公开(公告)号：CN106460162A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580026122.0

申请日：2015-04-30

Applicant: 贺利氏德国有限责任两合公司

Inventor： M·舒尔塞斯 ,  C·西蒙斯

IPC: C23C14/34

CPC classification number: H01J37/3426 ,  C22C9/02 ,  C22C9/04 ,  C22C18/02 ,  C23C14/14 ,  C23C14/3414 ,  C23C14/5866 ,  H01J37/3414 ,  H01J37/3423 ,  H01J37/3429 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02631 ,  H01L31/03923 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及包含CuZnSn材料、CuZn材料或CuSn材料的三维溅射靶。示例性的CuZnSn材料具有40原子％至60原子％的Cu含量，20原子％至30原子％的Zn含量，和20原子％至30原子％的Sn含量，其中所述三维溅射靶具有至少一个大于500毫米的主轴维度且所述CuZnSn材料具有0.005毫米至5毫米的晶粒尺寸。本发明还提出制造所述三维溅射靶的方法。