-
公开(公告)号:CN104749470B
公开(公告)日:2017-08-11
申请号:CN201510172008.0
申请日:2015-04-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种输运性质测量系统,包括一测量头和一测量腔,所述测量头包括一样品台、一探针台和一第一电极盘,所述探针台位于所述样品台与第一电极盘之间,所述测量腔内具有一第二电极盘,所述第一电极盘和第二电极盘具有一一对应的电极。本发明进一步涉及一利用所述输运性质测量系统的原位输运性质的测量装置及其测量方法。
-
公开(公告)号:CN104749470A
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201510172008.0
申请日:2015-04-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种输运性质测量系统,包括一测量头和一测量腔,所述测量头包括一样品台、一探针台和一第一电极盘,所述探针台位于所述样品台与第一电极盘之间,所述测量腔内具有一第二电极盘,所述第一电极盘和第二电极盘具有一一对应的电极。本发明进一步涉及一利用所述输运性质测量系统的原位输运性质的测量装置及其测量方法。
-
-
公开(公告)号:CN204719148U
公开(公告)日:2015-10-21
申请号:CN201520219327.8
申请日:2015-04-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种输运性质测量系统,包括一测量头和一测量腔,所述测量头包括一样品台、一探针台和一第一电极盘,所述探针台位于所述样品台与第一电极盘之间,所述测量腔内具有一第二电极盘,所述第一电极盘和第二电极盘具有一一对应的电极。本实用新型进一步涉及一利用所述输运性质测量系统的原位输运性质的测量装置。
-
-
-