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公开(公告)号：CN102297853B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201110124500.2
申请日：2011-05-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01N21/658 , G01N21/554
Abstract: 本发明提供了分析装置。该分析装置包括沿着与假想平面平行的方向排列导电体突起而成的突起群。突起群中的突起的排列周期至少包括第一周期及与第一周期不同的第二周期。第一周期及第二周期是比入射光的波长短的周期。
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公开(公告)号：CN102401794B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201110264334.6
申请日：2011-09-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01N21/65
CPC classification number: G01N21/658
Abstract: 本发明提供了光器件单元和检测装置。该光器件单元包括：光器件，所述光器件具有导电体，并能够增强接收来自光源的光而产生的拉曼散射光；以及向所述光器件引导气体样本的引导部，所述引导部在与所述光器件面对的区域具有使所述气体样本回旋的第一流路。
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公开(公告)号：CN101007367A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200710007216.0
申请日：2007-01-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 尼子淳
IPC: B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/36
CPC classification number: G03B21/625
Abstract: 提供能够以高生产率再现性良好地在被加工体表面或内部形成所希望的微细图形的微细结构体的制造方法。本发明的微细结构体的制造方法包括：采用衍射光学元件将入射激光束分支成多个衍射光束的工序；由远心透镜将所述分支后的多个衍射光束聚光而形成相互平行的衍射光束的工序；使所述相互平行的各衍射光束以各衍射光束的中心和各旋转三棱镜的中心一致的方式向多个旋转三棱镜阵列状配置而成的旋转三棱镜集合体面垂直地入射，形成多个阵列状的贝塞尔光束的工序；对被加工体照射所述多个阵列状的贝塞尔光束的工序。
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公开(公告)号：CN1321002C
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：CN200410049125.X
申请日：2004-06-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1634 , B41J2/1433 , B41J2/1606 , B41J2/162 , B41J2002/14475
Abstract: 本发明提供一种喷墨头的制造方法及喷墨头，是具有收装液状体的空腔、和与该空腔连通的喷嘴(18)，并将与空腔相反一侧的喷嘴开口作为喷出口(9)，从喷嘴(18)的喷出口(9)喷出收装于空腔内的液状体的喷墨头的制造方法。在喷嘴(18)的内壁面的喷出口(9)的附近部分形成喷嘴内疏液膜(11)，所述喷嘴内疏液膜(11)和要喷出的液状体之间形成的后退接触角和前进接触角的差值为20度以上。从而，该喷墨头具有良好的稳定喷出性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1310759C
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200410002288.2
申请日：2004-01-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/09
CPC classification number: B41J2/04526 , B41J2/04561 , B41J2/04586
Abstract: 喷墨装置等的液滴喷出装置中，高精度进行液滴喷出为课题。采用：喷头向基板的目标位置喷出液滴的同时，用圆筒状激光来包围液滴的应前进的轨迹。由此，即使是喷头喷出的液滴轨迹离开所定的轨道，激光弹回液滴，从而，可以使液滴喷着在基板上的目标位置。
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公开(公告)号：CN1740915A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200510075901.8
申请日：2005-06-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 提供一种可以以低成本实现比可见光波长还短的数量级的微细加工的技术。一种微细结构体的制造方法，包括：感光膜形成工序，在被加工体(100)的上侧形成感光膜；曝光工序，使比可见光波长小的波长的2束激光束(B1、B2)交叉来产生干涉光、通过照射该干涉光来曝光上述感光膜；显影工序，显影曝光后的上述感光膜、在上述感光膜上呈现与上述干涉光的图案对应的形状；蚀刻工序，以显影后的上述感光膜为蚀刻掩膜进行蚀刻来加工上述被加工体。
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公开(公告)号：CN1200793C
公开(公告)日：2005-05-11
申请号：CN00800219.3
申请日：2000-02-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B23K26/38 , H01L21/302 , H01L21/3205 , B81C5/00 , B41J2/16
CPC classification number: B81C1/00087 , B23K26/009 , B23K26/066 , B23K26/18 , B23K26/384 , B41J2/16 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1634 , B41J2/1645 , B81C2201/0143 , H01L21/486 , H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L2223/54453 , H01L2224/13 , H01L2224/13009 , H01L2224/14181 , H01L2224/16 , H01L2224/16146 , H01L2224/81
Abstract: 本发明涉及一种利用激光加工形成高长度直径比的加工孔的加工被加工物的方法。在硅基板(1)的表面和背面分别形成氧化硅膜(2)作为保护膜，经该保护膜(2)向硅基板(1)照射激光进行开孔加工。或者，向硅基板(1)照射圆偏振或随机偏振的激光。由此获得高长度直径比的加工孔，而且，加工孔形状也成为真正笔直的孔，提高了加工精度。
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公开(公告)号：CN102419320A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110264454.6
申请日：2011-09-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01N21/65
CPC classification number: G01J3/44 , G01J3/0224 , G01J3/10 , G01N21/658
Abstract: 本发明公开了一种检测装置，包括：具有多个光源的第一光源组；切换多个光源以使多个光源中的任一个光源有效的切换部；使来自通过切换部变切换为有效的光源的光入射到光器件的导电体的第一光学系统；以及从被导电体散射或反射的光中检测出拉曼散射光的检测器。第一光源组的多个光源各自在有效的状态下能放射具有互不相同的偏振方向的光。
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公开(公告)号：CN102269833A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201110124499.3
申请日：2011-05-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J3/1804 , G01J3/44 , G02B5/1857 , G02B5/1866 , G02B27/4261
Abstract: 本发明公开了一种光谱装置、检测装置以及光谱装置的制造方法。该光谱装置包括透射入射光的透射型衍射光栅。透射型衍射光栅具有由第一电介质形成的倾斜面，倾斜面相对于基准线倾斜排列。将向透射型衍射光栅入射的入射光相对于基准线的入射角度设为角度α，且将衍射光相对于基准线的衍射角度设为角度β。在这种情况下，入射角度α是比相对于倾斜面的布拉格角度θ小的角度，衍射角度β是比布拉格角度θ大的角度。
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