公开(公告)号：CN104422789A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410456006.X

申请日：2014-09-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01D5/241

Abstract: 本发明提供一种物理传感器、振动装置、电子设备以及移动体。所述物理量传感器具备：基板；固定部以及布线，其被设置在基板上；接触部，其对固定部和布线进行电连接；可动电极，其经由所述固定部而与所述布线电连接，在俯视观察时，所述接触部被设置在第一区域外的第二区域的所述固定部上，所述第一区域为将被与所述可动电极和所述固定部连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于所述可动电极的位移方向上假想延伸而成的区域。

公开(公告)号：CN104345173A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201410356604.X

申请日：2014-07-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种功能元件、电子设备及移动体，所述功能元件能够抑制因干扰而产生的测量精度的差异。所述功能元件的特征在于，具备：固定电极部，其包括第一固定电极部(21)及第二固定电极部(22)；第一配线部(50)，其被连接于第一固定电极部(21)；第二配线部(60)，其被连接于第二固定电极部(22)，在第一配线部(50)和所述第二配线部(60)中的至少一方上设置有分叉部，从分叉部起延伸的一个配线被连接于固定电极部，从分叉部起延伸的另一个配线沿着第一配线部(50)或第二配线部(60)而设置。

公开(公告)号：CN104280051A

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201410326076.3

申请日：2014-07-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01D3/036 ,  G01P15/125

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B2203/0109

Abstract: 本发明提供一种因所使用的环境的温度变化所造成的检测特性的变动被抑制的、检测特性更为稳定的电子装置及制造方法、物理量传感器、电子设备及移动体。物理量传感器(1)具备第一传感器元件(99)和被配置在第一传感器元件(99)的外周的至少一部分上的外缘部(90)，在俯视观察外缘部(90)时，在外缘部(90)上设置有在第一方向上延伸的第一槽(92)。

公开(公告)号：CN103364588A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310113208.X

申请日：2013-04-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0814

Abstract: 本发明提供一种物理量传感器以及电子设备，所述物理量传感器能够抑制在可动体上产生应力的情况。本发明所涉及的物理量传感器（100）包括：基板(10)；固定部(32)及固定电极部(39a、39b)，其被固定在基板(10)上；可动体(34)，其具备支承部(35)、可动电极部(38)以及弹簧部(36)，并且能够沿着与第一轴交叉的第二轴而进行位移，其中，所述支承部(35)在俯视观察时被设置在固定部(32)的周围，所述可动电极部(38)被支承在支承部(35)上并沿着第一轴而延伸，且以与固定电极部(39a、39b)对置的方式而配置，所述弹簧部(36)对固定部(32)和支承部(35)进行连结，支承部(35)具备沿着第一轴而延伸的第一梁部(35a、35b)、和沿着第二轴而延伸的第二梁部(35c、35d)。

公开(公告)号：CN103364586A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310110518.6

申请日：2013-04-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B7/0006 ,  B81B2203/0163

Abstract: 本发明提供一种物理量传感器以及电子设备，所述物理量传感器能够在实现小型化的同时，抑制在弹簧部上作用有静电力的情况。所述物理量传感器(100)包括：可动体(26)，其能够在第一轴的方向上进行位移；固定电极部(52、54)，其以与可动电极部(50)对置的方式而设置；作为连接部件的弹簧部(30)，且对固定部(23)和可动体(26)进行连接，并且，包括从固定部(23)起沿着与第一轴的方向交叉的第二轴而延伸的第一延伸部(31a)、与第一延伸部(31a)连接的折回部(31b)、以及从折回部(31b)起沿着第二轴而延伸的第二延伸部(31c)；壁部(40)，其从固定部(23)起延伸，且在俯视观察时被设置在弹簧部(30)的第一延伸部(31a)及折回部(31b)的外侧，弹簧部(30)和壁部(40)被电连接。

