公开(公告)号：CN105789140B

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201610018706.X

申请日：2016-01-12

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田洋平 ,  松尾敦司 ,  伊井稔博 ,  杉山贵俊

IPC: H01L23/053 ,  G01C19/56

Abstract: 本发明提供一种振动元件的制造方法、振动元件、电子装置、电子设备及移动体。并提供一种提高振动元件的成品率和生产率而使制造成本下降的制造方法。作为振动元件的陀螺仪元件(100)的制造方法为，对水晶基板(10)进行加工而形成具有振动臂的陀螺仪元件(100)的外形以及在振动臂上形成凹部(58a、58b)的方法，且包括：外形形成工序，通过干蚀刻而从水晶基板(10)的一个面形成陀螺仪元件(100)的外形；凹部形成工序，通过湿蚀刻而形成凹部(58a、58b)。

公开(公告)号：CN105789140A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201610018706.X

申请日：2016-01-12

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田洋平 ,  松尾敦司 ,  伊井稔博 ,  杉山贵俊

IPC: H01L23/053 ,  G01C19/56

Abstract: 本发明提供一种振动元件的制造方法、振动元件、电子装置、电子设备及移动体。并提供一种提高振动元件的成品率和生产率而使制造成本下降的制造方法。作为振动元件的陀螺仪元件(100)的制造方法为，对水晶基板(10)进行加工而形成具有振动臂的陀螺仪元件(100)的外形以及在振动臂上形成凹部(58a、58b)的方法，且包括：外形形成工序，通过干蚀刻而从水晶基板(10)的一个面形成陀螺仪元件(100)的外形；凹部形成工序，通过湿蚀刻而形成凹部(58a、58b)。