形成二极管的方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102224595B

    公开(公告)日:2014-06-25

    申请号:CN200980147226.1

    申请日:2009-10-28

    Abstract: 一些实施例包含形成二极管的方法。可在第一导电材料上方形成堆叠。所述堆叠可以升序次序包含牺牲材料、至少一种电介质材料及第二导电材料。可沿所述堆叠的相对侧壁形成间隔件,且接着可移除所述牺牲材料的整体以在所述第一导电材料与所述至少一种电介质材料之间留下间隙。在形成二极管的一些实施例中,可在第一导电材料上方形成层,其中所述层含有散布于牺牲材料中的支撑件。可在所述层上方形成至少一种电介质材料,且可在所述至少一种电介质材料上方形成第二导电材料。可接着移除所述牺牲材料的整体。

    形成二极管的方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102224595A

    公开(公告)日:2011-10-19

    申请号:CN200980147226.1

    申请日:2009-10-28

    Abstract: 一些实施例包含形成二极管的方法。可在第一导电材料上方形成堆叠。所述堆叠可以升序次序包含牺牲材料、至少一种电介质材料及第二导电材料。可沿所述堆叠的相对侧壁形成间隔件,且接着可移除所述牺牲材料的整体以在所述第一导电材料与所述至少一种电介质材料之间留下间隙。在形成二极管的一些实施例中,可在第一导电材料上方形成层,其中所述层含有散布于牺牲材料中的支撑件。可在所述层上方形成至少一种电介质材料,且可在所述至少一种电介质材料上方形成第二导电材料。可接着移除所述牺牲材料的整体。

    硫属化合物存储器存取装置的自对准生长方法

    公开(公告)号:CN110061130A

    公开(公告)日:2019-07-26

    申请号:CN201811417388.X

    申请日:2010-12-15

    Abstract: 本发明揭示硫属化合物存储器存取装置的自对准生长方法。所述方法可用于形成三维堆叠交叉点存储器阵列。所述方法包含:在第一导电电极上方形成绝缘材料;图案化所述绝缘材料以形成暴露所述第一导电电极的部分的通孔;在所述绝缘材料的所述通孔内形成存储器存取装置且在所述存储器存取装置上方形成存储器元件,其中可经由所述存储器存取装置存取存储于所述存储器元件中的数据。所述存储器存取装置由经掺杂硫属化合物材料形成且使用自对准制作方法形成。

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