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公开(公告)号：CN1610253A
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN200410088224.9
申请日：2004-10-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/21 , H03H3/02 , H03H2003/026 , Y10T29/42 , Y10T29/49126 , Y10T29/49128 , Y10T29/4913 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种压电谐振器的制造方法，包括在晶体所制成的基板上，形成具有板状的基部以及从该基部向一侧方向延伸的多个臂部的振动片的振动片形成工序(S001)，以及给臂部的一面以及另一面照射激光，去除该激光照射部，使沟槽形成为在与该沟槽的长边方向垂直的面上所截取的截面具有给定的形状的激光照射工序(S002)，以及在振动片上形成驱动电极的电极形成工序(S003)。这样，能够通过简单的工序高精度且短时间地形成所期望的沟槽的形状。
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公开(公告)号：CN103293658A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310164462.2
申请日：2010-05-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/42 , G01J3/51
Abstract: 本发明提供一种能够防止反射镜的带电而使反射镜彼此粘贴消除的光滤波器、光滤波器装置、分析设备以及光滤波器的制造方法。本发明的光滤波器(1)具备：相互地面对配置的第一基板(2)及第二基板(3)；在第一基板(2)的第二基板(3)侧所设置的第一反射镜(4A)及第一电极(6A)；在第二基板(3)的第一基板(2)侧所设置的第二反射镜(4B)及第二电极(6B)，并且第一反射镜(4A)和第二反射镜(4B)由配线(10A、10B)连接。
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公开(公告)号：CN102914867A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210417785.3
申请日：2009-12-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G02B5/284
Abstract: 提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。
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公开(公告)号：CN102914867B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210417785.3
申请日：2009-12-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。
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公开(公告)号：CN102902061A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201210418067.8
申请日：2009-12-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G02B5/284
Abstract: 提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101900877A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN201010188264.6
申请日：2010-05-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/42 , G01J3/51
Abstract: 本发明提供一种能够防止反射镜的带电而使反射镜彼此粘贴消除的光滤波器、光滤波器装置、分析设备以及光滤波器的制造方法。本发明的光滤波器(1)具备：相互地面对配置的第一基板(2)及第二基板(3)；在第一基板(2)的第二基板(3)侧所设置的第一反射镜(4A)及第一电极(6A)；在第二基板(3)的第一基板(2)侧所设置的第二反射镜(4B)及第二电极(6B)，并且第一反射镜(4A)和第二反射镜(4B)由配线(10A、10B)连接。
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公开(公告)号：CN102914866A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210417784.9
申请日：2009-12-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。
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公开(公告)号：CN101750731B
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN200910253827.2
申请日：2009-12-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。
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公开(公告)号：CN101750731A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910253827.2
申请日：2009-12-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G02B5/284
Abstract: 提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。
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公开(公告)号：CN1612471A
公开(公告)日：2005-05-04
申请号：CN200410086901.3
申请日：2004-10-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02236 , H03H9/02551 , H03H9/02834
Abstract: 本发明可以提供各种特性(特别是温度特性)优良的弹性表面波元件和具备这样的弹性表面波元件的电子机器。本发明的弹性表面波元件(1)具有作为基板(2)的用(0、θ、ψ)表示欧拉角的水晶旋转Y板，具有设在该基板(2)上的IDT3和反射器(4、5)。IDT3以Al作为主成分构成，配置成使弹性表面波的传播方向和水晶旋转Y板的X轴的形成的角度ψ成为90±10°,并以满足下述关系A那样设定IDT3的规格化膜厚H/λ和切割角θ：[关系A] θmin≤θ≤θmax(其中θ＝129～144°) θmin＝857.06(H/λ)2+23.656(H/λ)+123.68 θmax＝2502.4(H/λ)2+73.1(H/λ)+121.7。
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