一种基于卡尔曼滤波器的误差校正方法

    公开(公告)号:CN118783923A

    公开(公告)日:2024-10-15

    申请号:CN202410931340.X

    申请日:2024-07-12

    Abstract: 本发明公开了一种基于卡尔曼滤波器的误差校正方法。卡尔曼滤波是以信号的一、二阶统计特性已知为前提,以均方误差极小为判据,能自动跟踪信号统计性质的非平稳变化,具有递归性质的一种算法,因此得到了广泛应用。卡尔曼滤波器则是一种均方误差最小的估计器,它给出了线性动态系统模型的最优估计。本发明的卡尔曼滤波主要用于纠正周期误差。

    一种用于光栅读数头组合非一致性误差的校准方法

    公开(公告)号:CN119803274A

    公开(公告)日:2025-04-11

    申请号:CN202510034550.3

    申请日:2025-01-09

    Abstract: 本发明提供一种用于光栅读数头组合非一致性误差校准的方法,所述方法为:分别单独规划工作台移动路径,以读数头123组合为参考,分别计算其余读数头组合测量模型的六自由度;然后得到各读数头组合之间的偏差值;将影响偏差值的六自由度变量与读数头组合之间的偏差值进行数据拟合,得到更新后的读数头组合之间非一致性误差系数;利用补偿后的系数重新计算工作台的位置,完成对光栅读数头组合之间非一致性误差的校准。本发明可用于光栅读数头组合之间非一致性误差的理论分析、纳米级光栅尺位移测量系统的算法优化。

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