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公开(公告)号：CN108330435B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201810034119.9
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。
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公开(公告)号：CN113061843A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110306778.5
申请日：2018-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及制造蒸镀掩模的金属板及其制造方法、蒸镀掩模及其制造方法和具备其的蒸镀掩模装置。为了制造蒸镀掩模而使用的金属板具有30μm以下的厚度。通过利用EBSD法测定出现在金属板的截面中的晶粒并对测定结果进行分析而算出的晶粒的平均截面积为0.5μm2以上且50μm2以下。平均截面积通过在将晶体取向之差为5度以上的部分认定为晶界的条件下利用面积法对由EBSD法得到的测定结果进行分析而算出。
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公开(公告)号：CN108203804B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201711427965.9
申请日：2014-09-12
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造掩模的方法。本发明的目的在于提供一种具有良好的传送性的金属板。金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4％以下。另外，中央部分的陡峭度的最大值为一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为另一端侧部分的陡峭度的最大值以下。此外，一端侧部分的陡峭度的最大值与另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4％以下。
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公开(公告)号：CN111748765A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010227944.8
申请日：2020-03-27
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及一种蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模的贯通孔的壁面包括：从第1端向第2面扩展的第1壁面；从第2端向第1面扩展的第2壁面；在连接部连接到第1壁面的第2壁面；和连接第1壁面与第2壁面的连接部。沿着第1面的法线方向从第1面侧观察贯通孔时，贯通孔的第1端包括：沿第1方向延伸并具有第1尺寸的第1部分；和沿与第1方向交叉的第2方向延伸并具有比第1尺寸短的第2尺寸的第2部分。第1壁面包括：从第1部分向连接部扩展的第1壁面区划；和从第2部分向连接部扩展的第2壁面区划。第1壁面区划的高度小于第2壁面区划的高度。
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公开(公告)号：CN110965020A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201911293513.5
申请日：2016-02-05
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: C23C14/04 , C23F1/02 , G01N23/2273 , H01L51/50 , H05B33/10
Abstract: 本发明提供金属板的筛选方法以及蒸镀掩模的制造方法，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108265265B
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201711428597.X
申请日：2014-09-12
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种具有良好的传送性的金属板。金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4％以下。另外，中央部分的陡峭度的最大值为一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为另一端侧部分的陡峭度的最大值以下。此外，一端侧部分的陡峭度的最大值与另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4％以下。
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公开(公告)号：CN107208251B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201680009233.5
申请日：2016-02-05
Applicant: 大日本印刷株式会社
Inventor： 池永知加雄
Abstract: 本发明提供利用镀覆处理来制造形成了具有复杂形状的贯通孔的蒸镀掩模的方法。本发明的蒸镀掩模制造方法具备在具有绝缘性的基板上形成以特定图案设有第1开口部的第1金属层的第1成膜工序、以及在第1金属层上形成设有与第1开口部连通的第2开口部的第2金属层的第2成膜工序。第2成膜工序包括在基板上和第1金属层上隔着特定间隙形成抗蚀剂图案的抗蚀剂形成工序、以及在抗蚀剂图案的间隙处使第2金属层在第1金属层上析出的镀覆处理工序。抗蚀剂形成工序按照第1金属层的第1开口部被抗蚀剂图案覆盖、同时抗蚀剂图案的间隙位于第1金属层上的方式来实施。
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公开(公告)号：CN109778114A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811344277.0
申请日：2018-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及用于制造蒸镀掩模的金属板和金属板的制造方法以及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。金属板具有位于金属板的表面的两个以上的凹坑。用于制造蒸镀掩模的金属板的制造方法具备下述检查工序：基于位于金属板的表面的一部分的两个以上的凹坑的容积的总和，判定金属板的优劣。
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公开(公告)号：CN107937870A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201711266179.5
申请日：2014-01-10
Applicant: 大日本印刷株式会社
Inventor： 池永知加雄
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/562 , C23C14/5806 , H01L51/56
Abstract: 本发明涉及金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法。本发明的目的是提供一种延伸差率小的金属板。金属板的宽度方向的中央部分的延伸差率为10×10-5以下。另外，金属板的宽度方向的端部的延伸差率为20×10-5以下。此外，金属板的宽度方向的端部的延伸差率大于金属板的宽度方向的中央部分的延伸差率的最大值。
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