-
-
公开(公告)号:CN102564321A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201210005815.X
申请日:2012-01-10
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于外腔调制稳频的激光回馈位移测量方法及系统,将压电陶瓷固定在被测目标上,双频激光器将输出的激光沿着激光轴线方向向分光镜和回馈镜传播;驱动电路将三角波电压信号发送到压电陶瓷,压电陶瓷在电压作用下做伸缩运动的同时推动回馈镜做往复运动;启动最小值查询单元在每个驱动周期内查找测量基准点,并将驱动周期内查找的最小值发送到位移显示器显示;稳频控制电路发送稳频信号控制电阻丝对激光增益管进行加热,双频激光器的腔长发生变化,使双频激光器处于稳频状态;测量位移前,对位移显示器进行清零操作;位移测量系统开始进行测量,当被测目标运动完成后,信号处理系统将值发送到最小值查询单元,查找驱动周期内驱动电压为0的值并发送到位移显示器显示。本发明可以广泛应用于位移测量中。
-
公开(公告)号:CN102506685A
公开(公告)日:2012-06-20
申请号:CN201110329320.8
申请日:2011-10-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种基于压电陶瓷开环调制的位移测量方法,属于测量技术领域,其特征在于对压电陶瓷施加周期性三角波驱动电压,使其往返运动,在相反的运动方向上分别找出对应一定压电陶瓷长度的基准位置,并取得对应此基准位置的驱动电压,计算其平均值。可由所述平均值的变化乘以周期性三角波电压驱动下当驱动电压上升时的位移-驱动电压曲线以及当驱动电压下降时的位移-驱动电压曲线的平均值曲线中接近线性的中段区域的斜率计算出待测位移量。这种方法的优点在于可以有效改善压电陶瓷的迟滞和非线性,提高位移测量的精度;对压电陶瓷进行开环控制即可,没有增加系统复杂性和成本;便于与其它位移测量方法相结合,实现大量程高精度位移测量。
-
-