一种扩容的翘板式微波功率传感器

    公开(公告)号:CN109270340A

    公开(公告)日:2019-01-25

    申请号:CN201811485537.6

    申请日:2018-12-06

    Abstract: 本发明公开了一种扩容的翘板式微波功率传感器,包括一衬底、共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极以及翘板式双端悬臂梁,共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极依次固定在衬底上表面,翘板式双端悬臂梁设置于共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极正上方;且第一传感电极和第二传感电极通过金线连接,翘板式双端悬臂梁的两自由端位于第一传感电极和第二传感电极的正上方,形成两个并联的感应电容;共面波导传输线包括设置在衬底上表面中心位置的中心信号线和等距设置在中心信号线两侧的两个地线,且两个地线上设置有用于固定翘板式双端悬臂梁的桥墩;本发明整体结构简单、易于集成,具有良好的可靠性和灵敏度高。

    一种声栅-反射面压电超声能量收集器及其制备方法

    公开(公告)号:CN109160485A

    公开(公告)日:2019-01-08

    申请号:CN201810901975.X

    申请日:2018-08-09

    Abstract: 本发明公开一种声栅-反射面压电超声能量收集器及其制备方法,所述能量收集器包括压电声栅、支撑结构和压电反射层,所述压电声栅通过支撑结构与反射面相连;所述压电声栅为多层平面结构,所述多层平面上刻蚀有多条相互平行的缝隙;所述压电反射层从上往下依次包括:第一金属电极、第一压电材料层和衬底;所述压电声栅从上往下依次包括:第二金属电极、第二压电材料层、结构反射层、第三压电材料层和第三金属电极;本发明通过压电反射层和压电声栅对于超声波的相互反射/吸收作用,实现了超声能量收集利用效率的最大化;相比于传统的超声压电能量收集器,本发明具有收集效率高、器件稳定性强等优点。

    超声激励的三层交联网方型压电能量收集器

    公开(公告)号:CN109150011A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201810902419.4

    申请日:2018-08-09

    Abstract: 本发明提供一种超声激励的三层交联网方型压电能量收集器,其采用超声波作为激励,包括最上方的大网孔压电能量收集器,中间的小网孔压电能量收集器和最下方的超声波反射层;网孔压电能量收集器包括主悬臂梁固定基板和关于主悬臂梁固定基板对称的多组悬臂梁对,悬臂梁对悬空端由副悬臂梁基板连接;超声激励作用于本发明的压电能量收集器时,部分超声激励被大网孔压电材料吸收,部分超声激励被小网孔压电材料吸收,提高了超声激励的整体吸收效率,大幅提高了能量的利用效率,提高了输出电压,且完全对称的悬臂梁及附着在其上的压电层,使得本发明的能量收集器除了可以输出超高电势外,还可以提高空间利用率和器件的集成度,并带来更好的稳定性。

    一种交联网圆弧型压电式能量收集器

    公开(公告)号:CN108448938A

    公开(公告)日:2018-08-24

    申请号:CN201810409222.7

    申请日:2018-05-02

    Abstract: 本发明揭示一种交联网圆弧型压电式能量收集器,该压电式能量收集器包括第一主悬臂梁极板固定端和第二主悬臂梁极板固定端,第一主悬臂梁极板固定端和第二主悬臂梁极板固定端之间平行设置有至少三组悬臂梁。每组所述悬臂梁的一端均与第一主悬臂梁极板固定端连接,每组所述悬臂梁的另一端均与第二主悬臂梁极板固定端连接。每组所述悬臂梁之间关于中轴线对称,每组所述悬臂梁均由三对悬臂梁对组成。该交联网圆弧型压电能量收集器的悬臂梁对除了在横向上进行对称连接以外,在纵向上也进行级联,该设置进一步降低了可收集能量的一阶谐振频率,更加扩宽了有效工作频带带宽,同时依据仿真结果发现,可收集能量的多阶带宽大幅度缩短。

    一种多自由度圆弧型压电能量收集器

    公开(公告)号:CN108390590A

    公开(公告)日:2018-08-10

    申请号:CN201810408685.1

    申请日:2018-05-02

    Abstract: 本发明揭示一种多自由度圆弧型压电能量收集器,该压电能量收集器包括第一层悬臂梁、第二层悬臂梁和第三层悬臂梁,第一层悬臂梁与第二层悬臂梁呈中心对称;第二层悬臂梁与第三层悬臂梁呈中心对称构成弹簧状。第一层悬臂梁包括第一圆弧型薄片和第二圆弧型薄片,第一圆弧型薄片的一端连接有第一正方形薄片,第一正方形薄片的另一端连接第二圆弧型薄片,第二圆弧型薄片的另一端连接第二正方形薄片,第一圆弧型薄片和第二圆弧型薄片上分别附着有第一压电层和第二压电层。该多自由度圆弧型压电能量收集器一阶谐振频率较低,频率间距较短,能够三维方向上吸收能量,且具有易于集成化、微型化等优点。

