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公开(公告)号：CN109830422B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201910142821.1
申请日：2019-02-26
Applicant: 东北大学
IPC: H01J41/18
Abstract: 本发明涉及一种溅射离子泵磁路结构及溅射离子泵,包括抽气组件、一对梯台型磁轭、磁铁和下方磁轭，所述下方磁轭的两端上方分别设有所述磁铁，所述磁铁的上面固定梯台型磁轭，所述梯台型磁轭下宽上窄设置，所述一对梯台型磁轭的垂直面相对设置，所述抽气组件固定于两个梯台型磁轭之间，随着与磁铁距离的增大，所述梯台型磁轭的厚度逐渐缩小，收缩其中的磁力线，使抽气组件空间内形成磁感应强度不变的均匀磁场。该磁路结构中磁轭将大量磁力线束，带有磁轭的抽气组件内阳极筒轴线处的磁感应强度整体高于没有磁轭的抽气组件，磁场利用率高，提高效果明显，结构简单，有效降低了泵的体积和重量，降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN107143506B
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201710564556.7
申请日：2017-07-12
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种多级高真空干泵，包括转子组装体、各级定子、电机、底座和外壳，其中，转子组装体包括套装固定在所述电机的主轴上端的涡轮级转子和复合转子体；复合转子体包括由内向外依次固定连接的盘型牵引级转子、筒式牵引级转子、旋涡级转子；各级定子由内向外包括涡轮级定子，复合定子一，复合定子二和旋涡级定子，分别与所述转子组装体各部分对应设置；底座固定于各级定子与转子组装体下方，电机固定于所述底座，外壳固定连接于旋涡级定子与底座的外侧。本发明有效提高干泵抽气速率，降低级间返流与泄露，在筒式牵引级外侧设置了侧槽式旋涡级，降低了旋涡级抽气通道加工难度，同时利用旋涡级叶片高速旋转对气体的搅动作用，保证了高真空干泵可以直排大气。
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公开(公告)号：CN105909538B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201610482808.7
申请日：2016-06-28
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种采用分段式结构牵引级的复合分子泵，其筒式牵引级采用分段式结构，筒式牵引级的相邻段之间设有环向凹槽和环向凸台，环向凹槽与环向凸台彼此正对设置；当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时，环向凹槽设置在牵引转子上，环向凸台设置在定子上，牵引转子由环向凹槽分隔成若干牵引转子段；当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时，环向凹槽设置在定子上，环向凸台设置在牵引转子上，定子由环向凹槽分隔成若干定子段；在环向凸台上开设有螺旋槽，环向凸台上的螺旋槽与牵引转子或定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向；在抽气方向上，各个牵引转子段或定子段上、环向凸台上的螺旋槽数量呈递增设置、螺旋槽槽深呈递减设置及螺旋槽槽宽呈递减设置。
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公开(公告)号：CN108194343A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201711410851.3
申请日：2017-12-23
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
CPC classification number: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及一种真空泵测试系统及测试方法。真空泵测试系统包括分别用于与待测泵室的吸气口和排气口连通的第一和第二真空室、分别测量第一和第二真空室的压力的第一和第二测压系统、为第一和第二真空室供气的供气设备、分别从第一和第二真空室抽气的第一和第二抽气设备、测量和控制第一真空室气体流量的气体流量测控设备、分别控制第一和第二真空室的温度的第一和第二控温设备。真空泵测试方法应用该真空泵测试系统。上述真空泵测试系统和测试方法可提供压力、流量和温度可控的测试环境，可以模拟不同情况下真空泵的抽气状态，且可用于不同种类的真空泵的抽气性能测试。
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公开(公告)号：CN106611694B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201710042133.9
申请日：2017-01-20
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种检测分析设备，尤其涉及一种质谱仪用极杆及质谱仪。上述极杆包括极杆本体和膜层，膜层采用真空镀膜工艺形成在极杆本体上。真空镀膜工艺相对于现有复杂加工工艺成本更低；通过对极杆本体表面进行镀膜处理，可弥补极杆本体的加工缺陷，改善极杆尺寸精度，使其满足圆柱度、表面粗糙度等加工精度要求，同时使极杆获得良好的导电性、耐腐蚀性和热稳定性、较少的真空释气、较低的二次离子效应、表面粒子不易释放、耐污染等特点，进而使用该极杆的质谱仪可产生理想电场，并且完成检测工作的同时延长极杆的使用寿命；对极杆本体材料类型的要求降低，可选用价格低的材料。质谱仪包括上述极杆，成本低、能够保证理想电场的产生，使用寿命长。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105293947B
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201510853898.1
