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公开(公告)号：CN111065968A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201880004942.3
申请日：2018-05-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 公开了一种全息光栅光刻系统及其干涉光路自准直的调节方法，属于信息光学领域，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题。全息光栅光刻系统中，在准直透镜(9,10)的后方放置体布拉格光栅(13,16)的布拉格角，在曝光光束入射至体布拉格光栅(13,16)后的-1级透射衍射光路上放置光电探测器(14,15)。全息光栅光刻系统干涉光路自准直的调节方法包括沿着光轴前后移动针孔滤波器(7,8)，实时观察光电探测器(14,15)的读数，当光电探测器(14,15)的读数最大时，固定针孔滤波器(7,8)并且保持第一针孔滤波器(7)与第一准直透镜(9)间距恒定。利用体布拉格光栅来检测自准直光的平行度，代替传统的莫尔条纹调节方法，操作简单，具有很强的实用价值。
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公开(公告)号：CN108318954B
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201810312061.X
申请日：2018-04-09
Applicant: 苏州大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明属于信息光学领域，涉及一种宽光束扫描曝光系统与方法，为解决制作米级光栅曝光时间过长引起的时效性差以及环境不确定性导致扫描条纹对比度下降问题，采用干涉条纹扫描技术无缝连续拼接光栅；在扫描曝光过程中，运用多维条纹锁定技术，始终以扫描曝光过的潜像光栅的潜像条纹作为锁定条纹，直至扫描曝光结束；在移动曝光中实现了实时闭环的锁定第一曝光光束与第二曝光光束的相位差，条纹周期、以及第一曝光光束与第二曝光光束夹角，从而在一个扫描周期即可获得高质量的且受环境因素影响小的无缝拼接米级光栅；光束整形压缩柱面系统的使用有效增加了光束的利用率，同时保证光束的波面质量，大大缩短了米量级光栅的制备时间。
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公开(公告)号：CN109632099A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201910087681.2
申请日：2019-01-29
Applicant: 苏州大学
IPC: G01J3/45
CPC classification number: G01J3/45
Abstract: 本发明公开了一种法布里‑珀罗干涉型成像光谱仪，包括依次设置的聚焦透镜、第一微透镜阵列、F‑P谐振腔、第二微透镜阵列和探测相机；目标物体放置在所述聚焦透镜一侧，目标物体发出的光经过所述聚焦透镜聚焦在所述第一微透镜阵列的前焦面上；所述探测相机位于所述第二微透镜阵列的后焦面处；所述聚焦透镜将入射光聚焦在所述第一微透镜阵列的前焦面上，再通过所述第一微透镜阵列将入射光平行入射到所述F‑P谐振腔上，从所述F‑P谐振腔出射的平行光再入射到第二微透镜阵列上，最后所述第二微透镜阵列的出射光聚焦在所述探测相机上。其结构简单，分辨率高，精确度高，成像性能好。
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公开(公告)号：CN109521655B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201811581256.0
申请日：2018-12-24
Applicant: 苏州大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明属于信息光学技术领域，涉及一种全息干涉光刻系统，为解决干涉条纹漂移全息光栅对比度下降问题，用第一高速光电探测器采集参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，并将光强信号同时传输到单片机和PID控制器；第二高速光电探测器通过光束取样光栅监控激光器的光强信号，该光强信号传输到单片机，PID控制器的信号输出端传输到第一超声波发生器的频率调制输入端；当PID控制器判断出第一高速光电探测器实时探测的光强信号变化时，PID控制器输出反馈信号给第一超声波发生器，第一超声波发生器频率相应的改变，第一声光调制器的‑1级衍射光的相位发生变化，从而锁定莫尔条纹的相位，实现了对干涉条纹相位的锁定。
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公开(公告)号：CN108761602B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201810494570.9
