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公开(公告)号：CN112495675B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202011163897.1
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
IPC: B05B17/06
Abstract: 本发明提供了基于多源激振的高通量微液滴发生装置，利用多个声振源产生会聚叠加的声波信号作用于微米级的小孔附近，使经小孔喷射出的液体射流受到扰动，由于瑞利失稳现象而断裂形成小液滴，并且能够消除液滴队列中的卫星液滴。设置声透镜结构，使声振源产生的声波信号能更集中地会聚叠加；声透镜将压力液体容腔内的液体和声振源的激振元件隔离开来，可以防止激振元件受损；压力液体容腔和声透镜与液体接触的表面采用产生污染物少的材料以适应高洁净度场合；同时利用本发明提供的液滴发生装置，向多个声振源分别提供不同频率的正弦波形激励信号，声振源产生的声波信号也是正弦波形，便于修改波形参数以获得对液滴形态更好的操控效果。
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公开(公告)号：CN113499927A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202110704943.2
申请日：2021-06-24
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种粒径可调的液滴发生系统。本发明包括液滴发生装置、供液排气组件和控制组件；控制组件分别与液滴发生装置和供液排气组件电连接，液滴发生装置通过导管与供液组件相连；控制组件分别控制液滴发生装置和供液排气组件使得液滴发生装置中产生液滴，同时控制组件也监测供液排气组件的运行状态。本发明在激励频率控制和喷射液体压力控制的基础上，无需拆装喷嘴，通过转动喷嘴上的孔板底座，即可改变出液口处的微孔尺寸，能精准实现10μm‑570μm甚至更大范围粒径的液滴产生。
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公开(公告)号：CN112286011A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011163837.X
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种EUV光源靶滴发生装置及方法。本发明液滴发生组件、液滴分离组件及液体回收组件；液滴发生组件包括储罐、容腔、加热装置、压力源、激振模块、扰动杆和微孔喷嘴；液滴分离组件包括带孔电极板和偏转电极板；液体回收组件包括集液器。本发明利用瑞利失稳原理产生液滴，并分选出适当尺寸的液滴作为EUV光刻机光源系统激光轰击的靶滴。能够获得极小尺寸的靶滴，提高激光轰击靶滴的能量转化效率；可以使用尺寸较大的射流喷孔，降低制造成本；靶滴材质重复回收利用，提高使用效率，降低成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116273535A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310273224.9
申请日：2023-03-17
Applicant: 浙江大学
IPC: B05B5/053
Abstract: 本发明公开了一种EUV光源靶滴的运动形态控制存储装置及控制方法。锡靶滴喷射腔体连通液滴存储组件，液滴感应带电组件安装在喷嘴和液滴存储组件的连接处；液滴偏置组件安装在液滴存储组件内。方法包括：通过液滴偏置组件控制装置处于液滴存储模式、液滴使用模式和液滴频率变换模式下，实现带电液滴的存储、使用及频率变换。本发明实现了对靶滴带电后的缓冲与状态调整，实现对靶滴的暂时存取，更加精确地调整液滴的空间位置和运动状态，实现原材料加热期间靶滴的不间断供应及停机后的快速起动。实现液滴频率变换，可满足因低频液滴发生缺陷而实现高频液滴的发生，提高光源能量转换效率和输出功率，降低碎片污染，提高光源系统可靠性。
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公开(公告)号：CN114849587A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210592223.6
申请日：2022-05-27
Applicant: 浙江大学
IPC: B01J2/02
Abstract: 本发明公开了一种基于气流加速的微小液滴发生装置。本发明包括液滴发生机构、气体控制组件、液体控制组件和激励信号发生组件，液滴发生机构分别与气体控制组件、液体控制组件和激励信号发生组件相连；液滴发生机构产生稳定的射流，并最终断裂成小液滴；气体控制组件通过气体压力控制器能调节液滴发生机构中的加速气流压力；液体控制组件通过流量控制器和溢流阀能调节液滴发生机构中的射流流量；激励信号发生组件提供不同频率的正弦波形激励信号改变液滴发生机构中的射流受到的扰动大小。本发明通过气流加速压缩可以使大孔产生相比孔尺寸更小的微小尺寸射流，从而产生微小尺寸的液滴，解决了传统装置使用小孔产生微小尺寸液滴而容易堵塞的问题。
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公开(公告)号：CN113499927B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202110704943.2
申请日：2021-06-24
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种粒径可调的液滴发生系统。本发明包括液滴发生装置、供液排气组件和控制组件；控制组件分别与液滴发生装置和供液排气组件电连接，液滴发生装置通过导管与供液组件相连；控制组件分别控制液滴发生装置和供液排气组件使得液滴发生装置中产生液滴，同时控制组件也监测供液排气组件的运行状态。本发明在激励频率控制和喷射液体压力控制的基础上，无需拆装喷嘴，通过转动喷嘴上的孔板底座，即可改变出液口处的微孔尺寸，能精准实现10μm‑570μm甚至更大范围粒径的液滴产生。
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公开(公告)号：CN112286011B
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202011163837.X
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种EUV光源靶滴发生装置及方法。本发明液滴发生组件、液滴分离组件及液体回收组件；液滴发生组件包括储罐、容腔、加热装置、压力源、激振模块、扰动杆和微孔喷嘴；液滴分离组件包括带孔电极板和偏转电极板；液体回收组件包括集液器。本发明利用瑞利失稳原理产生液滴，并分选出适当尺寸的液滴作为EUV光刻机光源系统激光轰击的靶滴。能够获得极小尺寸的靶滴，提高激光轰击靶滴的能量转化效率；可以使用尺寸较大的射流喷孔，降低制造成本；靶滴材质重复回收利用，提高使用效率，降低成本。
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公开(公告)号：CN112495675A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011163897.1
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
IPC: B05B17/06
Abstract: 本发明提供了基于多源激振的高通量微液滴发生装置，利用多个声振源产生会聚叠加的声波信号作用于微米级的小孔附近，使经小孔喷射出的液体射流受到扰动，由于瑞利失稳现象而断裂形成小液滴，并且能够消除液滴队列中的卫星液滴。设置声透镜结构，使声振源产生的声波信号能更集中地会聚叠加；声透镜将压力液体容腔内的液体和声振源的激振元件隔离开来，可以防止激振元件受损；压力液体容腔和声透镜与液体接触的表面采用产生污染物少的材料以适应高洁净度场合；同时利用本发明提供的液滴发生装置，向多个声振源分别提供不同频率的正弦波形激励信号，声振源产生的声波信号也是正弦波形，便于修改波形参数以获得对液滴形态更好的操控效果。
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