公开(公告)号：CN202964648U

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201220721478.X

申请日：2012-12-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 陈涛 ,  潘明强 ,  刘吉柱 ,  王阳俊 ,  陈立国 ,  汝长海 ,  孙立宁 ,  李伟达 ,  李娟 ,  张锋锋 ,  李春光 ,  胡海燕

IPC: B25J9/00 ,  B25J19/00

Abstract: 本实用新型公开了一种基于位移传感器的二维微动台，包括二维驱动工作台、二维位移传感器及连接板，二维驱动工作台包括微动台基体，微动台基体内设有传感器连接台、压电陶瓷放置区和杠杆放大机构，二维位移传感器为二维梳齿位移传感器，包括传感器基体、位于传感器基体中间且与传感器连接台相连的连接块以及与传感器基体和连接块相连的传感器梳齿检测区。本实用新型二维微动台器行程大，可实现全闭环控制，其具有结构紧凑、体积小、集成度高、精度高的特点，同时在二维检测方面实现了有效的解耦，所以此种结构的微动台的应用会越来越广泛。