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公开(公告)号：CN111365240A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811600736.7
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵领域，具体说是一种真空泵内转子间隙可调的安装结构及间隙调整方法，转子设于转子座体内且套设于主轴上，固定端座体和活动端座体分设于转子座体两侧，主轴一端通过固定端轴承支撑安装于固定端座体上，另一端通过活动端轴承支撑安装于活动端座体上，固定端座体上设有限定所述固定端轴承的固定端轴套和轴承压盖，且所述轴承压盖与固定端座体螺纹连接，活动端座体上设有限定所述活动端轴承位置的内定位组件、轴端压盖和锁紧螺母，内定位组件包括螺纹连接的限位块和活动端定位轴套，活动端定位轴套上设有定位牙与转子固连。本发明通过螺纹连接实现转子两侧间隙调节，并可定量确定间隙调整距离，提高真空泵装配和工作性能的可靠性。
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公开(公告)号：CN108119352A
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201711408179.4
申请日：2017-12-22
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
CPC classification number: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法。干式真空泵套件包括固定模块、多种规格的外侧罩、多种规格的轴套和多种规格的定子，固定模块包括驱动室、主动轴和从动轴，根据可拆卸地安装在主动轴和从动轴上的一对或多对啮合转子，选配定子、轴套和外侧罩以使得定子、轴套、外侧罩、主动轴和从动轴上的轴向定位结构以及驱动室形成针对每对啮合转子独立的泵室，并整体形成一个干式真空泵。测试方法应用上述干式真空泵套件。由此，可通过一台干式真空泵上不同转子组合形式的简单快速装配并构成测试系统来探究不同压力区域段不同转子组合形式的抽气效果与优化方案，解决了干式真空泵产品研发阶段样泵的不必要材料与能源浪费的技术问题。
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公开(公告)号：CN111365220A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811600707.0
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及真空干泵测试领域，具体地说是一种真空干泵内部流场参数测试系统，包括待测真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一维持泵、第二维持泵和气瓶，第一真空室与待测真空干泵的进气口相连，第二真空室与待测真空干泵的出气口相连，第一维持泵和气瓶分别与第一真空室相连，第二真空室与第二维持泵相连，在气待测真空干泵的进气口和出气口内均设有温度传感器，在气待测真空干泵内设有多个压力传感器，所述压力传感器包括封装层、压感膜和电感线圈，在待测真空干泵外侧与各个压力传感器对应的位置均固设有耦合电感。本发明能够更客观地测量真空干泵内部流场参数，并且不会对泵体造成过多损坏。
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公开(公告)号：CN108119352B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201711408179.4
申请日：2017-12-22
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法。干式真空泵套件包括固定模块、多种规格的外侧罩、多种规格的轴套和多种规格的定子，固定模块包括驱动室、主动轴和从动轴，根据可拆卸地安装在主动轴和从动轴上的一对或多对啮合转子，选配定子、轴套和外侧罩以使得定子、轴套、外侧罩、主动轴和从动轴上的轴向定位结构以及驱动室形成针对每对啮合转子独立的泵室，并整体形成一个干式真空泵。测试方法应用上述干式真空泵套件。由此，可通过一台干式真空泵上不同转子组合形式的简单快速装配并构成测试系统来探究不同压力区域段不同转子组合形式的抽气效果与优化方案，解决了干式真空泵产品研发阶段样泵的不必要材料与能源浪费的技术问题。
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公开(公告)号：CN108105121A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201711487620.2
申请日：2017-12-29
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种多级复合高真空干泵，其包括泵壳、内置电机、牵引级转子、牵引级定子、旋涡级转子、旋涡级定子和两个底座，其中，所述内置电机设于所述泵壳的一侧，牵引级转子固定设于内置电机的主轴上，对应设置所述牵引级定子，旋涡级转子靠近牵引级转子通过轴套固定在主轴上，旋涡级定子对应旋涡级转子设置，旋涡级转子设有多级，所述多级旋涡级转子的叶片为T形、V形或C形中的任两种或三种组合。本发明采用卧式结构，具有结构紧凑、加工制造工艺简单、动平衡良好、抗大气冲击能力强、运行稳定的特点，并且，入口级选择多级牵引级串联，有利于提高压缩比，排气级选择多级旋涡级串联，利用旋涡级对气体的搅动再生作用，可以保证在较宽工作压力范围内的具有稳定的大抽速，有利于实现直排大气的效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111365240B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201811600736.7
