公开(公告)号：CN101432841A

公开(公告)日：2009-05-13

申请号：CN200780015094.8

申请日：2007-04-13

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 彼得·克雷曼 ,  维特·班威尼斯特 ,  亚历山大·普瑞尔 ,  布莱恩·弗瑞尔 ,  麦可·葛瑞夫

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/12 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/049

Abstract: 一种用于离子植入作业的聚焦粒子捕捉系统(200)，此系统可在植入之前先从离子束(202)移除不希望的粒子(222)。入口电极(204)包括进入孔(206)，并被偏压至第一基底电压。中央电极(208)位于该入口电极下游而距其有距离处，并且包括中央孔。该中央电极被偏压至小于该第一基底电压的负值。出口电极(212)位于该中央电极下游而与其具有距离，并且包括出口孔(214)。该出口电极被偏压至第二基底电压。产生从该入口电极朝向该中央电极第一静电场(218)，和产生从该出口电极朝向该中央电极的第二静电场(220)，藉此捕捉在离子束内不想要的粒子。

公开(公告)号：CN101432841B

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN200780015094.8

申请日：2007-04-13

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 彼得·克雷曼 ,  维特·班威尼斯特 ,  亚历山大·普瑞尔 ,  布莱恩·弗瑞尔 ,  麦可·葛瑞夫

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/12 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/049

Abstract: 一种用于离子植入作业的聚焦粒子捕捉系统，此系统可在植入之前先从离子束移除不希望的粒子。入口电极包括进入孔，并被偏压至第一基底电压，其中入口电极包括平坦的第一表面和面向中央电极的凹入第二表面。中央电极位于该入口电极下游而距其有距离处，并且包括中央孔。该中央电极被偏压至小于该第一基底电压的负值。出口电极位于该中央电极下游而与其具有距离，并且包括出口孔。该出口电极被偏压至第二基底电压。产生从该入口电极朝向该中央电极第一静电场，和产生从该出口电极朝向该中央电极的第二静电场，藉此捕捉在离子束内不想要的粒子。