公开(公告)号：CN1862958A

公开(公告)日：2006-11-15

申请号：CN200610080215.4

申请日：2006-05-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18

Abstract: 提供一种可以从多个兰姆波模式中只选择所期望的模式并抑制寄生的兰姆波型高频装置。兰姆波型高频装置(1)在由石英构成的压电基板(20)的表面设有：分别相间插入一对交叉指电极(31、32)而成的IDT电极(30)、和设在IDT电极(30)的兰姆波行进方向两侧的具有电极指(50a、50b)的一对反射器(40、50)，IDT电极(30)中的电极指(31a、31b、32a)的间距Pi、和反射器(50)的电极指(50a、50b)的间距Pr不同，在兰姆波的波长λ的范围内相间插入IDT电极(30)的两个电极指(31a、32a)。

公开(公告)号：CN114518471B

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202111348263.8

申请日：2021-11-15

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18

Abstract: 物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置，能够同时实现高灵敏度化和粘着的降低。物理量传感器(1)包含基板(2)和可动体(3)，在可动体的第1质量部(34)的第1面(6)设置有在相邻的区域间设有阶梯差的第1～第n区域。在设第1～第n区域的离旋转轴(AY)远的一侧的端部为第1～第n端部、在可动体绕旋转轴进行了最大移位的状态下通过第1～第n端部中的2个端部且与X轴所成的角最小的假想直线为第1假想直线(VL1)、沿着第1固定电极(24)的主面的直线为第2假想直线(VL2)时，在与基板的第1固定电极的离旋转轴最近和最远的端部相交的第1和第2法线间的区域(RN12)中，第1与第2假想直线不交叉。

公开(公告)号：CN113567708B

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202110449448.1

申请日：2021-04-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 本申请涉及物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器具有：可动体，绕摆动轴摆动；以及检测电极，与可动体相对配置。基板具有第一区域至第m区域，检测电极跨第一区域至第n区域而配置。当设定了连接检测电极在第一区域至第n区域各区域上的端部中的两个端部的虚拟直线中与X轴方向所成的角最小的第一虚拟直线以及在可动体绕摆动轴进行了最大位移的状态下沿可动体在基板一侧的主面的第二虚拟直线时，在与第一区域的端部相交且在Z轴方向上延伸的第一法线和与第n区域的端部相交且在Z轴方向上延伸的第二法线之间的区域中，第一虚拟直线与第二虚拟直线不交叉。

公开(公告)号：CN117310207A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202310777470.8

申请日：2023-06-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

Abstract: 物理量传感器以及惯性测量装置，能够避免与质量分布的不均相伴的不良情况。物理量传感器(1)包括固定部(40)、支承梁(42)、可动体(MB)、第一固定电极组(10)和第二固定电极组(50)。支承梁的一端与固定部(40)连接，支承梁沿着第二方向(DR2)设置。可动体与支承梁的另一端连接。第一固定电极组和第二固定电极组设置于基板。可动体具有第一连结部(30)、第一基部(23)、第一可动电极组(20)、第二连结部(70)、第二基部(63)、第二可动电极组(60)和质量部(MP)。第一连结部与支承梁的另一端连接，第一基部与第一连结部连接。第二连结部与支承梁的另一端连接，第二基部与第二连结部连接。

公开(公告)号：CN109540119B

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN201811099867.1

申请日：2018-09-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 提供一种能够发挥良好温度特性的物理量传感器和传感器器件、电子设备、便携式电子设备及移动体。物理量传感器包括基板、检测第一方向加速度的一对第一元件部以及检测第二方向加速度的一对第二元件部。第一元件部包括能够沿第一方向位移的第一可动部、配置于第一可动部的第一、第二可动电极指、与第一、第二可动电极指相对配置的第一、第二固定电极指、以及支承第一、第二固定电极指的第一、第二支承部。第二元件部包括能够沿第二方向位移的第二可动部、配置于第二可动部的第三、第四可动电极指、与第三、第四可动电极指相对配置的第三、第四固定电极指、以及支承第三、第四固定电极指的第三、第四支承部。