振动器件、角速度传感器、电子设备和移动体

    公开(公告)号:CN117109549A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202311069620.6

    申请日:2018-03-05

    Abstract: 振动器件、角速度传感器、电子设备和移动体。提供振动特性的变动减少的振动器件、具备所述振动器件并且检测精度的减低减少的角速度传感器、具备所述振动器件的电子设备和移动体。振动器件的特征在于,具有:振动元件,其具有多个端子;基体,其具有多个电连接端子;和中继基板,其具有将多个电连接端子与多个端子电连接起来的配线部,将振动元件支承于基体,所述中继基板具有:基体固定部,其被固定于所述基体;振动元件载置部,所述振动元件被载置于该振动元件载置部;和至少一个梁部,其将所述基体固定部与所述振动元件载置部连结起来,所述至少一个梁部具有向第一方向延伸的第一部分和朝向与所述第一方向交叉的第二方向延伸的第二部分。

    振动片、传感器单元及电子设备

    公开(公告)号:CN103363971A

    公开(公告)日:2013-10-23

    申请号:CN201310062480.X

    申请日:2013-02-28

    Inventor: 中川启史

    CPC classification number: H01L41/107 G01C19/5607

    Abstract: 振动片、传感器单元及电子设备。振动片具有:基部(21)、驱动用振动臂(22a、22b)、检测用振动臂(23a、23b)和调整用振动臂(25a、25b),驱动用振动臂(22a、22b)被驱动成在预定的面内弯曲振动,在设基部(21)的厚度为t,驱动用振动臂(22a、22b)延伸方向上的基部(21)的长度为L,检测用振动臂(23a、23b)的与预定面交叉的方向上的固有振动频率为f1,驱动用振动臂(22a、22b)的与预定面交叉的方向上的固有振动频率为f2,调整用振动臂(25a、25b)的与预定面交叉的方向上的固有振动频率为f3时,满足如下关系(1)和(2):(1)f3>f2,(2)0.964×(1-0.321(1+L/t))≦f2/f1≦0.995。

    振动片、传感器单元以及电子设备

    公开(公告)号:CN103245339B

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201310024415.8

    申请日:2013-01-23

    Inventor: 中川启史

    CPC classification number: G01C19/5621 H01L41/0475 H01L41/107

    Abstract: 本发明提供振动片、传感器单元以及电子设备,能够在不降低机械强度的情况下抑制泄漏输出。该振动片具有:基部;从所述基部的一端起延伸出的驱动用振动臂;从所述基部的与所述一端相反侧的另一端起延伸出的检测用振动臂;从所述基部起朝与所述驱动用振动臂相反侧延伸出的调整用振动臂;以及支撑部,其从所述基部起延伸出,并被固定于基板,所述调整用振动臂的输出信号与所述检测用振动臂的泄漏振动的输出信号为相反相位。

    振动片及其制造方法、陀螺仪传感器、电子设备及移动体

    公开(公告)号:CN103363973B

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201310089719.2

    申请日:2013-03-20

    Abstract: 本发明提供振动片及其制造方法、陀螺仪传感器、电子设备及移动体,能够在不降低输出信号的强度的情况下提高输出信号的S/N比。振动片(15)具备检测用振动臂(26a、26b)。在检测用振动臂(26a、26b)上设置有电极(41a、41b)。与电极(41a、41b)连接着布线(45a、45b)。布线(45a、45b)配置在基部(25)的压电体上。布线(45a、45b)的至少一部分是调整用电极(54a、54b)。调整用电极(54a、54b)生成与检测用振动臂(26a)的泄漏振动的输出信号相反相位的电信号。

