公开(公告)号：CN116157969A

公开(公告)日：2023-05-23

申请号：CN202180062976.X

申请日：2021-06-07

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 杉山厚志 ,  道垣内龙男

IPC: H01S5/022

Abstract: 外部共振型激光模块具备：量子级联激光元件、MEMS衍射光栅、具有配置有量子级联激光元件和MEMS衍射光栅的第1面以及与第1面相反侧的第2面的支撑板、以及在支撑板的第2面侧以与量子级联激光元件和MEMS衍射光栅重叠的方式配置的冷却元件。在支撑板的第2面中，在从厚度方向观察的情况下至少与量子级联激光元件和MEMS衍射光栅重叠的区域，设置有沿从第2面朝向第1面的方向凹陷的凹部。冷却元件中的支撑板侧的至少一部分插入到凹部内。

公开(公告)号：CN113629491A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN202110490126.1

申请日：2021-05-06

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 藤田和上 ,  日高正洋 ,  杉山厚志 ,  柴田公督

IPC: H01S5/34 ,  H01S5/30

Abstract: 本发明的量子级联激光器具备半导体基板、设置于半导体基板上的活性层、和设置于活性层的半导体基板侧的相反侧、杂质掺杂浓度小于1×1017cm‑3的上部包覆层。活性层中含有的各单位层叠体在其子带能级结构中具有第一发光上位能级、第二发光上位能级、和至少一个发光下位能级。活性层被构成为，在各单位层叠体中，由发光层中的第一发光上位能级、第二发光上位能级、及至少一个发光下位能级中的至少两个能级间的电子跃迁生成中心波长为10μm以上的光。