上并具有第二可动电极部（21、22）；第二固定电极部（40、42），其以与第二可动电极部（21、22）对置的方式而被配置在基板（10）上，在基板（10）上，于在俯视观察时位于第一可动体（20）与第二可动体（20）之间的部分（15a）上，设置有从基板（10）的主面（15）突出的支柱部（16）。

公开(公告)号：CN108169515A

公开(公告)日：2018-06-15

申请号：CN201711258636.6

申请日：2017-12-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/125 ,  B60G17/01941 ,  B60G2400/10 ,  G01P2015/0814 ,  G01P15/18

Abstract: 提供电极指难破损且具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。包括：固定电极部、能在X轴方向上位移的可动部和设于可动部的可动电极部。固定电极部包括沿Y轴方向排列的第一、第二固定电极部，第一固定电极部包括从第一主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第一固定电极指，第二固定电极部包括从第二主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第二固定电极指。可动电极部包括在Y轴方向上排列的第一可动电极部和第二可动电极部，第一可动电极部包括位于第一主干部的Y轴方向的两侧且与第一固定电极指相对的多个第一可动电极指，第二可动电极部包括位于第二主干部的Y轴方向的两侧且与第二固定电极指相对的多个第二可动电极指。

公开(公告)号：CN103363980B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201310116379.8

申请日：2013-04-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古畑诚 ,  田中悟

IPC: G01C19/5719 ,  G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/5747

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够防止因碰撞而造成的损坏的陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备。陀螺传感器具备：驱动质量块，其通过驱动部而在ｘ轴方向上被驱动；检测质量块，其与驱动质量块相连结；驱动用连结部，其一端被连结在驱动质量块上而另一端被固定在固定部上；岛部，其与固定部相连接，且与驱动质量块隔着间隙而配置，并与该驱动质量块电连接；突起，其被设置在驱动质量块的对置于岛部的面与岛部的对置于驱动质量块的面中的至少一个面上，驱动部包括：可动电极部，其与驱动质量块相连接；固定电极部，其以与可动电极部对置的方式而设置，驱动质量块与岛部之间的最短距离大于驱动质量块的驱动振幅且小于可动电极部的最大振幅。

公开(公告)号：CN106338281A

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201610509140.0

申请日：2016-06-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太 ,  田中悟

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明提供一种具有优异的温度特性的物理量传感器，并提供一种具备该物理量传感器的电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器部(322a)和第二可动电极部(322b)，所述第一可动电极部(322a)具有与第一固定电极部(213a)对置的部分，所述第二可动电极部(322b)具有与第二固定电极部(213b)对置的部分，并且所述可动质量部(32)在俯视观察时呈包围第一固定电极侧固定部(21a)、第二固定电极侧固定部(21b)、第一可动电极侧固定部(31a)以及第二可动电极侧固定部(31b)的形状。(1)具备可动质量部(32)，其具有第一可动电极

公开(公告)号：CN103569938B

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201310309015.1

申请日：2013-07-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古畑诚 ,  田中悟

IPC: G01C19/5747 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B3/0086 ,  B81B7/0006 ,  B81B2207/012

Abstract: 本发明提供一种微电子机械系统装置、电子模块、电子设备以及移动体，其能够对在配线间产生的寄生电容进行抑制。所述微电子机械系统装置具备：底基板；第一配线，其使用第一结构体并被配置在底基板上；第二配线，其使用第一结构体和与第一结构体相连接的第二结构体并被配置在底基板上；微电子机械系统元件，其上连接有第一配线和第二配线，并被配置在底基板上，并且，所述微电子机械系统装置具备第一配线和第二配线相互交叉的交叉部，在交叉部处，第一配线的第一结构体和第二配线的第二结构体交叉。

公开(公告)号：CN105372450A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201510493730.4

申请日：2015-08-12

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  G01P3/44

Abstract: 本发明提供一种物理量传感器、电子设备以及移动体，其耐冲击且具有优异的机械强度。物理量传感器(1)具有：底基板(2)；可动部(33)；设置在可动部(33)上的多个可动电极指(361～365)；设置在底基板(2)上的固定电极指(381～388)；将可动部(33)固定于底基板(2)的固定部(31、32)，在可动电极指(361～365)中包含有在X轴方向上与固定部(31、32)对置的可动电极指(361、365)，可动电极指(361、365)与固定部(31、32)之间的分离距离小于可动电极指(361～365)与固定电极指(381～388)之间的分离距离，可动电极指(361、365)的宽度大于其他的可动电极指(362、363、364)。