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公开(公告)号：CN100437251C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200510083614.1
申请日：2002-08-16
Applicant: NEC液晶技术株式会社
IPC: G02F1/1333 , G02F1/133
Abstract: 制作一种液晶显示器，该液晶显示器具有以栅格形的方式设置的总线、与总线耦合的开关元件、在涂覆形成的夹层绝缘膜上设置的象素电极，象素电极与开关元件耦合。在制作液晶显示器中，当在涂覆形成的夹层绝缘膜上形成透明导电膜时，基片温度控制为100℃-170℃。另一方面，当在非加热状态下在夹层绝缘膜上形成透明导电膜时，将氧流速比设置为1%或更低，在形成膜之后进行退火。从而，当在夹层绝缘膜上刻蚀ITO膜时，不产生腐蚀残渣。此外，能一致地减少在ITO膜和下层金属之间的接触电阻，并避免显示缺限。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1255701C
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN02122754.3
申请日：2002-06-10
Applicant: NEC液晶技术株式会社
Inventor： 石野隆行
IPC: G02F1/136
CPC classification number: G02F1/1368 , G02F1/136286 , G02F2201/40
Abstract: 一种有源矩阵型液晶显示装置，包括：透明基板(101)；多条扫描线(102)，形成于透明基板上；多条信号线(103)，形成于透明基板上，并且与扫描线垂直；透明电极(117)，布置于由扫描线和信号线定义的象素区域内；和薄膜晶体管(114)，与透明电极相关联形成。其特征在于，薄膜晶体管(114)形成于一扫描线(102)和一信号线(103)相互交叉的区域中，薄膜晶体管(114)包括源极区和漏极区，这两个区域都由构成信号线的导电薄膜构成。
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公开(公告)号：CN1716022A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200510083614.1
申请日：2002-08-16
Applicant: NEC液晶技术株式会社
IPC: G02F1/1333
Abstract: 制作一种液晶显示器，该液晶显示器具有以栅格形的方式设置的总线、与总线耦合的开关元件、在涂覆形成的夹层绝缘膜上设置的象素电极，象素电极与开关元件耦合。在制作液晶显示器中，当在涂覆形成的夹层绝缘膜上形成透明导电膜时，基片温度控制为100℃－170℃。另一方面，当在非加热状态下在夹层绝缘膜上形成透明导电膜时，将氧流速比设置为1％或更低，在形成膜之后进行退火。从而，当在夹层绝缘膜上刻蚀ITO膜时，不产生腐蚀残渣。此外，能一致地减少在ITO膜和下层金属之间的接触电阻，并避免显示缺陷。
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公开(公告)号：CN1208674C
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN02140946.3
申请日：2002-07-11
Applicant: NEC液晶技术株式会社
IPC: G02F1/136 , H01L29/786
CPC classification number: H01L27/12 , G02F1/136227 , G02F2001/136236 , H01L27/1244 , H01L27/1248 , H01L27/1288
Abstract: 在用来通过覆盖着薄膜晶体管(TFT)的保护膜上形成使TFT的源电极和象素电极之间彼此连接的接触通孔的步骤中，随后形成的接触通孔的位置被设计成与保护膜上形成开口的外涂层的开口位置间隔不少于2.0微米。这种构造迫使酚醛清漆型的光敏抗蚀涂层的开口位于外涂层的开口的位置之内，所以通过在保护膜上形成的接触通孔可以具有决不受外涂层的开口影响的锥形截面轮廓，从而为源电极和象素电极之间稳定的连接创造条件。
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公开(公告)号：CN1226659C
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN02130565.X
申请日：2002-08-16
Applicant: NEC液晶技术株式会社
IPC: G02F1/136 , G02F1/1343 , H01L29/786 , H01L21/336
Abstract: 制作一种液晶显示器，该液晶显示器具有以栅格形的方式设置的总线、与总线耦合的开关元件、在涂覆形成的夹层绝缘膜上设置的象素电极，象素电极与开关元件耦合。在制作液晶显示器中，当在涂覆形成的夹层绝缘膜上形成透明导电膜时，基片温度控制为100℃-170℃。另一方面，当在非加热状态下在夹层绝缘膜上形成透明导电膜时，将氧流速比设置为1%或更低，在形成膜之后进行退火。从而，当在夹层绝缘膜上刻蚀ITO膜时，不产生腐蚀残渣。此外，能一致地减少在ITO膜和下层金属之间的接触电阻，并避免显示缺限。
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公开(公告)号：CN1475852A
公开(公告)日：2004-02-18
申请号：CN02130565.X
申请日：2002-08-16
Applicant: NEC液晶技术株式会社
IPC: G02F1/136 , G02F1/1343 , H01L29/786 , H01L21/336
Abstract: 制作一种液晶显示器，该液晶显示器具有以栅格形的方式设置的总线、与总线耦合的开关元件、在涂覆形成的夹层绝缘膜上设置的象素电极，象素电极与开关元件耦合。在制作液晶显示器中，当在涂覆形成的夹层绝缘膜上形成透明导电膜时，基片温度控制为100℃－170℃。另一方面，当在非加热状态下在夹层绝缘膜上形成透明导电膜时，将氧流速比设置为1％或更低，在形成膜之后进行退火。从而，当在夹层绝缘膜上刻蚀ITO膜时，不产生腐蚀残渣。此外，能一致地减少在ITO膜和下层金属之间的接触电阻，并避免显示缺限。
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