公开(公告)号：CN1426352A

公开(公告)日：2003-06-25

申请号：CN01804983.4

申请日：2001-02-12

Applicant: 红木微系统公司

Inventor： J·M·哈里斯 ,  M·J·塞尔赛 ,  W·A·韦伯

IPC: B32B31/00 ,  F16K7/00

Abstract: 一种粘接微观机械装置(62)到基础物(64)的方法包括形成一个围绕微观机械流体控制装置和基础物之间限定的孔(66)的第一粘接剂(70)的第一环步骤。第一粘接剂形成在微观机械流体控制装置和基础物之间的第一界面，其是清洁和耐腐蚀的。围绕第一环提供第二粘接剂(72)的第二环。第二粘接剂形成在微观机械流体控制装置和基础物之间的第二界面，其是气密的。

公开(公告)号：CN1173827C

公开(公告)日：2004-11-03

申请号：CN01804983.4

申请日：2001-02-12

Applicant: 红木微系统公司

Inventor： J·M·哈里斯 ,  M·J·塞尔赛 ,  W·A·韦伯

IPC: B32B31/00 ,  F16K7/00

Abstract: 一种粘接微观机械装置(62)到基础物(64)的方法包括形成一个围绕微观机械流体控制装置和基础物之间限定的孔(66)的第一粘接剂(70)的第一环步骤。第一粘接剂形成在微观机械流体控制装置和基础物之间的第一界面，其是清洁和耐腐蚀的。围绕第一环提供第二粘接剂(72)的第二环。第二粘接剂形成在微观机械流体控制装置和基础物之间的第二界面，其是气密的。