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵领域，具体说是一种真空泵内转子间隙可调的安装结构及间隙调整方法，转子设于转子座体内且套设于主轴上，固定端座体和活动端座体分设于转子座体两侧，主轴一端通过固定端轴承支撑安装于固定端座体上，另一端通过活动端轴承支撑安装于活动端座体上，固定端座体上设有限定所述固定端轴承的固定端轴套和轴承压盖，且所述轴承压盖与固定端座体螺纹连接，活动端座体上设有限定所述活动端轴承位置的内定位组件、轴端压盖和锁紧螺母，内定位组件包括螺纹连接的限位块和活动端定位轴套，活动端定位轴套上设有定位牙与转子固连。本发明通过螺纹连接实现转子两侧间隙调节，并可定量确定间隙调整距离，提高真空泵装配和工作性能的可靠性。
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公开(公告)号：CN111365220B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201811600707.0
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及真空干泵测试领域，具体地说是一种真空干泵内部流场参数测试系统，包括待测真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一维持泵、第二维持泵和气瓶，第一真空室与待测真空干泵的进气口相连，第二真空室与待测真空干泵的出气口相连，第一维持泵和气瓶分别与第一真空室相连，第二真空室与第二维持泵相连，在气待测真空干泵的进气口和出气口内均设有温度传感器，在气待测真空干泵内设有多个压力传感器，所述压力传感器包括封装层、压感膜和电感线圈，在待测真空干泵外侧与各个压力传感器对应的位置均固设有耦合电感。本发明能够更客观地测量真空干泵内部流场参数，并且不会对泵体造成过多损坏。
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公开(公告)号：CN108105121B
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201711487620.2
申请日：2017-12-29
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种多级复合高真空干泵，其包括泵壳、内置电机、牵引级转子、牵引级定子、旋涡级转子、旋涡级定子和两个底座，其中，所述内置电机设于所述泵壳的一侧，牵引级转子固定设于内置电机的主轴上，对应设置所述牵引级定子，旋涡级转子靠近牵引级转子通过轴套固定在主轴上，旋涡级定子对应旋涡级转子设置，旋涡级转子设有多级，所述多级旋涡级转子的叶片为T形、V形和C形。本发明采用卧式结构，具有结构紧凑、加工制造工艺简单、动平衡良好、抗大气冲击能力强、运行稳定的特点，并且，入口级选择多级牵引级串联，有利于提高压缩比，排气级选择多级旋涡级串联，保证在较宽工作压力范围内的具有稳定的大抽速，实现直排大气的效果。
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公开(公告)号：CN107143506B
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201710564556.7
申请日：2017-07-12
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种多级高真空干泵，包括转子组装体、各级定子、电机、底座和外壳，其中，转子组装体包括套装固定在所述电机的主轴上端的涡轮级转子和复合转子体；复合转子体包括由内向外依次固定连接的盘型牵引级转子、筒式牵引级转子、旋涡级转子；各级定子由内向外包括涡轮级定子，复合定子一，复合定子二和旋涡级定子，分别与所述转子组装体各部分对应设置；底座固定于各级定子与转子组装体下方，电机固定于所述底座，外壳固定连接于旋涡级定子与底座的外侧。本发明有效提高干泵抽气速率，降低级间返流与泄露，在筒式牵引级外侧设置了侧槽式旋涡级，降低了旋涡级抽气通道加工难度，同时利用旋涡级叶片高速旋转对气体的搅动作用，保证了高真空干泵可以直排大气。
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公开(公告)号：CN107143506A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201710564556.7
申请日：2017-07-12
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种多级高真空干泵，包括转子组装体、各级定子、电机、底座和外壳，其中，转子组装体包括套装固定在所述电机的主轴上端的涡轮级转子和复合转子体；复合转子体包括由内向外依次固定连接的盘型牵引级转子、筒式牵引级转子、旋涡级转子；各级定子由内向外包括涡轮级定子，复合定子一，复合定子二和旋涡级定子，分别与所述转子组装体各部分对应设置；底座固定于各级定子与转子组装体下方，电机固定于所述底座，外壳固定连接于旋涡级定子与底座的外侧。本发明有效提高干泵抽气速率，降低级间返流与泄露，在筒式牵引级外侧设置了侧槽式旋涡级，降低了旋涡级抽气通道加工难度，同时利用旋涡级叶片高速旋转对气体的搅动作用，保证了高真空干泵可以直排大气。
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