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公开(公告)号：CN108253893A
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201810064688.8
申请日：2018-01-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种大量程高精度微接触力位移测量装置及其控制方法，涉及一种高精度位移检测装置及控制方法。音圈电机的动子与气浮导轨移动部件一端连接，音圈电机的定子与气浮导轨基座连接，气浮导轨基座右上端设有中空腔，气浮导轨移动部件滑动设置在气浮导轨基座的中空腔内，光栅尺与气浮导轨移动部件连接，读数头与气浮导轨基座连接；压电陶瓷执行器首端与气浮导轨移动部件另一端连接，压电陶瓷执行器末端与微力传感探针连接，辅助监控显微镜与压电陶瓷执行器的固定基座连接。本发明用于大量程高精度微接触力位移测量，可对毫米尺度精密零件及装配体的尺寸及形状精度等几何量进行纳米精度的无损测量。
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公开(公告)号：CN107486601A
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201710675817.2
申请日：2017-08-09
Abstract: 一种利用异形电极刀具进行电化学加工的方法，涉及微纳米加工领域。方法是：根据需要加工的特定形貌结构，设计制作异形电极刀具；将异形电极刀具固定于夹具上，再将夹具固定于多维操纵装置的Z方向位移台上；将被加工工件固定于电解池底部，向电解池注入电解液，控制异形电极刀具逼近被加工工件，并利用多维操纵装置的XY方向位移台调整异形电极刀具与被加工工件相对位置；将辅助电极和参比电极浸入电解液中，电化学工作站的工作电极线连接异形电极刀具，启动电化学工作站，产生电化学电流；控制C方向转台使被加工工件进行旋转运动，同时加工进行；加工结束后，被加工工件表面产生要求的形貌结构。本发明用于对工件进行电化学加工。
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公开(公告)号：CN107414221A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710243275.1
申请日：2017-04-14
IPC: B23H5/06
CPC classification number: B23H5/06
Abstract: 一种三维微纳结构电化学诱导加工方法，属于微纳米结构加工领域。所述的加工方法包括如下步骤：将被加工工件固定于电化学体系中电解池底部，再将电解池固定于X-Y方向水平位移台上；将微纳米尺寸刀具电极固定于夹具上，再将夹具固定于Z方向位移台上；向电解池中注入电解液，使电解液没过被加工工件；控制微纳米尺寸刀具电极逼近被加工材料；Z方向微动位移台设定为闭环模式，微纳米尺寸刀具电极电化电流作为其闭环信号；微纳米尺寸刀具电极在扫描运动时，根据预加工结构三维形貌实时调制刀具电极的电化学电流，最终在被加工工件表面加工出预定的三维微纳结构。本发明的加工方法属于一次成型，从而大大减少加工复杂度，提高了加工效率。
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公开(公告)号：CN104596461B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510049200.0
申请日：2015-01-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于检测三轴金刚石车床定位精度的特征样件及方法。所述特征样件包括基座和固定在基座上端的特征主体，所述基座为扁圆柱体，所述基座的上表面外边缘周向均布十二个凹槽；所述特征主体包括五个同轴设置的扁圆柱体且从上至下直径递增，相邻两个扁圆柱体之间的边缘形成台阶，所述基座与特征主体同轴设置。测量方法：使用T形布局的三轴金刚石车床加工特征样件；加工完成后，采用三坐标测量机测量特征样件的台阶高度面、圆柱直径和凹槽中心线；根据检测结果，推断出三轴金刚石车床的定位精度。本发明所设计样件具有结构简单、加工方便、且能有效反映出定位精度等特点。
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公开(公告)号：CN105758343A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610145389.8
申请日：2016-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/27
CPC classification number: G01B11/27
Abstract: 基于双标准球的主轴回转中心标定装置及方法。机床上有X轴导轨和Z轴导轨，C轴有安有3R夹具的矩形支撑座和吸有标准球一的真空吸盘，过渡件与3R夹具和标准球二连接；测量传感器固定件在Y轴升降台前且安有白光共焦位移传感器。调节标准球一位置，驱动C轴和白光共焦位移传感器，对准标准球一球冠位置，记录位置PR(x,y)，设为标准球一回转中心位置；将3R夹具和标准球二安在支撑座上，执行标准球二球冠顶点扫描，调整白光共焦位移传感器位置，使得白光共焦位移传感器对准标准球二的球冠位置，记录位置PS(x,y)，设为标准球二参考中心位置；做差得到ΔP。本发明保障了在位检测装置的使用寿命并避免了加工过程中的机械部件干涉问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103837708B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201210492775.6