申请日：2018-05-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明属于信息光学领域，涉及一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题，在准直透镜的后方放置体布拉格光栅，曝光光束入射至体布拉格光栅的入射角等于所述体布拉格光栅的布拉格角，在曝光光束入射至体布拉格光栅后的‑1级透射衍射光路上放置光电探测器；沿着光轴前后移动针孔滤波器，实时观察光电探测器的读数，当光电探测器的读数最大时，固定针孔滤波器并且保持第一针孔滤波器与第一准直透镜间距恒定；本发明提出了一种自准直光路的调节方法，用体布拉格光栅来检测自准直光的平行度，代替传统的莫尔条纹调节方法，操作简单，具有很强的实用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108761603A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810495948.7
申请日：2018-05-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明属于信息光学领域，涉及一种制作平行等间距条纹全息光栅的光刻系统，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题，使用体布拉格光栅‑1级透射衍射效率作为平行光的判断标准，可以较为精确的确定针孔滤波器与准直透镜之间的距离，准确的将针孔滤波器的小孔放置在准直透镜的物方焦点上，从而实现干涉光路的准直；此外该系统有助于实现对曝光光束平行性的实时监控，配合PZT平移台还可以实现对平行光的锁定，从而提高了平行等间距条纹的全息光栅的拍摄质量。
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公开(公告)号：CN106292200A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610829203.0
申请日：2016-09-19
Applicant: 苏州大学
CPC classification number: G03F7/2022 , G01N21/658 , G03F7/70408
Abstract: 本发明公开了一种制作表面拉曼增强基底的方法与光刻系统，利用两束相干光产生干涉，在光刻胶表面记录相干光的干涉条纹，通过控制两束光的角度，精密控制光栅的周期；再通过实时显影在光刻胶表面形成浮雕型的光栅；最后在光栅表面用镀膜设备镀一层表面增强拉曼散射金属活性层。解决了用简单的方法与设备来得到大面积周期性表面拉曼增强基底的技术难题。
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公开(公告)号：CN108827471B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201810373028.8
申请日：2018-04-24
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及光谱检测设备领域，公开了一种衍射元件、高分辨率光谱仪及光谱检测方法。待测光源通过准直透镜平行入射到所述光谱仪的衍射元件上，所述衍射元件由多个衍射光栅单元构成，所述衍射光栅单元的刻痕密度分布和/或刻痕倾斜方向不同，待测光经过所述衍射元件后发生无规则散射，通过图像传感器记录待测光在零级衍射处和一级衍射处的散斑图案，再由光谱分析系统将所述散斑图案与波长‑散斑图案标准库进行比对，反推出待测光的光谱数据。本发明的光谱仪结构简单、具有高分辨率，并且人为可控、可进行批量生产，同时使用该光谱仪进行光谱检测误差小、操作简单，具有广泛的应用价值。
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公开(公告)号：CN110044482A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910440862.9
申请日：2019-05-24
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种基于反射式随机衍射片的光谱测量装置及测试方法，包括反射式随机衍射片，反射式随机衍射片包括基板和镀反射膜的衍射光栅单元；准直聚焦元件，其位于反射式随机衍射片的一侧，入射光经准直聚焦元件变为平行光照射在反射式随机衍射片上，经反射式随机衍射片反射获得零级衍射光和一级衍射光，零级光经准直聚焦元件后会聚，一级衍射光经准直聚焦元件后形成散斑图案；光探测器，其位于准直聚焦元件远离反射式随机衍射片的一侧，光探测器用于接收散斑图案。该装置光谱分辨率高、光能利用率高，结构紧凑，体积小。
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公开(公告)号：CN109521655A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811581256.0
申请日：2018-12-24
Applicant: 苏州大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明属于信息光学技术领域，涉及一种全息干涉光刻系统，为解决干涉条纹漂移全息光栅对比度下降问题，用第一高速光电探测器采集参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，并将光强信号同时传输到单片机和PID控制器；第二高速光电探测器通过光束取样光栅监控激光器的光强信号，该光强信号传输到单片机，PID控制器的信号输出端传输到第一超声波发生器的频率调制输入端；当PID控制器判断出第一高速光电探测器实时探测的光强信号变化时，PID控制器输出反馈信号给第一超声波发生器，第一超声波发生器频率相应的改变，第一声光调制器的-1级衍射光的相位发生变化，从而锁定莫尔条纹的相位，实现了对干涉条纹相位的锁定。
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