    基于CMOS的光电加速度传感器

    公开(公告)号:CN108196091A

    公开(公告)日:2018-06-22

    申请号:CN201810293685.1

    申请日:2018-03-30

    Abstract: 本发明公开了一种基于CMOS的光电加速度传感器,采用MEMS平面加工,该加速度传感器由短波平行光源、Y向遮光板,X向遮光板以及CMOS光电阵列组成。在遮光板上刻蚀出若干条条纹使得光线透过。当物体沿Y(X)轴运动时,Y(X)向遮光板产生的条纹位置会产生变化,同时CMOS光电阵列感应这些条纹位置的变化并计算单位时间内条纹的位移,即可得到Y(X)轴方向上的运动情况。当物体沿Z轴方向运动,X向遮光板和Y向遮光板产生的光照条纹所围成的方形内光敏元件数目会发生变化,通过计算数目的变化即可得到Z轴方向的运动情况。本发明的加速度传感器采用多位二进制数表示光照强度,具有精度高、灵敏度高等优点。

    多方向的压电超声发生器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107138380A

    公开(公告)日:2017-09-08

    申请号:CN201710468911.0

    申请日:2017-06-20

    CPC classification number: B06B1/06 B81B7/02 B81C1/0015

    Abstract: 本发明公开了一种多方向的压电超声发生器及其制备方法,是一种结构简单,操作容易,方向性可调,且便于集成的超声发生器及其制备方法。该超声发生器以硅为衬底,在衬底上设有三角形桥墩、三个独立的MEMS悬臂梁、压电材料、MEMS悬臂梁下拉电极。本发明既可以对三个MEMS悬臂梁下拉电极同时施加相同大小的电压,也可以通过选择不同组合方式对MEMS悬臂梁下拉电极单独的施加电压,共有七种组合方式来实现压电超声发生器的方向性选择。

    一种双模式低噪声放大器

    公开(公告)号:CN103746661B

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201410035310.7

    申请日:2014-01-24

    Abstract: 本发明公开了一种双模式低噪声放大器,属于射频集成电路设计领域。该放大器包含低噪声放大器LNA核心电路和双模式开关可控的复制型偏置电路,且开关可控的复制型偏置电路为核心电路提供所需的所有偏置;通过控制开关可控的复制型偏置电路的开关S来使LNA核心电路工作于不同的两种状态,即高增益模式和高线性度模式;其中,当开关S的不动端c连接开关S的动端a时,LNA工作于高线性度模式;当开关S的不动端c连接开关S的触点动端b时,LNA工作于高增益模式。该电路中的偏置电路完全复制放大电路且偏置电路采用电流镜结构,使得整个电路的电流均由基准电流源控制,从而抑制了PVT变化的影响。

    基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统及方法

    公开(公告)号:CN106199173A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610567136.X

    申请日:2016-07-19

    CPC classification number: G01R21/00

    Abstract: 本发明公开了一种基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统,该悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统以砷化镓为衬底,在衬底上设计有共面波导传输线和四个不同长度的MEMS悬臂梁:当待测微波功率较小时,由于静电力较小,只有较长的MEMS悬臂梁臂下拉;当待测微波功率较大时,由于静电力较大,可以使较短的MEMS悬臂梁臂下拉。本发明还公开了一种基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统的检测方法,根据MEMS悬臂梁的电容变化量与微波功率是一一对应的关系,就可以测量出微波信号的功率。本发明系统结构简单,测量幅度范围大、不消耗直流功率,且便于集成;不仅可以扩展检测功率的动态范围,而且还可以提高检测功率的精度。

    一种微电子机械双通道微波功率检测系统及其制备方法

    公开(公告)号:CN103777066A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201410003490.0

    申请日:2014-01-03

    Inventor: 王德波

    Abstract: 本发明公开了一种基于微电子机械微波功率传感器的双通道微波功率检测系统及其制备方法,该系统结构非常简单,测量幅度范围大、不消耗直流功率;该系统是以砷化镓为衬底,在衬底上设计有共面波导传输线(A)、热电式MEMS微波功率传感器(B)和MEMS固支梁电容式微波功率传感器(C):当微波信号功率较小时,由热电式MEMS微波功率传感器来检测,根据热电堆输出电压与微波功率是一一对应的关系;当微波信号功率较大时,由MEMS固支梁电容式微波功率传感器来检测,在共面波导传输线上方的MEMS固支梁设计了一个正方形的质量块,增加了与共面波导传输线的面积,同时增加了MEMS固支梁中心位置的重量,使得静电力更容易引起MEMS固支梁大的形变,提高了系统的灵敏度。

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