申请日：2012-11-27
Abstract: 本发明提供了一种电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法。该水平检测装置包括：宏微位移平台；位移台，固设于宏微位移平台确定的X-Y平面上，可在该X-Y平面上进行位移，电解池与该位移台相对静止；探针电极，固设于宏微位移平台确定的Z方向上，其检测端浸入垂直向下进入电解池内的电解液中，距离电解池内的工件预设距离；以及电化学工作站，其工作电极连接至探针电极，其辅助电极和参比电极均连接浸入电解池内的电解液中，控制工作电极电位恒定，检测该工作电极随位移台的运动而变化的电流信号，获得电流信号曲线，由电流信号曲线的起伏幅度获知电解池内工件的倾斜程度。本发明可提高电解液中工件水平检测的精度。
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公开(公告)号：CN104150433B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201410385711.5
申请日：2014-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上，X方向定位工作台的滑块进行X方向运动，Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上，Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置，实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结构的加工问题，且方法简单，装置及加工实现成本相对较低。
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公开(公告)号：CN104098066B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201410346603.7
申请日：2014-07-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 电化学微纳加工设备，它属于一种纳米加工装置。为解决现有的电化学微纳加工设备成本过高、电化学加工技术应用不完善的问题。隔振基座包括台面、支架横梁以及基座，台面固定安装在基座上端面，台面上可拆卸安装有支架横梁，X向直线导轨固定平放于台面上，支架横梁垂直于X向直线导轨设置，水平旋转组件固定在X向直线导轨上，水平调整部件固定在水平旋转组件上，Y向直线导轨固定在支架横梁的前侧面上，Z向直线导轨固定在Y向直线导轨上，电极逼近部件固定在Z向直线导轨上。本发明具有精度高、加工效果好等优点，用于工件的电化学微纳加工。
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公开(公告)号：CN103234481B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201310152484.7
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供了一种金刚石刀具刀尖圆弧圆度的高效高精度检测装置，属于刀具检测装置技术领域。本发明所述精密气浮轴系竖直放置在隔振平台的中央，微调心装置固定在气浮轴系的上端部，刀具夹具固定在微调心装置的上部，体视显微镜系统设置在刀具夹具的上方，原子力显微镜系统设置在刀具夹具一侧的上方。本发明体视显微镜系统辅助微调心装置进行调心，提高调心精度，克服了AFM测量范围小的缺陷，能够进行三维测量，测量精度高；不但能解决圆弧刃金刚石刀具刀尖圆弧圆度的精密测量问题，其测量数据还能够反映刃磨机床的动态特性，可用来评价刀具的刃磨质量，并能为数控单点金刚石车削中的刀具补偿提供数据支持。
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公开(公告)号：CN102642155B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201210132031.3
申请日：2012-05-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于图像辅助的微小零件回转调心方法。属于精密测量及加工领域。该方法借助图像辅助设备实现各种超精密加工、检测设备上安装零件非接触、无损伤调心。将待调心的微小零件安装在二维位移调心台面上，计算机系统捕获图像a，假定该待调心的微小零件回转中心坐标为(xc,yc)；求得外圆圆心的位置坐标(x1,y1)并标识在图像a上；将回转主轴旋转已知角度θ，再捕获新图像b；并确定新位置坐标(x2,y2)及外圆轮廓半径；计算出待调心的微小零件的回转中心位置(xc,yc)；使动态图像c的待调心的微小零件的外圆圆心坐标(x3,y3)与回转中心坐标(xc,yc)位置重合。本发明适合于易破损变形等微小零件的回转调心。
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