    振动器件、角速度传感器、电子设备和移动体

    公开(公告)号:CN108627149A

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201810178563.8

    申请日:2018-03-05

    Abstract: 振动器件、角速度传感器、电子设备和移动体。提供振动特性的变动减少的振动器件、具备所述振动器件并且检测精度的减低减少的角速度传感器、具备所述振动器件的电子设备和移动体。振动器件的特征在于,具有:振动元件,其具有多个端子;基体,其具有多个电连接端子;和中继基板,其具有将多个电连接端子与多个端子电连接起来的配线部,将振动元件支承于基体,所述中继基板具有:基体固定部,其被固定于所述基体;振动元件载置部,所述振动元件被载置于该振动元件载置部;和至少一个梁部,其将所述基体固定部与所述振动元件载置部连结起来,所述至少一个梁部具有向第一方向延伸的第一部分和朝向与所述第一方向交叉的第二方向延伸的第二部分。

    振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体

    公开(公告)号:CN103363974B

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201310094984.X

    申请日:2013-03-22

    Abstract: 本发明提供振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体。作为课题,如果仅通过1对悬臂来支撑基部,则无法最大限度地引起第2振动臂的运动。驱动系统的布线和检测系统的布线混合安装在1对悬臂上,振动片的噪声特性和温度特性劣化。作为解决手段,第1振动臂(26a、26b)从基部(25)起沿着第1方向(D1)延伸。第2振动臂(27a、27b)从基部(25)起沿着第2方向(D2)延伸。第1悬臂(32a、32b)从固定部(19)起延伸,并与基部(25)的第1连接部(34)连接。第2悬臂(33a、33b)从固定部(19)起延伸,并与基部(25)的第2连接部(37)连接。

    振动片、传感器单元、电子设备以及振动片的制造方法

    公开(公告)号:CN103363972A

    公开(公告)日:2013-10-23

    申请号:CN201310062676.9

    申请日:2013-02-28

    CPC classification number: G01C19/5607 G01C19/5621

    Abstract: 振动片、传感器单元、电子设备以及振动片的制造方法。本发明提供用于陀螺仪传感器的检测灵敏度更高的振动片,以及使用了该振动片的传感器单元和电子设备。振动陀螺仪元件(1)具有:基部(21);从基部(21)的一端延伸出的驱动用振动臂(22);以及从基部(21)的与一端相反侧的另一端延伸出的检测用振动臂(23),在驱动用振动臂(22)的基部(21)侧区域设置有调整膜(30)。

    振动器件、角速度传感器、电子设备和移动体

    公开(公告)号:CN108627149B

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN201810178563.8

    申请日:2018-03-05

    Abstract: 振动器件、角速度传感器、电子设备和移动体。提供振动特性的变动减少的振动器件、具备所述振动器件并且检测精度的减低减少的角速度传感器、具备所述振动器件的电子设备和移动体。振动器件的特征在于,具有:振动元件,其具有多个端子;基体,其具有多个电连接端子;和中继基板,其具有将多个电连接端子与多个端子电连接起来的配线部,将振动元件支承于基体,所述中继基板具有:基体固定部,其被固定于所述基体;振动元件载置部,所述振动元件被载置于该振动元件载置部;和至少一个梁部,其将所述基体固定部与所述振动元件载置部连结起来,所述至少一个梁部具有向第一方向延伸的第一部分和朝向与所述第一方向交叉的第二方向延伸的第二部分。

    振动片、传感器单元、电子设备以及振动片的制造方法

    公开(公告)号:CN103363972B

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201310062676.9

    申请日:2013-02-28

    CPC classification number: G01C19/5607 G01C19/5621

    Abstract: 振动片、传感器单元、电子设备以及振动片的制造方法。本发明提供用于陀螺仪传感器的检测灵敏度更高的振动片,以及使用了该振动片的传感器单元和电子设备。振动陀螺仪元件(1)具有:基部(21);从基部(21)的一端延伸出的驱动用振动臂(22);以及从基部(21)的与一端相反侧的另一端延伸出的检测用振动臂(23),在驱动用振动臂(22)的基部(21)侧区域设置有调整膜(30)。

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