公开(公告)号：CN1426352A

公开(公告)日：2003-06-25

申请号：CN01804983.4

申请日：2001-02-12

Applicant: 红木微系统公司

Inventor： J·M·哈里斯 ,  M·J·塞尔赛 ,  W·A·韦伯

IPC: B32B31/00 ,  F16K7/00

Abstract: 一种粘接微观机械装置(62)到基础物(64)的方法包括形成一个围绕微观机械流体控制装置和基础物之间限定的孔(66)的第一粘接剂(70)的第一环步骤。第一粘接剂形成在微观机械流体控制装置和基础物之间的第一界面，其是清洁和耐腐蚀的。围绕第一环提供第二粘接剂(72)的第二环。第二粘接剂形成在微观机械流体控制装置和基础物之间的第二界面，其是气密的。

公开(公告)号：CN1348541A

公开(公告)日：2002-05-08

申请号：CN00806722.8

申请日：2000-02-15

Applicant: 红木微系统公司

Inventor： J·M·哈里斯 ,  B·塔赫里 ,  E·阿基利克

IPC: G01D3/028 ,  G01D18/00 ,  G01L27/00 ,  G01L19/04

CPC classification number: G01L27/005 ,  G01D3/022 ,  G01D18/008 ,  G01L9/065

Abstract: 传感器漂移校正设备(20)包括传感器组件(22),它包括流体导管(24),比例控制器(26),温度传感器(28),第一压力传感器(30),积分控制器(32)以及第二压力传感器(34)。总线(36)把第一压力传感器(30)等连接到具有相关的内部或外部存储器(40)的微控制器(38)。在存储器(40)中包括有初始参量技术条件模块(42),标准模式控制器模块(44),校准条件识别模块(46),传感器漂移校准模块(48)和传感器漂移调节模式运行模块(50),它们一起用来识别校准命令,通过依赖于被固定在标称零电压条件的校准电压值和以后随之调节传感器输出而识别用于传感器(30,34)的标称零压力漂移校正因子。

公开(公告)号：CN1243954C

公开(公告)日：2006-03-01

申请号：CN00806722.8

申请日：2000-02-15

Applicant: 红木微系统公司 ,  SMC株式会社

Inventor： J·M·哈里斯 ,  B·塔赫里 ,  E·阿基利克

IPC: G01D3/028 ,  G01D18/00 ,  G01L27/00 ,  G01L19/04

CPC classification number: G01L27/005 ,  G01D3/022 ,  G01D18/008 ,  G01L9/065

Abstract: 传感器漂移校正设备(20)包括传感器组件(22)，它包括流体导管(24)，比例控制器(26)，温度传感器(28)，第一压力传感器(30)，积分控制器(32)以及第二压力传感器(34)。总线(36)把第一压力传感器(30)等连接到具有相关的内部或外部存储器(40)的微控制器(38)。在存储器(40)中包括有初始参量技术条件模块(42)，标准模式控制器模块(44)，校准条件识别模块(46)，传感器漂移校准模块(48)和传感器漂移调节模式运行模块(50)，它们一起用来识别校准命令，通过依赖于被固定在标称零电压条件的校准电压值和以后随之调节传感器输出而识别用于传感器(30，34)的标称零压力漂移校正因子。

公开(公告)号：CN1153010C

公开(公告)日：2004-06-09

申请号：CN97199880.9

申请日：1997-09-25

Applicant: 红木微系统公司

Inventor： J·M·哈里斯 ,  B·A·科扎德 ,  小D·A·霍普金斯 ,  J·S·菲奇

IPC: F15C5/00 ,  F16K27/00 ,  F04B43/02

CPC classification number: F16K99/0001 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0005 ,  F16K99/0007 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0044 ,  F16K99/0061 ,  F16K2099/0069 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0082 ,  F16K2099/0086

Abstract: 制成组合式电动微型阀以控制流体流量和压力。这种阀通过一个具有一个带有柔性壁(200)的密封内腔(100)的能量转换装置(120)将电能转换成机械能。上述密封内腔(100)内装有加热时膨胀、冷却时收缩从而引起柔性壁(200)移动的流体(130)。利用上述壁(200)或者说薄膜(200)的移动来移动阀件(200)并动态控制阀口(400)在预定范围内的开启或关闭。

公开(公告)号：CN1173827C

公开(公告)日：2004-11-03

申请号：CN01804983.4

申请日：2001-02-12

Applicant: 红木微系统公司

Inventor： J·M·哈里斯 ,  M·J·塞尔赛 ,  W·A·韦伯

IPC: B32B31/00 ,  F16K7/00

Abstract: 一种粘接微观机械装置(62)到基础物(64)的方法包括形成一个围绕微观机械流体控制装置和基础物之间限定的孔(66)的第一粘接剂(70)的第一环步骤。第一粘接剂形成在微观机械流体控制装置和基础物之间的第一界面，其是清洁和耐腐蚀的。围绕第一环提供第二粘接剂(72)的第二环。第二粘接剂形成在微观机械流体控制装置和基础物之间的第二界面，其是气密的。

公开(公告)号：CN1238029A

公开(公告)日：1999-12-08

申请号：CN97199880.9

申请日：1997-09-25

Applicant: 红木微系统公司

Inventor： J·M·哈里斯 ,  B·A·科扎德 ,  小D·A·霍普金斯 ,  J·S·菲奇

IPC: F15C5/00

CPC classification number: F16K99/0001 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0005 ,  F16K99/0007 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0044 ,  F16K99/0061 ,  F16K2099/0069 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0082 ,  F16K2099/0086

Abstract: 制成组合式电动微型阀以控制流体流量和压力。这种阀通过一个具有一个带有柔性壁(200)的密封内腔(100)的能量转换装置(120)将电能转换成机械能。上述密封内腔(100)内装有加热时膨胀、冷却时收缩从而引起柔性壁(200)移动的流体(130)。利用上述壁(200)或者说薄膜(200)的移动来移动阀件(200)并动态控制阀口(400)在预定范围内的开启或关闭。