超声波探头
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103298410A

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201280004853.1

    申请日:2012-01-05

    Abstract: 本发明提供一种超声波探头,具备将超声波与电信号相互转换的CMUT元件(13)、在表面形成多个CMUT元件(13)的半导体基板(15)、设在CMUT元件(13)的表面侧的声透镜(3)、以及设在半导体基板(15)的背面侧的衬垫层(5),衬垫层(5)由与半导体基板接触的第一衬垫层(27)、以及设在衬垫层(27)的背面侧的第二衬垫层(29)形成,第一衬垫层(27)根据半导体基板(15)的板厚设定声阻抗,衬垫层(29)由能使透过衬垫层(27)的超声波衰减的衰减材料形成,声阻抗与衬垫层(27)的声阻抗一致地设定,从而抑制反射回波的多重反射。

    超声波探头
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103298410B

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201280004853.1

    申请日:2012-01-05

    Abstract: 本发明提供一种超声波探头,具备将超声波与电信号相互转换的CMUT元件(13)、在表面形成多个CMUT元件(13)的半导体基板(15)、设在CMUT元件(13)的表面侧的声透镜(3)、以及设在半导体基板(15)的背面侧的衬垫层(5),衬垫层(5)由与半导体基板接触的第一衬垫层(27)、以及设在衬垫层(27)的背面侧的第二衬垫层(29)形成,第一衬垫层(27)根据半导体基板(15)的板厚设定声阻抗,衬垫层(29)由能使透过衬垫层(27)的超声波衰减的衰减材料形成,声阻抗与衬垫层(27)的声阻抗一致地设定,从而抑制反射回波的多重反射。

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