公开(公告)号：CN102113093A

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：CN200980129797.2

申请日：2009-05-19

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 罗傑·B·费许 ,  萨缪尔·M·巴思凯 ,  史考特·C·后登 ,  亚瑟·P·瑞福 ,  史蒂芬·M·恩尔拉

IPC: H01L21/265

CPC classification number: H01L21/26513 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/2001 ,  H01L21/26593

Abstract: 揭示一种用于改变平台温度的技术。在一个特定示例实施例中，此技术可以被实现为用于改变平台温度的装置。此装置包括平台以及一个或者多个活动热垫，此一个或者多个活动热垫包括一个或者多个热流体通道，此热流体通道承载被配置为影响平台温度的热流体。

公开(公告)号：CN102113093B

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN200980129797.2

申请日：2009-05-19

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 罗傑·B·费许 ,  萨缪尔·M·巴思凯 ,  史考特·C·后登 ,  亚瑟·P·瑞福 ,  史蒂芬·M·恩尔拉

IPC: H01L21/265

CPC classification number: H01L21/26513 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/2001 ,  H01L21/26593

Abstract: 本发明揭示一种用于改变平台温度的装置及方法。在一个特定示例实施例中，揭示用于改变平台温度的装置。此装置包括平台以及一个或者多个活动热垫，此一个或者多个活动热垫包括一个或者多个热流体通道，此热流体通道承载被配置为影响平台温度的热流体。