申请日：2015-11-30
Applicant: 东北大学 , 沈阳川海数字工程有限公司
IPC: C03C17/22
Abstract: 一种上转换多色荧光体薄膜及其制备方法，该薄膜是Er3+、Tm3+和Yb3+中的一种或几种稀土离子共掺杂钛酸盐形成的上转换荧光体薄膜，其化学式为Bi4‑x‑y‑zErxTmyYbzTi3O12，其中0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1，薄膜的厚度为200～400nm。上转换多色荧光体薄膜的制备方法包括：(1)配料；(2)制备上转换多色荧光体前驱液；(3)制备上转换多色荧光体前驱膜；(4)制备上转换多色荧光体薄膜。上转换多色荧光体薄膜具有荧光强度高、荧光颜色可调的优点，甚至可以调制出色度良好的白光，上转换多色荧光体薄膜的制备方法具有易于精确控制材料组分、操作方便、易于工业化生产的优点。
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公开(公告)号：CN107143506A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201710564556.7
申请日：2017-07-12
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种多级高真空干泵，包括转子组装体、各级定子、电机、底座和外壳，其中，转子组装体包括套装固定在所述电机的主轴上端的涡轮级转子和复合转子体；复合转子体包括由内向外依次固定连接的盘型牵引级转子、筒式牵引级转子、旋涡级转子；各级定子由内向外包括涡轮级定子，复合定子一，复合定子二和旋涡级定子，分别与所述转子组装体各部分对应设置；底座固定于各级定子与转子组装体下方，电机固定于所述底座，外壳固定连接于旋涡级定子与底座的外侧。本发明有效提高干泵抽气速率，降低级间返流与泄露，在筒式牵引级外侧设置了侧槽式旋涡级，降低了旋涡级抽气通道加工难度，同时利用旋涡级叶片高速旋转对气体的搅动作用，保证了高真空干泵可以直排大气。
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公开(公告)号：CN106024919A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610601867.1
申请日：2016-07-28
Applicant: 东北大学
IPC: H01L31/0216 , H01L31/0236 , H01L31/0376
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/02366 , H01L31/02168 , H01L31/03762
Abstract: 一种非晶硅薄膜太阳能电池及其制造方法，所述非晶硅薄膜太阳能电池由依次连接的柔性PET基片层、SiO2陷光层、第一电极TCO层、p型非晶硅层、p型缓冲层、i型非晶硅层、n型非晶硅层、第二电极TCO层和背反射层组成。制备方法包括：提供柔性PET基片层；在柔性PET基片层上依次沉积SiO2陷光层、第一电极TCO层、p型非晶硅层、p型缓冲层、i型非晶硅层、n型非晶硅层、第二电极TCO层和背反射层。本发明的非晶硅薄膜太阳能电池的光电转换效率达到10~14%，较现有的单节非晶硅薄膜太阳能电池的光电转换效率提高了3~8%，并有效防止本征层i型非晶硅层和n型非晶硅层受到污染，适于大批量生产。
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公开(公告)号：CN105909538A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201610482808.7
申请日：2016-06-28
Applicant: 东北大学
CPC classification number: F04D19/042 , F04D29/002
Abstract: 一种采用分段式结构牵引级的复合分子泵，其筒式牵引级采用分段式结构，筒式牵引级的相邻段之间设有环向凹槽和环向凸台，环向凹槽与环向凸台彼此正对设置；当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时，环向凹槽设置在牵引转子上，环向凸台设置在定子上，牵引转子由环向凹槽分隔成若干牵引转子段；当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时，环向凹槽设置在定子上，环向凸台设置在牵引转子上，定子由环向凹槽分隔成若干定子段；在环向凸台上开设有螺旋槽，环向凸台上的螺旋槽与牵引转子或定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向；在抽气方向上，各个牵引转子段或定子段上、环向凸台上的螺旋槽数量呈递增设置、螺旋槽槽深呈递减设置及螺旋槽槽宽呈递减设置。
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公开(公告)号：CN104791264A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510185860.1
申请日：2015-04-20
Applicant: 东北大学
CPC classification number: F04D19/042 , F04D29/522
Abstract: 一种带有过渡结构的复合分子泵，在动叶轮与牵引转子衔接处设有过渡结构，过渡结构为短涡轮叶片、盘式牵引结构件或螺旋槽牵引结构件；当过渡结构采用短涡轮叶片或盘式牵引结构件时，牵引转子为光筒，定子内开设螺旋槽，短涡轮叶片或盘式牵引结构件与牵引转子固定连接；在与短涡轮叶片轴向对应的牵引转子上开设有通气倒角；在盘式牵引结构件上开设有型线沟槽，型线沟槽的线型为阿基米德螺线、对数螺线或圆弧线；当过渡结构采用螺旋槽牵引结构件时，定子为光筒，牵引转子上开设有螺旋槽，螺旋槽牵引结构件与牵引转子固定连接，在螺旋槽牵引结构件上开设有辅助过渡螺旋槽，辅助过渡螺旋槽的槽深及槽宽大于牵引转子上螺旋槽的槽深及槽宽。
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